2月2日，湖南凱美特氣體股份有限公司 (以下簡稱“凱美特氣”)發(fā)布公告稱，公司控股子公司岳陽凱美特電子特種稀有氣體有限公司(以下簡稱“岳陽凱美特”)光刻氣產(chǎn)品獲得ASML子公司Cymer公司合格供應(yīng)商認(rèn)證。

根據(jù)公告，岳陽凱美特生產(chǎn)于2月2日收到Cymer公司發(fā)來的合格供應(yīng)商認(rèn)證函，岳陽凱美特生產(chǎn)的光刻氣產(chǎn)品通過了Cymer公司審查，Cymer公司已將凱美特電子特種氣體公司光刻氣產(chǎn)品列入合格供應(yīng)商名單。

資料顯示，ASML子公司Cymer是世界領(lǐng)先的準(zhǔn)分子激光源提供商，是深紫外技術(shù)的行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者，是ASML集團(tuán)內(nèi)一家獨(dú)立運(yùn)營的企業(yè)。

Cymer公司發(fā)明了如今半導(dǎo)體制造中最關(guān)鍵的光刻技術(shù)所需的深紫外(DUV)光源，開發(fā)、制造和服務(wù)深紫外(DUV)光源。

產(chǎn)品組合包括使用氟化氬(ArF)或氟化氪(KrF)氣體產(chǎn)生深紫外光的準(zhǔn)分子激光器。

凱美特氣表示，公司光刻氣產(chǎn)品通過Cymer公司的合格供應(yīng)商認(rèn)證，是Cymer公司對(duì)公司在光刻氣生產(chǎn)領(lǐng)域的生產(chǎn)能力、產(chǎn)品質(zhì)量的認(rèn)可，也是公司先進(jìn)的產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)、鋼瓶內(nèi)壁處理技術(shù)、氣體分析技術(shù)等各方面綜合實(shí)力、競爭優(yōu)勢的體現(xiàn)。

國產(chǎn)化浪潮下，國內(nèi)廠商遇良機(jī)……

電子氣體是現(xiàn)代工業(yè)之基石，被譽(yù)為晶圓制造之“血液”，下游廣泛應(yīng)用于集成電路、面板、醫(yī)療、光纖等新興行業(yè)和冶金、化工等傳統(tǒng)行業(yè)。

電子特氣在半導(dǎo)體晶圓制造應(yīng)用中占比約70%，其次是面板顯示市場占比約20%。

除此之外，電子特氣還廣泛應(yīng)用于LED、太陽能電池、醫(yī)療健康等領(lǐng)域。

在集成電路等高端領(lǐng)域，電子氣體被液化空氣集團(tuán)、林德集團(tuán)、大陽日酸、日本昭和電工等國外氣體公司壟斷，國內(nèi)廠商市場份額較小。

然而，近年來，隨著全球晶圓廠的加速擴(kuò)建以及產(chǎn)能的逐步釋放，下游市場對(duì)電子特種氣體的需求廣闊。

另外，隨著中國半導(dǎo)體制造的崛起，也加速推動(dòng)了半導(dǎo)體材料的國產(chǎn)化進(jìn)程。

有數(shù)據(jù)顯示，2017-2021年，中國特種氣體市場規(guī)模從175億元增至342億元，年復(fù)合增速達(dá)18%，預(yù)計(jì)到2026年中國特種氣體行業(yè)的市場規(guī)模將達(dá)到808億元，2021-2026年復(fù)合增長率為18.76%。

據(jù)悉，凱美特氣并否國內(nèi)首家獲得ASML認(rèn)證的電子特氣廠商，在此之前，國內(nèi)另一家電子特氣上市公司華特氣體自主研發(fā)的Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne4種混合氣已于2017年得到ASML的認(rèn)證。

此外，國內(nèi)上市公司杭氧股份、金宏氣體、 南大光電等也均在逐鹿高端電子特氣領(lǐng)域。

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