kla-tencor" title="kla-tencor">kla-tencor.com/">KLA-Tencor 公司（納斯達(dá)克股票代碼：KLAC）今天推出其領(lǐng)先業(yè)界的最新版計算光刻機(jī) PROLITH 11。這種新型光刻機(jī)" title="光刻機(jī)">光刻機(jī)讓用戶首次得以評估當(dāng)前的二次成像方案，并以較低的成本針對光刻在設(shè)計、材料與制程" title="制程">制程開發(fā)等方面挑戰(zhàn)，嘗試不同的解決方案。這種新型計算光刻機(jī)還支持單次成像和浸沒技術(shù)。?
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KLA-Tencor 制程控制信息部副總裁兼總經(jīng)理 Ed Charrier 指出：“由于光刻復(fù)雜性及實驗成本的大幅增加，電路設(shè)計師與芯片制造商" title="芯片制造商">芯片制造商不得不面對二次成像光刻所帶來的挑戰(zhàn)。計算光刻已成為控制這些成本一個必備工具。在計算光刻機(jī)中，PROLITH 11 的能力獨(dú)具一格，它讓工程師能夠探索多種設(shè)計、材料或制程條件來解決特定問題——而不必耗費(fèi)晶片廠" title="晶片廠">晶片廠的資源。”?
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二次成像光刻 (DPL) 是通過將圖案分為兩個交錯圖案來構(gòu)建先進(jìn)設(shè)備之微小部件的一種方法。這表示，一個雙光罩組及新的光阻材料對于 DPL 層必不可少，這會增加制程的復(fù)雜性及成本。據(jù)專家預(yù)計，在 32 納米節(jié)點(diǎn)的一個光罩組價格超過四百萬美元，這強(qiáng)烈促使晶片廠要徹底衡量和評估一個二次成像、雙光罩、雙光阻策略將如何在自然制程條件范圍下在晶片上沖印，以確保光罩設(shè)計、材料和制程參數(shù)在第一次就正確無誤。?
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PROLITH 11 讓工程師能夠以前所未有的精確性來制作這種復(fù)雜系統(tǒng)的模型，然后通過考察在光罩設(shè)計、光阻屬性和掃描曝光機(jī)或所印圖案上的參數(shù)中或大或小的變化對二次成像影響，使用該模型對系統(tǒng)進(jìn)行優(yōu)化。使用 PROLITH 11，晶片廠可避免在產(chǎn)品晶片上進(jìn)行耗時與昂貴實驗的必要，這些實驗會耽誤進(jìn)入市場的時間，并造成成千上萬個報廢的加工晶片。 ?
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作為 KLA-Tencor 為解決先進(jìn)光刻挑戰(zhàn)而設(shè)計的一整套系統(tǒng)中的一款光刻機(jī)，PROLITH 11 已出貨至美國、日本和臺灣的領(lǐng)先芯片制造商。PROLITH 平臺包含市場上最為廣泛使用的光刻模擬工具套件，安裝在幾乎每家芯片制造商目前正在生產(chǎn)的 65 納米與 45 納米設(shè)備的開發(fā)群中。 ?
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PROLITH 11 技術(shù)摘要?
基礎(chǔ)與嚴(yán)謹(jǐn)?shù)挠嬎?/SPAN>?
·????????? PROLITH 11 是唯一一部能夠模擬二次成像特定形貌和計算沖印第一層的變率將如何影響第二層的光刻模擬器。?
·????????? PROLITH 11 的結(jié)果建立在基本光學(xué)與動力學(xué)模型之上。?
·????????? PROLITH 能夠適應(yīng)：?
·復(fù)雜的薄膜層積?
·內(nèi)嵌的基底形貌?
·????????? PROLITH 11 光阻模型能夠使用 IC 制造商、光阻廠商、研究群體及公會提供的數(shù)據(jù)進(jìn)行校準(zhǔn)。?
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采用結(jié)果外推法解決問題?
·????????? PROLITH 11 模型可用于探索：?
·新型光罩設(shè)計?
·新型光阻?
·不同的掃描曝光機(jī)設(shè)置?
·不同的制程參數(shù)?
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補(bǔ)充全芯片模擬器的不足?
全芯片模擬器的設(shè)計是在 24 小時內(nèi)對整個芯片進(jìn)行優(yōu)化，而 PROLITH 則能補(bǔ)充其不足之處，在數(shù)分鐘內(nèi)就能夠以完整細(xì)節(jié)模擬芯片的一個微小區(qū)域。全芯片模擬器的結(jié)果可以應(yīng)用于一組設(shè)計與制程條件，而 PROLITH 的結(jié)果則可從產(chǎn)生模型的條件下有效外推，從而能夠探索各種解決方案。PROLITH 的結(jié)果可用于判斷全芯片模擬器運(yùn)作時的最適宜條件。?
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關(guān)于 KLA-Tencor：KLA-Tencor 是專為半導(dǎo)體和相關(guān)微電子行業(yè)提供制程控制及良率管理解決方案的全球領(lǐng)先供應(yīng)商。該公司總部設(shè)在美國加州的圣何塞市，銷售及服務(wù)網(wǎng)絡(luò)遍布全球。KLA-Tencor 躋身于標(biāo)準(zhǔn)普爾 500 強(qiáng)公司之一，并在納斯達(dá)克全球精選市場上市交易，其股票代碼為 KLAC。有關(guān)該公司的更多信息，請訪問 http://www.kla-tencor.com。?