近日，炬光科技在投資者互動平臺上表示，公司為荷蘭ASML核心供應(yīng)商A公司提供光刻機(jī)用光場勻化器和半導(dǎo)體晶圓退火核心元器件。

據(jù)了解，炬光科技成立于2007年9月，主要從事激光行業(yè)上游的高功率半導(dǎo)體激光元器件、激光光學(xué)元器件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。目前聚光科技已發(fā)展成為國內(nèi)實力最強的高功率半導(dǎo)體激光器品牌，擁有共晶鍵合技術(shù)、熱管理技術(shù)、熱應(yīng)力控制技術(shù)、界面材料與表面工程、測試分析診斷技術(shù)、線光斑整形技術(shù)、光束轉(zhuǎn)換技術(shù)、光場勻化技術(shù)（光刻機(jī)用）和晶圓級同步結(jié)構(gòu)化激光光學(xué)制造技術(shù)九大類核心技術(shù)，產(chǎn)品逐步被應(yīng)用于先進(jìn)制造、醫(yī)療健康、科學(xué)研究、汽車應(yīng)用、消費電子五大領(lǐng)域。

而炬光科技為ASML供應(yīng)商提供的半導(dǎo)體晶圓退火核心元器件和光場勻化器可用到半導(dǎo)體制造工藝中的前道工序中。

眾所周知，晶圓激光退火是28nm及以下邏輯芯片制造中的關(guān)鍵工藝之一。該工藝采用近紅外波段半導(dǎo)體激光光源，通過多組不同功能的激光光學(xué)整形系統(tǒng)及光學(xué)勻化系統(tǒng)，可以有效做到提升晶圓生產(chǎn)的良品率。

而聚光科技擁有的DLight S系列半導(dǎo)體集成電路晶圓退火系統(tǒng)在能量均勻性和能量穩(wěn)定性上表現(xiàn)優(yōu)異，可應(yīng)用到半導(dǎo)體前道工序中，并完成動態(tài)表面退火（DSA）和激光尖峰退火（LSA）兩種加工工藝。

另外，炬光科技推出的微光學(xué)光束整形產(chǎn)品具備大透鏡縱深（大數(shù)值孔徑）、光場非均勻度低（1％）、高品質(zhì)材料選擇范圍廣（玻璃、石英、半導(dǎo)體等）等優(yōu)勢，目前已經(jīng)應(yīng)用到業(yè)界領(lǐng)先的高性能半導(dǎo)體設(shè)備制造商中。

并購 LIMO擴(kuò)大業(yè)務(wù)范圍

值得一提的是，在去年12月23日，炬光科技發(fā)布了科創(chuàng)板上市公告書，根據(jù)公告書內(nèi)容顯示，炬光科技的重要收入及盈利來源于海外客戶，在報告期內(nèi)，公司主營業(yè)務(wù)收入中境外收入分別為 21，400．48 萬元、18，071．63萬元、18，855．15 萬元和 9，160．51 萬元，占主營業(yè)務(wù)收入比例分別為 61．38％、54．88％、53．19％和 42．51％。

而炬光科技的境外收入來源于2017年的一場并購。

在2017 年，炬光科技通過并購 LIMO后擁有“調(diào)控光子”的技術(shù)能力，并通過研發(fā)、市場、銷售的戰(zhàn)略整合，相互結(jié)合開始拓展“光子技術(shù)應(yīng)用解決方案”。

據(jù)了解，LIMO是一家致力于拓展激光光學(xué)元器件的新興應(yīng)用領(lǐng)域的公司，主要從事激光光學(xué)業(yè)務(wù)，擁有線光斑整形技術(shù)、光束轉(zhuǎn)換技術(shù)、光場勻化技術(shù)、晶圓級同步結(jié)構(gòu)化激光光學(xué)制造技術(shù)等多項核心技術(shù)。

收購 LIMO 后，炬光科技獲得了業(yè)務(wù)能力上的彌補和擴(kuò)展，通過將LIMO原有業(yè)務(wù)激光光學(xué)產(chǎn)品線（MO）保留在 LIMO中運營，并在東莞新建產(chǎn)能共同從事激光光學(xué)元器件業(yè)務(wù)；半導(dǎo)體激光產(chǎn)品線（主要是工業(yè)應(yīng)用模塊，ILS）轉(zhuǎn)移至西安運營，豐富了炬光科技的高功率半導(dǎo)體激光的產(chǎn)品線；

如今，炬光科技現(xiàn)已形成高功率半導(dǎo)體激光元器件、激光光學(xué)元器件、汽車應(yīng)用（激光雷達(dá)）和光學(xué)系統(tǒng)四大核心業(yè)務(wù)領(lǐng)域。

