MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器在汽車、手機、個人電腦、相機等各種應(yīng)用中屢見不鮮，但是直到現(xiàn)在，這類傳感器還未用于吉他領(lǐng)域。本文作者將探究以下問題的答案：如何采用MEMS加速度計作為聲學(xué)傳感器。

　　MEMS加速度計技術(shù)

　　典型的MEMS加速度計的核心單元是一個由兩組指狀柵條組成的可移動條形結(jié)構(gòu)：其中一組固定到襯底上，而另一組則安裝到一組彈簧上的質(zhì)量塊上，該彈簧能夠根據(jù)所施加的力產(chǎn)生移動，改變固定柵條與移動?xùn)艞l之間的電容（見圖1）。

圖1 MEMS加速度計的結(jié)構(gòu)

　　MEMS結(jié)構(gòu)（見圖2）通常采用單晶硅制成，或者采用以極高的溫度沉積到單晶硅晶圓表面上的多晶硅。采用這一靈活的技術(shù)可以制成機械特性差異很大的結(jié)構(gòu)。彈簧剛度、感測元件的質(zhì)量以及結(jié)構(gòu)阻尼都可以通過設(shè)計進行控制和改變，從而實現(xiàn)可感應(yīng)從零點幾個g到數(shù)百個g的帶寬高達20kHz的傳感器。

圖2 ADXL50 MEMS加速度計結(jié)構(gòu)的顯微圖

　　MEMS感測單元可以與同一芯片（見圖3）或者不同芯片上（見圖4）的信號調(diào)理電路相連。對于單芯片解決方案而言，感測單元的電容可以低至1～2fF，相當于aF范圍的量測分辨率。在雙芯片結(jié)構(gòu)中，MEMS單元的電容必須足夠高，以便能夠克服MEMS與ASIC調(diào)理電路之間連接線的寄生電容效應(yīng)。

圖3 ADXL202 ±2g加速度計

圖4 典型雙芯片加速度計的橫截面圖

　　作為震動測量傳感器的加速度計

　　使用震動感測傳感器作為樂器中的拾音器，這并不是一個新的概念。壓電式以及電磁式傳感器是目前許多拾音器應(yīng)用的基礎(chǔ)。微型MEMS加速度計的尺寸小、外形薄，因此不會在樂器中產(chǎn)生機械或質(zhì)量負荷效應(yīng)，這使得它們對于這些應(yīng)用極具吸引力；但是由于商用加速度傳感器的帶寬極低，這類加速度計的應(yīng)用到目前為止一直都受到限制。

　　加速度計技術(shù)方面的一些最新突破性進展使得具有非常高帶寬但又非常小的加速度計實現(xiàn)了量產(chǎn)。ADI公司采用5mm×5mm×2mm封裝尺寸的ADXL001（見圖5）高g（±70～±500g）單軸加速度計的帶寬就已經(jīng)達到22kHz。這款產(chǎn)品可以通過檢測設(shè)備聲學(xué)特性的變化來確定電機或其他工業(yè)設(shè)備的“健康”狀況。不過，這種特殊傳感器要用作樂器的聲學(xué)震動傳感器還不夠靈敏。理想的聲學(xué)傳感器需要測量所有3個軸向上的響應(yīng)，而它卻只能感應(yīng)單軸運動。然而目前已經(jīng)證明，采用MEMS技術(shù)已經(jīng)能夠?qū)崿F(xiàn)全音頻帶寬內(nèi)的加速度傳感器。

圖5 ADXL001的頻率響應(yīng)曲線

　　低g加速度計可以測量低至千分之一g級的加速度，但帶寬一般被限制在5kHz左右。這一限制的原因可能是需要很高帶寬的商業(yè)應(yīng)用太少（主要的應(yīng)用包括人的運動或者重力引起的加速度檢測），故業(yè)界缺乏足夠的動力去開發(fā)特別適用于音頻頻段測量的傳感器。

