據(jù)麥姆斯咨詢報道，近日，位于英國劍橋的初創(chuàng)公司 Flusso 推出了新款流量傳感器 FLS110，尺寸僅為 3.5 mm × 3.5 mm，號稱是全球最小尺寸的 MEMS 流量傳感器。

　　目前，流量傳感器的目標(biāo)應(yīng)用主要包括：真空吸塵器、空調(diào)機(jī)組和其它消費(fèi)類電器的有源濾波器監(jiān)測，工業(yè)和家用氣體檢測產(chǎn)品及系統(tǒng)的管道堵塞檢測，消費(fèi)類和工業(yè)類應(yīng)用的氣泵監(jiān)測與控制，以及如智能吸入器、健身監(jiān)測面罩等便攜式醫(yī)療設(shè)備。

　　圖源：Baidu

　　Flusso 的流量傳感器利用了 CMOS MEMS 硅基平臺，同時還具備額外的可編程性和可配置性。該流量傳感器采用微電子技術(shù)進(jìn)行封裝和組裝，可為每月數(shù)千萬個部件的制造提供高性能和可擴(kuò)展性。

　　該傳感器在旁路結(jié)構(gòu)中測量流量，測量范圍較廣，從 0.001 標(biāo)準(zhǔn)升 / 分鐘到超過 500 標(biāo)準(zhǔn)升 / 分鐘皆可涵蓋。同時，該傳感器可提供完全溫度補(bǔ)償信號。

　　根據(jù)應(yīng)用需求、設(shè)計指南以及應(yīng)用工程支持，F(xiàn)lusso 提供的固件和軟件可配置和定制不同的 FLS110 操作模式，以幫助客戶縮短新產(chǎn)品的開發(fā)周期。

　　FLS110 集成于 6 引腳 DFN 封裝中，經(jīng)回流焊，由自動產(chǎn)品組裝線完成編帶和卷盤后發(fā)貨。

　　Flusso 現(xiàn)已提供 FLS110 樣品，并與產(chǎn)品評估套件一起提供。該產(chǎn)品將于 2021 年上半年開始量產(chǎn)。

　　Flusso 成立于 2016 年，從劍橋大學(xué)分離出來，致力于開發(fā)用于低成本，大批量應(yīng)用的流量傳感解決方案。2020 年中期，F(xiàn)lusso 完成了其嚴(yán)重超額認(rèn)購的 A 輪融資——570 萬美元，而英國和其他許多國家則處于鎖定狀態(tài)。該投資資金將使公司將其 FLS110 流量傳感器投入批量生產(chǎn)。

　　由 Florin Udrea 教授（CamSemi、Cambridge CMOS Sensors、Cambridge Microelectronics 以及 Cambridge GaN Devices 的聯(lián)合創(chuàng)始人）、Julian Gardner 教授（Cambridge CMOS Sensors 和 Sorex 的聯(lián)合創(chuàng)始人）、John Coull 博士以及 Andrea De Luca 博士共同創(chuàng)立，公司所有傳感器專家都具有豐富的半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)驗。

　　此外，F(xiàn)lusso 邀請到對經(jīng)營半導(dǎo)體初創(chuàng)公司具有豐富經(jīng)驗的企業(yè)家 Robert Swann 擔(dān)任董事長，也邀請了前霍尼韋爾安全與生產(chǎn)力解決方案部門技術(shù)與合作副總裁 Cleopatra Cabuz 加入公司。

　　該公司曾于 2020 年 6 月獲得 570 萬美元的 A 輪融資，此輪融資旨在大規(guī)模生產(chǎn) Flusso 號稱全球尺寸最小的 MEMS 流量傳感器。這輪融資由 Parkwalk Advisors 和 Foresight Williams Technology EIS 基金領(lǐng)投，24 Haymarket、Cambridge Enterprise、Martlet 和 Cambridge Angels 等公司共同跟投。