相信在我把思銳智能稱之為“國(guó)產(chǎn)”半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的時(shí)候，也許有人會(huì)提出反對(duì)意見說(shuō)——這家公司的技術(shù)不是源自于芬蘭倍耐克（BENEQ）嗎？為什么稱之為國(guó)產(chǎn)公司？但正如該公司的副總經(jīng)理陳祥龍所說(shuō)，這正是核心所在。

　　據(jù)陳祥龍所說(shuō)，從思銳智能在2018年收購(gòu)BENEQ開始，公司就一直在推動(dòng)雙方的合作整合，當(dāng)中包括雙方人員的互通交流、中國(guó)的項(xiàng)目由中芬團(tuán)隊(duì)協(xié)同研發(fā)?！罢且?yàn)檫@樣的人員和技術(shù)的交流，我們公司的ALD（Atomic Layer Deposition：原子層沉積）設(shè)備才能夠那么快地推進(jìn)國(guó)內(nèi)客戶的產(chǎn)線”，陳祥龍表示。他同時(shí)也強(qiáng)調(diào)，公司在技術(shù)和專利整合方面也在順利推進(jìn)中。

　　正是基于以上考慮，筆者把這家近年來(lái)崛起的ALD設(shè)備廠商稱之為本土半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商。

　　在“進(jìn)入”中國(guó)三年之后，這家設(shè)備新星找到了更廣闊的市場(chǎng)空間。

　　ALD設(shè)備領(lǐng)域的王者

　　據(jù)了解，在剛發(fā)展早期，ALD是被用于生產(chǎn)納米結(jié)構(gòu)的絕緣體（Al2O3/TiO2）和薄膜電致發(fā)光顯示器（TFEL）的硫化鋅（ZnS）發(fā)光層。但因?yàn)槠鋼碛袃?yōu)異的保形性和均勻性、高的臺(tái)階覆蓋率、速率可控性、低溫沉積、薄膜純度以及絕佳覆蓋率等固有優(yōu)點(diǎn)，ALD逐漸“出圈”，從薄膜顯示器走向了半導(dǎo)體、電池、光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)和航空航天領(lǐng)域等眾多領(lǐng)域。

　　被思銳智能收購(gòu)的芬蘭BENEQ正是該領(lǐng)域一個(gè)資深玩家。

　　據(jù)陳祥龍介紹，雖然是一家本地化的高端ALD設(shè)備公司，但思銳智能卻是一家非常國(guó)際化和全球化的企業(yè)。從整體收入結(jié)構(gòu)看來(lái)，歐洲、美國(guó)、中國(guó)大陸或者是整個(gè)亞太地區(qū)的營(yíng)收各占總收入的1/3。公司合作的客戶也遍布全球40多個(gè)國(guó)家和地區(qū)，使用公司設(shè)備的客戶也達(dá)到400-500家。

　　從創(chuàng)新能力角度看，思銳智能目前大概有200多人，其中博士比例占了將近10%，碩士以上占50%。公司現(xiàn)在在全球ALD布局的專利有大約300個(gè)，其中95% 以上是發(fā)明專利，而且主要布局都在歐洲、美國(guó)、日本或國(guó)內(nèi)，以及中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)?！盁o(wú)論是從我們過(guò)去服務(wù)的客戶情況，還是從我們專利的情況，以及我們團(tuán)隊(duì)創(chuàng)新的能力來(lái)看，我們都是一個(gè)有競(jìng)爭(zhēng)力的公司。”陳祥龍強(qiáng)調(diào)。

　　從整個(gè)行業(yè)的態(tài)勢(shì)來(lái)講，在功率化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域，思銳智能無(wú)論是在基材的出貨量，還是合作客戶的質(zhì)量上看，公司的表現(xiàn)都不俗。在這個(gè)領(lǐng)域，思銳智能也必然是世界上第一梯隊(duì)的供應(yīng)商。

　　“Beneq是最早做ALD的公司之一，公司在這個(gè)方方面面有著非常深的技術(shù)積累。在將近40年的時(shí)間發(fā)展中，公司積累了非常豐富的工藝包。這就讓公司在提供設(shè)備之余，還能給客戶提供完整的鍍膜解決方案?！彼间J智能半導(dǎo)體ALD銷售總監(jiān)高智補(bǔ)充說(shuō)。