　　三軸加速度計具有三個獨立的輸出，能夠測量沿笛卡兒坐標系中X、Y、Z軸方向的加速度。舉例來說，ADI公司的ADXL330三軸低g加速度計在X軸以及Y軸上具有高達6kHz的帶寬，而在Z軸上的帶寬約為1kHz。雖然還不夠理想，但這個帶寬已經(jīng)使得該器件可以獲取音頻頻段上的有用信息。其輸出為模擬信號，故很容易用于標準的錄音設(shè)備。由于其尺寸小于4mm×4mm×1.45mm（見圖6），因此該傳感器可以放入極小的空間中，在響應(yīng)被測系統(tǒng)時不會產(chǎn)生質(zhì)量負荷或者其他改變。下面將介紹這款低g加速度計如何用作吉他的拾音器。

圖6 ADXL330 MEMS加速度計

　　聲反饋

　　丹麥科學(xué)家Soren Larsen在上世紀20年代中期首次引入了全向電容式動態(tài)麥克風(fēng)，是他最早發(fā)現(xiàn)了聲反饋原理（稱為Larsen效應(yīng)）。對聲學(xué)工程師來說，聲反饋一直都是一個噩夢，很少有工程師能夠完全控制它，特別是在任何演出現(xiàn)場都不可避免。甲殼蟲樂隊充分感受到了這種偽聲的影響，繼而在1964年決定將其添加到他們經(jīng)典的專輯“I Feel Fine”的序曲中。隨后搖滾樂界也開始像馴服野獸一樣利用它，利用聲音反饋在搖滾樂中增添了令人耳目一新的特色。而電吉他手，如Pete Townshend和Jimi Hendrix，則故意地把吉他靠近揚聲器來利用聲反饋。隨著這種風(fēng)潮的消退，聲學(xué)工程師繼續(xù)努力消除聲反饋所引起的令人不適的聽覺效果，特別是在現(xiàn)場演出過程中。在設(shè)備齊全并經(jīng)過特殊聲學(xué)處理的錄音棚里，利用全向麥克風(fēng)可以完美地錄制樂器聲音，幾乎達到驚人的現(xiàn)場感和保真度。理解并珍惜這一點的藝術(shù)家一直都在孜孜不倦地尋求如何能夠把這種效果重現(xiàn)在舞臺上。雖然希望能夠以錄音棚一樣的質(zhì)量來錄制現(xiàn)場演出一直都是音樂人的夢想，但這幾乎是不可能的。即使在舞臺上采用最好的音響設(shè)備，舞臺也經(jīng)過了極佳的聲學(xué)設(shè)計，聲音工程師也能精通地利用各種混響并可以擁有最佳的設(shè)備和工具，但要獲得理想的音效仍然存在著一道難以逾越的障礙：那就是聲反饋。

　　拾音器

　　通過采用方向性麥克風(fēng)通?？梢园崖暦答仠p到最小。某種程度上這種方法是有效的，不過需要調(diào)音工程師不停地調(diào)節(jié)，來適應(yīng)舞臺瞬息萬變的特點。

　　利用拾音器可以對樂器聲音進行放大。所采用的各種技術(shù)具有一定差異，但基本的原理都是直接感應(yīng)樂器本身的震動，而并非感測空中的聲波。這種做法的優(yōu)點很明顯，即拾音器幾乎不會產(chǎn)生聲反饋，原因是它們對空氣中傳遞的聲波不敏感。但這種方法也有許多不足：包括要在樂器上找到最佳的發(fā)聲位置是極其困難的，壓電拾音器的聲學(xué)特性也遠遠算不上完美，它們的輸出阻抗為高阻，故需要特殊的樂器輸入或直駁盒。此外，體積也較大，會影響樂器本身的自然聲學(xué)特性。

　　于是，這催生了輕質(zhì)接觸式麥克風(fēng)的概念。假如我們采用一個表面式傳感器來測量樂器本體的加速度，最好是具有單軸以上功能。這種傳感器具有更好的線性度，重量輕，從而不會影響被測樂器的聲音特性。還可以進一步假定這些傳感器具有類似的輸出電平、輸出阻抗，以及功率需求與傳統(tǒng)麥克風(fēng)相當。簡言之，就是設(shè)想音樂人只需將該傳感器插入到麥克風(fēng)前置放大器或混音器輸入的位置，就像任何其他麥克風(fēng)一樣。

