光譜共焦傳感器

　　光譜共焦傳感器可測量任何材料的物體表面，如金屬、玻璃、陶瓷、塑料、織物等。不論什么顏色，物體表面是漫反射還是高光面，乃至是鏡面，法國STIL光譜共焦傳感器都能輕松測量。光譜共焦傳感器，按類型可分為點光譜共焦、線光譜共焦、線陣視覺檢測系統(tǒng)、多點式傳感器，及3D測量系統(tǒng)。

　　↑STIL EVEREST-K1/K2 光學(xué)筆

　　針對觸控行業(yè)3D玻璃的測量需要，STIL開發(fā)出超大測量角度的EVEREST-K1產(chǎn)品，在1mm的測量行程內(nèi)，鏡面測量角度最高達±44?，相比常規(guī)光譜共焦傳感器25?的測量角度，此產(chǎn)品在保證產(chǎn)品分辨率小于50nm、測量精度100nm的情況下，最大可能地覆蓋了3D玻璃測量所需的角度。2019年推出的EVEREST-K2，量程由1mm提高到2mm，滿足了大量程測量的需求。

　　涂層測厚傳感器

　　↑涂層測厚傳感器

　　可在移動產(chǎn)線上對涂層進行非接觸、實時快速、無損測量。工作距離2-50cm，可測量厚度為：10nm-1?m（亞微米涂層），1?m–500?m（涂料/聚合物），1?m-1mm（金屬涂層）。可在高溫環(huán)境、易碎或潮濕環(huán)境等各種工業(yè)環(huán)境中工作。適用于各種基材上的各種涂層，如粉末和干濕油漆、汽車涂層、金屬防腐合金涂層、等離子噴涂減摩涂層、金屬盤的PTFE涂層、玻璃油墨檢測、陽極氧化鋁、金屬表面的橡膠涂層、鋁部件上的熱噴涂等。

　　優(yōu)勢特點：

　　【非接觸】測量涂層厚度時與部件無任何接觸。激光和紅外傳感器可分析2至50厘米距離的涂層。這意味著可以在工業(yè)涂層環(huán)境中測量工件，即使它們位于移動產(chǎn)線上、在高溫環(huán)境中，甚至易碎或潮濕環(huán)境中。

　　【無損測量】由于激光束產(chǎn)生的熱量極少，因此測量過程中涂層和工件都不會被損壞或改變。對于那些迄今已有的方法會破壞測試樣品的工業(yè)運用，它可以系統(tǒng)地測量每個工件。

　　【實時快速】測量通常不到一秒鐘，具有高度重復(fù)性。這樣可以控制高達100％的涂層部件，嚴格遵循涂層工藝性能并實時反應(yīng)以保持最佳狀態(tài)。

　　白光干涉位移傳感器

　　白光干涉測量專用于非接觸式快速測量，精密零部件之重點部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、面形輪廓及臺階段差尺寸，其測量精度可以達到納米級。目前，在3D測量領(lǐng)域，白光干涉儀是精度最高的測量儀器之一，具有以下優(yōu)點：

　　非接觸三維表面輪廓測量。

　　噪音小，測量重復(fù)性好。

　　納米級分辨率：Z軸分辨率最高可達0.1nm

　　測量的點云數(shù)多：一個面最多可以達到500萬個點，點間距小，XY分辨率高。

　　多種視野范圍可供選擇，快速切換物鏡變換視野。

　　測量速度快，可實現(xiàn)在線測量。

　　可以測量更大傾斜角的產(chǎn)品，漫反射面可測接近90度的斜面。

　　軟件包MountainsMap可用于復(fù)雜的測量任務(wù)，如粗糙度，表面結(jié)構(gòu)，微觀幾何形狀和輪廓。自動化有多種選擇：可使用SDK，I/O模塊和幾條工業(yè)產(chǎn)線解決方案。

　　attocube激光干涉位移傳感器

　　Attocube systems AG，因其在工業(yè)研究領(lǐng)域的納米技術(shù)尖端解決方案的開發(fā)、生產(chǎn)和分銷的卓越創(chuàng)新而享譽國際。其產(chǎn)品組合包括，超精密驅(qū)動單元，干涉位移傳感器和低溫顯微鏡系統(tǒng)及低溫恒溫器，其工作接近技術(shù)和物理的極限。其新建的納米工廠，具有現(xiàn)代化工作設(shè)備和生產(chǎn)設(shè)施；認證和合規(guī)，致力于引領(lǐng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

