當?shù)貢r間7月5日，據(jù)彭博社援引知情人士透露，美國政府正在向荷蘭、日本施壓，要求光刻機制造商阿斯麥（ASML）和尼康（Nikon）禁止向中國大陸出售制造全球大量芯片所需的主流技術(shù)。此舉將使現(xiàn)有向中國出售最先進系統(tǒng)的限制范圍進一步擴大，旨在挫敗中國成為全球芯片生產(chǎn)領(lǐng)導者的計劃。
該知情人士稱，此前ASML就已經(jīng)無法將其最先進的EUV光刻機工具運往中國了，但美國政府希望將限制范圍擴大至老款DUV光刻機設(shè)備等。這些機器雖然比先進技術(shù)落后了一代，但仍然是制造汽車、手機、電腦，乃至機器人所需的某些非先進芯片的最常用設(shè)備。
除此之外，美國政府還試圖在對中國禁售光刻機方面向日本施加壓力，因為日本尼康公司在ArFi光刻機領(lǐng)域占有少量的市場份額。
▲彭博社相關(guān)報道截圖
據(jù)悉，擴大對華光刻機出口限制的這一提議，是由美國商務(wù)部副部長唐?格雷夫斯（Don Graves）在5月底至6月初訪問荷蘭和比利時期間提出的。當時他還參觀了ASML總部，并與ASML首席執(zhí)行官彼得?溫寧克（Peter Wennink）討論了供應(yīng)鏈問題。
ASML為何受制于美國？
看到上述消息，不禁讓人產(chǎn)生疑惑：ASML是一家在荷蘭成立的公司，但為什么要受制于美國？
我們都知道，荷蘭ASML公司是全球最大的光刻機制造企業(yè)，但它其實也是一家集成工廠，其光刻機所需要的元件超過八成都是在荷蘭以外的經(jīng)濟體獲取的，特別是其中的關(guān)鍵技術(shù)和元件更是來自于美國。
正是由于ASML的核心技術(shù)和元件來自于美國，因此一臺售價昂貴的光刻機最后留給ASML的利潤其實并不高，美國企業(yè)已經(jīng)拿走了相當比例的利潤，而這也是美國企業(yè)的一貫做法——取得壟斷地位的行業(yè)都會將產(chǎn)品賣出高價，獲取豐厚的利潤。
與此同時，ASML的幾大客戶，比如Intel、臺積電和三星等都深受美國影響。其中，Intel是美國企業(yè)，臺積電的部分核心技術(shù)也來自于美國，三星不僅技術(shù)來自于美國，就連它的大多數(shù)股份也被美國企業(yè)所持有。另外，臺積電和三星的客戶也主要是美國企業(yè)，尤其是臺積電有近七成的收入來自美國市場。
如此情況下，美國可謂是抓住了ASML的命脈，不聽從美國的要求，那么ASML就無法組裝出光刻機，更無法將光刻機銷售出去。
盡管ASML在全球芯片制造產(chǎn)業(yè)中扮演著一個非常重要的角色，但鑒于以上種種原因，如果未來某天ASML無法再保證DUV或者EUV光刻機的正常供應(yīng)了，那么像臺積電、三星等世界頂尖的芯片代工廠都會受到不利的影響，屆時整個半導體行業(yè)的發(fā)展也會陷入瓶頸。
DUV與EUV有什么區(qū)別？
分析完ASML公司的基本情況，我們再來看一下此次“禁令”涉及的老款DUV光刻機，相較于EUV光刻機到底有什么區(qū)別？
首先，二者最大的區(qū)別就在于光源的不同。
DUV光刻機使用的是較為普通的深紫外線（Deep Ultraviolet Lithography），其光源波長為193nm。
而EUV光刻機使用的則是極深紫外線（Extreme Ultraviolet Lithography），其光源波長為13．5nm。需要說明的是，這一光源并非地球上天然存在的光線，而是需要特定的技術(shù)和設(shè)備才能制造出來的。