　　據(jù)了解，得益于過(guò)往的積累，現(xiàn)在的思銳智能提供開發(fā)服務(wù)、ALD設(shè)備和鍍膜服務(wù)這三方面的服務(wù)：

　　在開發(fā)服務(wù)方面，思銳智能可以提供一系列整套的研發(fā)服務(wù)解決方案，幫助客戶實(shí)現(xiàn)一些首批樣品批量生產(chǎn)，不管是樣品，包括薄膜材料研究，還包括和一些客戶在共同的做研究；來(lái)到ALD設(shè)備方面，思銳智能則能提供面向不同領(lǐng)域和場(chǎng)景的的設(shè)備；依賴于70臺(tái)ALD鍍膜設(shè)備，思銳智能可以為客戶可提供定制化ALD薄膜的生產(chǎn)外包服務(wù)，小規(guī)模試生產(chǎn)或完全外包生產(chǎn)自由選擇，為沒(méi)有初期資本投資的公司提供最佳的ALD鍍膜服務(wù)。

　　向更多市場(chǎng)擴(kuò)張

　　正因?yàn)樗间J智能的ALD設(shè)備擁有如此巨大的優(yōu)勢(shì)和潛力，因此在收購(gòu)Beneq之后，公司進(jìn)一步將ALD產(chǎn)品劃分為半導(dǎo)體和非半導(dǎo)體業(yè)務(wù)線。

　　其中非半導(dǎo)體業(yè)務(wù)線包括抗腐蝕鍍膜器件、保形光學(xué)鍍膜、OLED封裝、鋰電池保護(hù)層等等，既聚焦于研發(fā)設(shè)備，也聚焦于工業(yè)級(jí)應(yīng)用；半導(dǎo)體業(yè)務(wù)則重點(diǎn)發(fā)展其超越摩爾市場(chǎng)的應(yīng)用，當(dāng)中包括功率器件、RF濾波器器件以及化合物半導(dǎo)體、慣性流體3D MEMS和圖像傳感器，Micro-LED以及芯片級(jí)鍍膜封裝。

　　從過(guò)去幾年的發(fā)展看來(lái)，我們也看到思銳智能正在發(fā)力，將ALD設(shè)備向超越摩爾市場(chǎng)的多個(gè)領(lǐng)域擴(kuò)張。例如在當(dāng)前火熱的激光雷達(dá)領(lǐng)域，ALD就能發(fā)揮關(guān)鍵的作用?！凹す饫走_(dá)的核心器件VCSEL從上至下，從抗反射層、表面鈍化層，再到基底的熱吸收層，都全部會(huì)用到ALD相關(guān)的工藝。”高智舉例說(shuō)。

　　能走向那么多市場(chǎng)，除了夯實(shí)的技術(shù)基礎(chǔ)外，豐富的產(chǎn)品線才是公司開辟疆土的“先鋒”。

　　高智告訴記者，在面向光電類應(yīng)用，思銳智能有兩個(gè)產(chǎn)品，其中一個(gè)是面向光學(xué)前端模組的（偏光學(xué)模組）思銳智能的P系列和面向光學(xué)鍍膜的C2R設(shè)備，其中后者也就是他們所說(shuō)的空間旋轉(zhuǎn)式的等離子增強(qiáng)型ALD。這是一款專門面向光學(xué)光電鍍膜的設(shè)備，其鍍膜速度可以幾乎達(dá)到每小時(shí)幾微米的厚度，可以媲美整個(gè)PVD；

　　還有一個(gè)就是面向光學(xué)后端半導(dǎo)體器件的Transform設(shè)備。在這個(gè)設(shè)備中，思銳智能為其率先引入了一個(gè)叫做“預(yù)加熱”的技術(shù)。因?yàn)橛辛诉@個(gè)模塊的加入，能夠極大程度地縮短ALD的升溫時(shí)間。據(jù)了解，以前ALD設(shè)備加熱需要幾個(gè)小時(shí)，但在新技術(shù)支持下，可以在30秒內(nèi)完成一個(gè)到200度的加熱，這樣就可以進(jìn)而提升其產(chǎn)能。