　　接觸式麥克風(fēng)

　　用心的讀者一定會注意到我們在前面已經(jīng)提到了加速度的概念。人耳響應(yīng)的是聲壓，故麥克風(fēng)也被設(shè)計成聲壓感測功能。為了簡化討論，這里直接給出一個結(jié)論，即一個靠近震動體的聲壓與加速度成正比。問題是加速度計具有多高的帶寬方可用作接觸式麥克風(fēng)？

　　為了研究清楚這個概念，我們將一個三軸加速度計貼裝到吉他上作為一個拾音器。對樂器的震動進行測量，并與內(nèi)置的壓電拾音器以及靠近吉他的MEMS麥克風(fēng)進行比較。所用的吉他為Fender Stratacoustic，帶有內(nèi)置的Fender拾音器。在重量很輕的柔性電路上貼裝了一個模擬輸出的MEMS加速度計，并用蜂蠟將其貼裝到吉他的琴橋位置，如圖7所示。加速度計的X軸與吉他弦線的方向一致，Y軸與吉他弦線垂直，而Z軸則與吉他表面垂直。把一個平坦頻率響應(yīng)達到15kHz的MEMS麥克風(fēng)貼裝到距弦線3英寸遠的位置作為參考。

圖7  貼裝在Fender Stratacoustic吉他上的加速度計

　　利用該加速度計、內(nèi)置的壓電拾音器和MEMS麥克風(fēng)各自錄制了一段聲音。圖8給出了每個傳感器的時域波形，這里沒有對任何音段進行后處理。

圖8 采用不同傳感器的時域波形

　　圖9所示為在上述時域波形的一個波峰上所測得的壓電拾音器的FFT頻譜。結(jié)果顯示響應(yīng)中具有較強的低音分量。確實，實際的音頻文件中都較多地具有豐富的低音響應(yīng)。這種聲音比較悅耳（還取決于個人偏好），因為腔體諧振能夠產(chǎn)生比從樂器上直接聽到的更豐富的低音。

圖9  壓電拾音器的FFT頻譜

　　MEMS麥克風(fēng)的輸出則非常平坦，樂聲的重現(xiàn)效果非常好。其音質(zhì)非常自然，均衡較好，逼真度高。與壓電拾音器相同時間點上測得的FFT頻譜如圖10A所示。作為參考，圖10B則給出了MEMS麥克風(fēng)的頻率響應(yīng)。

圖10A   MEMS麥克風(fēng)的FFT頻譜

圖10B   MEMS麥克風(fēng)的頻率響應(yīng)

　　MEMS加速度計的輸出非常有意思。目前其缺點包括本底噪聲過高，在音軌的開始和末尾都能聽到，且Z軸帶寬明顯限制到較低的頻率。每個軸向上的聲音再現(xiàn)也明顯不同。

　　X軸和Y軸上的聲音明快而清晰，聲調(diào)上有可分辨出的明顯差異。正如預(yù)期，Z軸上的聲音明顯地主要為低音。圖11給出了X軸（A）、Y軸（B）以及Z軸上的頻譜（C）。

圖11a  MEMS加速度計X軸輸出

圖11b  MEMS加速度計Y軸輸出

圖11c  MEMS加速度計Z軸輸出

　　如果將X、Y和Z軸混合到一起，即可實現(xiàn)樂聲的較好重現(xiàn)，具有一定的明晰度。通過對混音環(huán)節(jié)進行調(diào)節(jié)，可以實現(xiàn)音調(diào)平衡變化，達到自然的樂聲重現(xiàn)。由于目前加速度計的帶寬限制，更大范圍的高頻諧波丟失了，但聲音重現(xiàn)仍然驚人地逼真。

　　結(jié)語

　　MEMS加速度計技術(shù)在樂器的拾音應(yīng)用方面具有明顯的潛力，特別是那些為聲反饋問題困擾的現(xiàn)場應(yīng)用。一個體積非常小、低功耗的MEMS器件可以貼裝到樂器上任何不顯眼的位置，而且不會影響樂器的自然震動特性。