　　IDS3010是超緊湊型干涉式位移測量傳感器，配備了三個基于光纖的傳感器頭。非常適合機器集成，并兼容各種工業(yè)網(wǎng)絡(luò)。由于集成了網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器，因此可以隨時對傳感器進行遠程校準(zhǔn)，初始化和（重新）配置。

　　無與倫比的技術(shù)規(guī)格使系統(tǒng)性能倍增：IDS3010以10-12m的亞原子分辨率提供10MHz的數(shù)據(jù)采集帶寬。靈敏度非常出色的前提下，仍可達到5米的工作距離，并能夠跟蹤高達2m/s的目標(biāo)速度。

　　IDS3010干涉式位移傳感器，是attocube激光干涉儀的最新和小型化版本，用于測量納米范圍內(nèi)的位移（增量距離）。IDS3010的模塊化和小型化設(shè)計，使三個測量軸都能輕松適應(yīng)各種應(yīng)用。IDS3010非常緊湊便攜，可直接集成到機器中，是具有挑戰(zhàn)性的OEM和同步加速器應(yīng)用的首選產(chǎn)品。被動冷卻的外殼可最大程度地減少噪聲和振動，避免干擾其他光學(xué)和電氣組件。

　　傳感器可直接集成到機床、半導(dǎo)體設(shè)備、三坐標(biāo)測量系統(tǒng)等設(shè)備上。能夠在三個軸上測量，可實現(xiàn)從幾毫米到幾米的大工作距離測量，可對不同材料進行最精確的測量。提供模塊化測量設(shè)置和極其緊湊的激光傳感器頭已獲得專利，該技術(shù)還可以進行振動測量，旋轉(zhuǎn)跳動測量或機床校準(zhǔn)。

　　attocube壓電納米精密定位臺

　　Attocube的室溫和低溫納米精度移動平臺， 專為納米定位而設(shè)計，在極端環(huán)境條件下（如低溫，高磁場和超高真空）具有最高精度。適用于大氣和真空條件，并且可根據(jù)客戶的應(yīng)用提供各種不同的選擇，如使用重量輕的強鋁用于大氣層，而不銹鋼外殼兼容高達真空條件。壓電納米精密定位臺具有如下特點：

　　【高負荷】借助獨特的壓電驅(qū)動技術(shù)，剛性機械設(shè)計及交叉滾子軸承的應(yīng)用，ECS定位器能夠在納米級上移動，可承受高達幾千克的負載。

　　【材料＆預(yù)期壽命】室溫優(yōu)化的驅(qū)動機制，再加上不銹鋼鋁作為主體材料，與高端系列閥門定位器相比，可顯著降低成本，同時可實現(xiàn)約500000次循環(huán)壽命。

　　【多軸操作】attocube的ECS定位器具有多種設(shè)計，尺寸和行程范圍。它們可以直接堆疊在一起進行多軸操作。

　　【閉環(huán)控制】結(jié)合三軸驅(qū)動電子設(shè)備ECS100，ECS定位器能夠?qū)崿F(xiàn)1nm（1μ°）的閉環(huán)定位分辨率，同時提供最高可達4.5 mm/s （10°/s）的速度。50nm（50μ°）的位置可重復(fù)性是工業(yè)生產(chǎn)線的最高標(biāo)準(zhǔn)。

　　【大行程范圍】ECS系列定位器，采用了基于attocube慣性驅(qū)動技術(shù)的驅(qū)動機構(gòu)，該驅(qū)動機構(gòu)專門對大行程范圍為厘米的、環(huán)境溫度下的應(yīng)用進行了修改。

　　【真空兼容】工業(yè)產(chǎn)線的定位器，用于室溫和超高真空到環(huán)境的壓力范圍。所有平臺均可采用陽極氧化鋁或不銹鋼制成，滿足光學(xué)和特高壓應(yīng)用。

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