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??? 英國Surface Technology Systems plc（STS）宣布，美國飛思卡爾" title="飛思卡爾">飛思卡爾半導(dǎo)體（Freescale Semiconductor）已采用其硅深度離子蝕刻模塊“Pegasus”。此次所訂購的是支持組合型的200mm晶圓" title="晶圓">晶圓設(shè)備，是該公司累計的第100個Pegasus訂單。
??? 對于飛思卡爾，此次訂購的Pegasus將用于其美國德克薩斯州Austin的Oak Hill工廠，用于正在導(dǎo)入的支持200mm晶圓的MEMS生產(chǎn)線。飛思卡爾正在推進(jìn)通過MEMS傳感器的低成本化和小型化來擴(kuò)大汽車領(lǐng)域之外的其他用途的戰(zhàn)略。
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