《電子技術(shù)應(yīng)用》
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英特尔否认引入盛美设备用于Intel 14A产线

2025-12-15
來(lái)源:芯智讯

12月12日消息,據(jù)路透社援引兩名知情人士的消息報(bào)導(dǎo)指出,芯片大廠英特爾(Intel)在2025年間測(cè)試了中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備制造商——盛美半導(dǎo)體(ACM Research)的半導(dǎo)體設(shè)備,引發(fā)了美國(guó)政府的關(guān)注。

報(bào)道稱,英特爾測(cè)試的是總部位于美國(guó)加州Fremont 的盛美半導(dǎo)體的兩臺(tái)濕式刻蝕設(shè)備(wet etch tools),這些設(shè)備被用于針對(duì)英特爾計(jì)劃于2027年量產(chǎn)的最先進(jìn)的芯片制程——Intel 14A的制造測(cè)試。

而盛美半導(dǎo)體的大部分業(yè)務(wù)主要通過(guò)子公司盛美上海(ACM Research(shang hai))在中國(guó)開(kāi)展。在2024年12月,美國(guó)商務(wù)部將盛美半導(dǎo)體位于中國(guó)上海和韓國(guó)的子公司列入了實(shí)體清單,理由是他們協(xié)助中國(guó)制造先進(jìn)芯片或芯片制造設(shè)備。對(duì)此,盛美半導(dǎo)體予以了否認(rèn)。

目前美國(guó)政府已經(jīng)是英特爾的第一大股東。美國(guó)國(guó)家安全人士擔(dān)憂,英特爾在其先進(jìn)的生產(chǎn)線中采用一家受制裁的中國(guó)企業(yè)的半導(dǎo)體設(shè)備,可能引發(fā)英特爾敏感技術(shù)專有知識(shí)泄露等安全問(wèn)題。

白宮國(guó)家安全委員會(huì)前官員、現(xiàn)任外交關(guān)系委員會(huì)高級(jí)研究員Chris McGuire 表示,英特爾測(cè)試盛美半導(dǎo)體設(shè)備的行為,凸顯了美國(guó)技術(shù)保護(hù)政策中存在的嚴(yán)重漏洞,是不應(yīng)該被允許的。同時(shí),他還質(zhì)疑其設(shè)備有被遠(yuǎn)程操控或?qū)嶓w方式操控,從而影響英特爾生產(chǎn)的可能。

他還強(qiáng)調(diào),美國(guó)公司不應(yīng)參與幫助中國(guó)企業(yè)改進(jìn)其芯片制造設(shè)備,因?yàn)檫@些設(shè)備是所有先進(jìn)技術(shù)發(fā)展的基礎(chǔ)。

值得一提的是,本月早些時(shí)候,美國(guó)國(guó)會(huì)眾議院正式提出H.R. 6207號(hào)議案,即所謂的《芯片設(shè)備質(zhì)量、實(shí)用性和完整性保護(hù)法案》(Chip EQUIP Act)。該法案希望通過(guò)修改前拜登政府的《芯片與科學(xué)法案》(CHIPS Act)中的資金補(bǔ)貼條款,要求所有受聯(lián)邦補(bǔ)貼的項(xiàng)目,其所使用的半導(dǎo)體設(shè)備不得來(lái)自所謂“受關(guān)注外國(guó)實(shí)體”(FEOC),其中就包括了中國(guó)。

雖然盛美半導(dǎo)體主要通過(guò)“盛美上?!痹谥袊?guó)開(kāi)展業(yè)務(wù),但是其總部位于美國(guó),所以從法理上來(lái)說(shuō),盛美半導(dǎo)體是一家美國(guó)公司,并且被列入實(shí)體清單的也是盛美半導(dǎo)體的中國(guó)上海和韓國(guó)子公司,其美國(guó)公司并未列入其中。因此,盛美半導(dǎo)體直接向英特爾供應(yīng)設(shè)備并未違反任何規(guī)定。

目前,路透社的報(bào)導(dǎo)也無(wú)法確定英特爾是否已決定將這些設(shè)備納入其先進(jìn)芯片制造流程當(dāng)中,也沒(méi)有證據(jù)表明英特爾違反了任何美國(guó)法規(guī)。

對(duì)此報(bào)導(dǎo),盛美半導(dǎo)體表示,它無(wú)法對(duì)具體的客戶合作發(fā)表評(píng)論。但證實(shí)旗下的美國(guó)團(tuán)隊(duì)已將多套來(lái)自亞洲業(yè)務(wù)部門(mén)的設(shè)備出售,并交付給美國(guó)國(guó)內(nèi)客戶。盛美半導(dǎo)體進(jìn)一步透露,已向一家主要的美國(guó)半導(dǎo)體制造商運(yùn)送了三套設(shè)備進(jìn)行測(cè)試,其中一些已達(dá)到性能標(biāo)準(zhǔn)。

英特爾最新回應(yīng)稱:ACM's tools are not used in our semiconductor production process?!?盛美半導(dǎo)體的工具不用于我們的半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程?!?


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