半導(dǎo)體激光和激光光學(xué)為主營業(yè)務(wù)

在報告期內(nèi)，炬光科技2021 年 1－9 月實現(xiàn)營業(yè)收入 34，289．44 萬元，同比增長 29．33％，凈利潤為5439．32萬元，同比增長116．22％。其中公司半導(dǎo)體激光業(yè)務(wù)和激光光學(xué)業(yè)務(wù)分別較上年同期增長 54．68％和 23．86％，為本期業(yè)績增長的主要原因。

（圖源炬光科技公告）

目前，半導(dǎo)體激光業(yè)務(wù)和激光光學(xué)業(yè)務(wù)已成為聚光科技的主要營收業(yè)務(wù)，2021年1－6月，公司的半導(dǎo)體激光及激光光學(xué)業(yè)務(wù)營收金額分貝為9439．04萬元、10076．80萬元，分別占比43．8％、46．76％。

其中，炬光科技的激光光學(xué)業(yè)務(wù)典型產(chǎn)品包括光束轉(zhuǎn)換器、光場勻化器等。報告期內(nèi)，其光場勻化器在光刻應(yīng)用產(chǎn)品單價分別為22．30萬元／件、20．38萬元／件、20．87萬元／件和20．91萬元／件，光場勻化器等相關(guān)產(chǎn)品為炬光科技貢獻(xiàn)了較大業(yè)務(wù)收入。

ASML工廠發(fā)生火災(zāi)

眾所周知，炬光科技提供的光場勻化器產(chǎn)品主要是提供給ASML的核心供應(yīng)商A公司，且已經(jīng)應(yīng)用到ASML的核心產(chǎn)品高端光刻機(jī)當(dāng)中生產(chǎn)。

據(jù)了解，ASML在當(dāng)?shù)貢r間1月3日的時候有部分工廠發(fā)生火災(zāi)，當(dāng)時ASML并未公布火災(zāi)受損情況。

到了當(dāng)?shù)貢r間1月7日，ASML更新了德國柏林的部分工廠內(nèi)發(fā)生火災(zāi)的最新情況。

ASML表示，火災(zāi)發(fā)生在柏林現(xiàn)場的一棟生產(chǎn)大樓的一部分，煙霧部分影響了相鄰的大樓。目前已經(jīng)能夠在這些建筑物的部分地區(qū)恢復(fù)生產(chǎn)。現(xiàn)場的其他建筑物沒有受到影響，并已全面投入使用。

盡管ASML對損害的影響評估仍在進(jìn)行中，但ASML認(rèn)為：

1．我們的計量和檢驗輸出計劃不受影響，因為它們不包含柏林制造的任何組件。

2． DUV組件的制造已重新啟動。盡管 DUV 的組件出現(xiàn)了一些中斷，但我們希望以不會影響我們 DUV 的產(chǎn)量和收入計劃的方式進(jìn)行補救。

3．關(guān)于EUV光刻機(jī)，火災(zāi)影響了我們 EUV 系統(tǒng)中的一個模塊晶圓夾具的部分生產(chǎn)區(qū)域。我們?nèi)栽谕瓿稍撋a(chǎn)區(qū)域的恢復(fù)計劃，并確定如何最大限度地減少對我們的 EUV 客戶的任何潛在影響，無論是在我們的輸出計劃還是在我們的現(xiàn)場服務(wù)中。

同時，ASML還表示其將在2022 年 1 月 19 日公布 2021 年第四季度和全年業(yè)績，以及對 2022 年的初步看法，預(yù)計屆時還將提供有關(guān)該事件的進(jìn)一步更新。

這次ASML德國柏林的工廠發(fā)生火災(zāi)，已經(jīng)影響到了其光刻機(jī)產(chǎn)品重要零部件的供應(yīng)，ASML或?qū)⒁虼苏覍じ嗟墓?yīng)商已確?？梢约皶r獲取充足的零部件供應(yīng)，炬光科技子公司或?qū)⒁虼耸芤妗?/p>

結(jié)語

炬光科技多年來一直為半導(dǎo)體光刻應(yīng)用領(lǐng)域提供光刻機(jī)曝光系統(tǒng)中的核心激光光學(xué)元器件——光場勻化器，其產(chǎn)品目前在國內(nèi)主要光刻機(jī)研發(fā)項目和樣機(jī)中也已經(jīng)有所應(yīng)用，而國內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)也將因此受益，有效改善國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的生態(tài)環(huán)境。