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臺積電2nm工藝研發(fā)突破,或采用環(huán)繞柵極晶體管技術

2020-09-25
來源:OFweek電子工程網(wǎng)

最近,半導體業(yè)界公認的晶圓代工之王臺積電再次傳出芯片利好消息,外媒援引產(chǎn)業(yè)鏈消息人士的信息,臺積電2nm工藝的研發(fā)進展超出預期,甚至快于原計劃。

2nm似乎是目前已知芯片工藝能達到的極限所在,關于2nm工藝的消息并不多。此前臺積電曾透露出公司已經(jīng)獲得了建造2nm工藝芯片生產(chǎn)工廠所需的土地,或將位于新竹科學園區(qū);另外一則關于臺積電2nm工藝的消息則是在上月底舉辦的臺積電2020年度全球技術論壇上,他們透露正在同一家主要客戶緊密合作,加快2nm工藝研發(fā)進展,不過并未透露具體客戶。

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圖片源自OFweek維科網(wǎng)

2nm工藝終于要用上環(huán)繞柵極晶體管技術(GAA)

根據(jù)消息人士透露臺積電的2nm工藝,不會繼續(xù)采用成熟的鰭式場效應晶體管技術(FinFET),而會采用環(huán)繞柵極晶體管技術(GAA)。要知道,在3nm工藝節(jié)點上,臺積電選擇了采用FinFET放棄了GAA,而三星卻在3nm工藝上一直堅持著GAA路線,如今臺積電率先來到2nm工藝路口,其作出的選擇也基本意味著接下來半導體行業(yè)整體的到前進方向。

為什么考慮選擇GAA,這還得從FinFET說起。眾所周知,晶體管的演化與半導體發(fā)展進程息息相關,晶體管是一種控制電流大小與開關的電子器件,其作用就跟水龍頭用來控制水流的大小以及開關一樣。而晶體管中一個重要影響因素就是場效應,是指通過施加一個電場來實現(xiàn)對電流的控制,所以也就有了場效應晶體管(Field-Effect Transistor,F(xiàn)ET)一說。

FinFET就是源自于場效應晶體管,在FinFET的架構中,閘門的形狀類似魚鰭的叉狀3D架構(“鰭式場效應晶體管”命名的由來),可于電路的兩側控制電路的接通與斷開。這種設計可以大幅改善電路控制并減少漏電流,也可以大幅縮短晶體管的柵長。

芯片工藝節(jié)點發(fā)展到5nm之后,F(xiàn)inFET也面臨一系列難題。首先是隨著柵線之間間距的減小,再想像以往一樣在一個單元內填充多個鰭線已不現(xiàn)實,同時柵線間距的減小還會導致FinFET的靜電問題急速加劇并直接制約晶體管性能的提升,此外FinFET的出現(xiàn)雖然突破了平面晶體管的短溝道效應限制讓電壓得意降低,但是還不夠,在理想情況下溝道應該被柵極完全包圍。因此在5nm之后,業(yè)界迫切需要一個新的結構來替代鰭式晶體管結構,這就帶來了全環(huán)繞柵極晶體管,也就是我們所說的GAA。

當然,受限于摩爾定律等原因,采用GAA結構也需要滿足以下幾個條件:1、新的結構需要的生產(chǎn)工藝應該與FinFET相似,可使用現(xiàn)有的設備及技術成果實現(xiàn);2、新的結構應實現(xiàn)對通道更好的控制,例如柵極與通道之前的接觸面積更大;3、新的結構帶來的寄生電容和電阻問題應得到顯著改善。

以臺積電2nm目前的研發(fā)進度來看,預計臺積電2023年下半年可望進入風險性試產(chǎn),2024年正式量產(chǎn)。


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