　　同時(shí)，不同于其他ALD設(shè)備只能在“熱法”和“等離子增強(qiáng)型”方案中二選一，思銳智能的產(chǎn)品在一個(gè)腔體里面能夠做到既可以執(zhí)行等離子增強(qiáng)型，又可以做到熱法工藝，同時(shí)還不僅只局限于單片（可以做batch 25片的工藝）。那就意味著將帶來(lái)巨大的產(chǎn)能提升。

　　得益于Transform平臺(tái)的優(yōu)勢(shì)，思銳智能還在推動(dòng)ALD設(shè)備向MEMS和CMOS圖像傳感器市場(chǎng)擴(kuò)張。特別是在CIS市場(chǎng)，據(jù)思銳智能透露，公司產(chǎn)品在這個(gè)領(lǐng)域取得了突破性進(jìn)展。除了上述市場(chǎng)，ALD設(shè)備還在濾波器、Micro-OLED、Micro-LED和光電子等多個(gè)應(yīng)用市場(chǎng)尋找發(fā)力點(diǎn)，他們同時(shí)還也推出了包括高K介電質(zhì)、表面鈍化、成核層、化學(xué)阻層、防潮層和抗反射鍍膜等ALD解決方案。

　　在思銳智能看來(lái)，公司的ALD設(shè)備能夠繼續(xù)向更多市場(chǎng)進(jìn)軍。且無(wú)需花費(fèi)太多心思，這一方面得益于公司產(chǎn)品本身在技術(shù)上的優(yōu)勢(shì)，同時(shí)還得歸功于公司在設(shè)計(jì)產(chǎn)品時(shí)對(duì)兼容性的考慮。

　　“我們?cè)O(shè)備的設(shè)計(jì)是8英寸的，可是我們向上兼容3英寸、4英寸和6英寸。且在兼容不同尺寸的時(shí)候，腔體并不需要做硬件的變化，這就給我們的用戶提供了基于尺寸的多樣性?！备咧钦f(shuō)。至于在面向12英寸的應(yīng)用，按照高智的說(shuō)法，公司也會(huì)在現(xiàn)有的設(shè)備上做升級(jí)，這也將是一個(gè)最經(jīng)濟(jì)的選擇。

　　不會(huì)取代傳統(tǒng)設(shè)備

　　從上面C2R的應(yīng)用可以看出，ALD能夠打破傳統(tǒng)的“沉積速度非常慢的工藝”的舊印象，向多個(gè)領(lǐng)域的擴(kuò)展也證明了ALD設(shè)備的通用性。這就引發(fā)人們對(duì)其未來(lái)能否取代傳統(tǒng)工藝設(shè)備的思考。

　　針對(duì)這個(gè)問(wèn)題，陳祥龍回應(yīng)道，在半導(dǎo)體里，大家一定是一個(gè)互補(bǔ)的存在。例如在平面光學(xué)，可能還是以平面這種鍍膜就可以；但如果進(jìn)入到微納光學(xué)，因?yàn)閾碛懈鼜?fù)雜的光學(xué)結(jié)構(gòu)，就有消除鬼影等需求，這時(shí)候ALD就會(huì)是個(gè)更好的選擇。

　　“因?yàn)閾碛懈嗖煌膽?yīng)用，我認(rèn)為CVD、PVD跟ALD都是共存的，而且已經(jīng)共存了好多年，我們相信在這個(gè)領(lǐng)域里也是一樣的。但我們可以肯定的是，無(wú)論是在半導(dǎo)體還是泛半導(dǎo)體、光學(xué)領(lǐng)域里，隨著器件越來(lái)越輕量化、小型化、智能化，ALD的市場(chǎng)一定是越來(lái)越大。”陳祥龍強(qiáng)調(diào)。

　　“我們一直致力于成為一家全球范圍內(nèi)的高端ALD設(shè)備供應(yīng)商”，陳祥龍最后說(shuō)。