Advanced Energy 的4100T光纖溫度計可確保先進半導體工藝的溫度更準確以及更容易控制工藝流程

這款4100T多通道、非接觸式光纖溫度計的測量度數(shù)更準確，而且讀取率也較快，讓一直領先市場的OR4000T可以輕易換代更新

北京，中國 - Media OutReach - 二零二一年十一月二十四日 - Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) 一直致力于開發(fā)各種先進的高精度電源轉(zhuǎn)換、測量和控制系統(tǒng)等解決方案，這方面的技術更一直領先全球。該公司宣布推出一款名為Sekidenko 4100T 的高溫計。這款4100T光纖溫度計采用即插即用的設計，只要輕輕一插便可取代 Advanced Energy 一直領先市場的OR4000T，而且4100T的溫度測量準確度特別高，溫度范圍也較寬廣，加上內(nèi)置的多條通道可同時進行讀取，讓讀取速度可以提升至最高水平，因此極適用于先進半導體和相關的薄膜應用。

Advanced Energy 關鍵檢測技術及控制系統(tǒng)市場營銷及應用副總裁 Jeff Hebb 表示：「Advanced Energy 的高溫計性能卓越，技術領先同業(yè)，一直獲多家頂尖的半導體OEM大廠采用。這款4100T高溫計的許多功能都比原先一直領先同業(yè)的 Advanced Energy OR4000T 有進一步的改善，新功能也很多，讓我們的客戶可將工藝控制能力和生產(chǎn)力提升至無與倫比的高水平。功能齊備的4100T是一款可輕易取代OR4000T的替代品，讓我們現(xiàn)有的客戶可以輕易為系統(tǒng)換代更新。此外，這款高溫計也可支持EtherCAT、串行和USB通信接口。」

由于使用4100T的用戶可以同時測量多達4個不同位置的溫度，因此執(zhí)行多點控制功能所不能缺少的控制箱可以進一步減少，這樣有助于縮小方案大小，也可節(jié)省系統(tǒng)成本。此外，每一通道的讀取速度可以高達1kHz，因此熱反應會更快，讓溫度可以更易受控，并確保先進應用的溫度更加一致，相關的應用包括快速熱處理、激光退火、原子層沉積以及其他先進的沉積技術。

這款多通道的光纖溫度計可按照特殊應用發(fā)射可配置波長，因此其準確度、可重復性和可靠性都特別高，而且讀取速度也較快，適用于要求極為嚴格的溫度測量工作。傳統(tǒng)的熱電偶和其他接觸式的傳感器測量方法有時并不十分適用，例如直接接觸會令晶圓受損，也會產(chǎn)生污垢或因為受到熱轉(zhuǎn)移效應的影響以致出現(xiàn)測量誤差。4100T光纖溫度計可以無需接觸相關物體而直接在現(xiàn)場測量溫度，準確度在 ±1.5°C 之內(nèi)。此外，4100T光纖溫度計不但沒有因直接接觸而可能產(chǎn)生的問題，而且對于某些應用來說，例如，正在移動中的晶圓或正以極高溫或較高變溫速率(ramp rate)研磨處理中的晶圓，4100T是個理想的解決方案。