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12億美元!中芯與ASML達成新的設(shè)備采購協(xié)議,會有EUV光刻機嗎?

2021-03-04
來源:芯智訊
關(guān)鍵詞: 中芯 ASML EUV光刻機

  3月3日晚間,中芯國際通過港交所發(fā)布公告,宣布公司已于2021年2月1日,就購買用于生產(chǎn)晶圓的阿斯麥(ASML)產(chǎn)品與ASML上海公司簽訂了經(jīng)修訂和重述的采購協(xié)議,根據(jù)購買的ASML產(chǎn)品定價計算,該協(xié)議購買ASML產(chǎn)品的總代價約為12億美元(約合人民幣77.6億元)。

  根據(jù)該協(xié)議,中芯國際將先行向ASML支持30%的預付款,余款將于產(chǎn)品交付時支付。

  從采購金額來看,12億美金夠買十多臺先進的DUV光刻機,即便是1.2億美金一臺的EUV光刻機,也能賣個10臺左右。

  根據(jù)公告顯示,ASML批量采購協(xié)議的期限從原來的2018年1月1日至2020年12月31日延長至從2018年1月1日至2021年12月31日。中芯國際根據(jù)批量采購協(xié)議已于2020年3月16日至2021年3月2日的12個月期間就購買用于生產(chǎn)晶圓的ASML產(chǎn)品與ASML集團簽訂購買單。

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  也就是說,此次的協(xié)議是此前采購協(xié)議(2018年1月1日至2020年12月31日)的延長,延長至2021年12月31日。換句話來說就是,這是一個覆蓋了2018-2021年三年間的采購協(xié)議,并且公告顯示,在2020年3月16日至2021年3月2日的12個月期間,已經(jīng)在執(zhí)行購買協(xié)議。

  所以,這個12億美元的采購并不是全新的采購訂單,只是之前簽訂的采購協(xié)議的延期和重新修改,之前已經(jīng)完成了部分的采購。

  而且,這個采購協(xié)議里可能還包含了之前2018年采購的那臺至今未交付的EUV光刻機的訂單的延期。

  早在2018年5月,中芯國際就向ASML訂購了一臺最新型的EUV光刻機,原計劃在2019年初交付。但是由于美國方面的阻撓,ASML一直未能收到荷蘭政府頒發(fā)新的許可證,這也導致了ASML一直無法向中芯國際交付EUV光刻機。

  不過由于中芯國際訂購的EUV光刻機遲遲無法拿到許可,該訂單也有可能已經(jīng)取消或替換成了等價的DUV光刻機,畢竟在美國的阻撓下,今年年內(nèi)可能還是難以實現(xiàn)EUV光刻機的交付。

  此前,ASML的CFO在財報會議的視頻采訪中表示:如果寬泛地理解相關(guān)規(guī)則對AMSL的整體意義,ASML將能夠從荷蘭向中國客戶(包括中芯國際)提供DUV光刻系統(tǒng),且無需出口許可證。不過,如果涉及直接從美國運往此類客戶的零件或系統(tǒng),ASML則需要為此申請出口許可證。

  即便中芯國際未來能夠拿到EUV光刻機,由于美國的禁令,限制對于中芯國際供應(yīng)10nm及以下工藝所需的美系半導體設(shè)備,這也使得中芯難以對7nm以下制程實現(xiàn)量產(chǎn)突破,畢竟半導體生產(chǎn)并不只是靠光刻機就行的。未來,中芯國際可能還是要依靠與國產(chǎn)及非美系設(shè)備廠商在先進制程上的協(xié)作來突破。

  

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