相比DUV光刻機的光源，EUV光刻機的光源更短，故而折射率更大、能量更大。
其次是光路系統(tǒng)的區(qū)別。
DUV光刻機的光路，主要利用光的折射原理，而且透鏡和晶圓之間可以采用不同的介質(zhì)來改變光刻性能。
反觀EUV光刻機，主要利用光的反射原理，而且由于光源的特殊性，需要真空操作。因為無論是水分子，還是空氣中的其它介質(zhì)，都會讓光源被吸收，從而造成損失。
再則是鏡頭質(zhì)量要求的區(qū)別。
相比DUV光刻機，條件特殊且系統(tǒng)復雜的EUV光刻機對鏡頭質(zhì)量更加嚴格。
有資料顯示，EUV光刻機需要反射透鏡具備極高的光學精度，同時還需要反射鏡表面鍍有采用Mo／Si多層膜結(jié)構(gòu)，以便于實現(xiàn)最佳反射率。
最后，從制程范圍來看，DUV光刻機只能生產(chǎn)7nm以上制程的芯片；而ASML制造出的EUV光刻機是生產(chǎn)7nm和5nm，甚至是3nm芯片的核心設(shè)備，因此更為高端。
上述種種區(qū)別，造就了DUV和EUV光刻機在應(yīng)用和價值上的最終區(qū)別。據(jù)悉，DUV的價格為2000－5000萬美元／臺不等；而EUV的價格則是1－3億美元／臺。目前，荷蘭ASML公司幾乎壟斷了世界上的高端光刻機，且產(chǎn)量非常少，價格昂貴。
荷蘭ASML是什么態(tài)度？
作為制造芯片最先進的設(shè)備，光刻機的先進程度等因素直接決定了芯片的制程工藝。如果上述消息屬實，這也意味著美國對中國芯片產(chǎn)業(yè)的全面圍堵。
畢竟，具備7nm以下制程芯片制造能力的EUV光刻機，早在2020年初就因為美國政府的壓力而禁止出口到中國了，而國內(nèi)目前能夠自主制造的芯片制程仍停留在28nm。如果荷蘭同意限制ASML向中國出售DUV光刻機，這將使得限制禁止進入中國的芯片制造設(shè)備的范圍和類別進一步擴大，由此可能對中芯國際、華虹半導體等中國大陸芯片制造商造成嚴重打擊。
雖然國內(nèi)也有一家光刻機廠商，名為上海微電子，但它目前所能生產(chǎn)出的最先進的光刻機精度只有22nm，與ASML相比還是有一定差距的。
所以，現(xiàn)在有一個問題至關(guān)重要：ASML到底是什么態(tài)度？
針對此事，ASML發(fā)言人表示，“這種討論并不新鮮，目前公司尚未作出任何決定，我們不會對傳言加以臆測或評論。”
而尼康發(fā)言人也表示，“我們沒有關(guān)于此事的信息可以透露?！?/p>
另據(jù)上述知情人士透露，目前荷蘭尚未同意對ASML向中國芯片制造商出口的任何額外限制，這可能會損害該國與中國的貿(mào)易關(guān)系。由于無法從荷蘭獲得出口許可證，ASML已經(jīng)無法將其最先進的、每臺售價約1．6億歐元的EUV光刻機運往中國了。
與此同時，荷蘭首相馬克?呂特（Mark Rutte）不久之前也在公開場合表示，反對改變與中國的貿(mào)易關(guān)系。
而ASML首席執(zhí)行官彼得?溫寧克（Peter Wennink）此前也曾表明態(tài)度，反對禁止向中國出口DUV光刻機。他認為，對華技術(shù)出口管制不僅不能阻止中國的技術(shù)進步，反而會最終損害美國經(jīng)濟，最終搬了石頭砸自己的腳。
從歷史經(jīng)驗可以看出，“惡意限制”絕不是一個國家絕對領(lǐng)先的好方法。如果ASML對中國停售關(guān)鍵芯片制造設(shè)備，必將會導致它未來的路越走越窄。
