近日，黎明化工承擔(dān)的國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”中的“高純四氟化碳和六氟化硫研發(fā)與中試”子項(xiàng)目，通過(guò)了國(guó)家重大專(zhuān)項(xiàng)項(xiàng)目組的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試與評(píng)審，相關(guān)產(chǎn)品已提交客戶(hù)使用。

    國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)口的歷史性機(jī)遇

    近日，美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)發(fā)函，禁止中方將采購(gòu)的設(shè)備作為軍用，并可無(wú)限追溯。 跡象顯示，美國(guó)對(duì)中國(guó)高新技術(shù)尤其是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的管控繼續(xù)收緊。同時(shí)也意味著，大力發(fā)展自主的配套產(chǎn)業(yè)，助力中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)突圍，更加迫在眉睫。

    電子特種氣體（簡(jiǎn)稱(chēng)電子特氣），是指用于半導(dǎo)體、平板顯示及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的特種氣體。在整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)過(guò)程中，從芯片生長(zhǎng)到最后器件的封裝，幾乎每一個(gè)環(huán)節(jié)都離不開(kāi)電子特氣，而且所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高，所以電子氣體又有半導(dǎo)體材料的“糧食”之稱(chēng)。在多個(gè)國(guó)際貿(mào)易糾紛及產(chǎn)業(yè)逆全球化的大背景下，中國(guó)電子氣體國(guó)產(chǎn)化將是重要一環(huán)。

    黎明化工黎明院開(kāi)發(fā)的高純度含氟電子氣體四氟化碳和六氟化硫產(chǎn)品，能夠滿(mǎn)足極大規(guī)模集成電路行業(yè)所需的高純度氣體需求，也標(biāo)志著極大規(guī)模集成電路行業(yè)用高純度四氟化碳和六氟化硫電子氣體實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)化。目前，高純度四氟化碳和六氟化硫已被批量使用，實(shí)現(xiàn)了部分進(jìn)口替代。

    本土化率低 國(guó)產(chǎn)化市場(chǎng)空間大

    全球范圍來(lái)看，隨著全球半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模在2018年的高增長(zhǎng)，全球集成電路用電子氣體的市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到45．1億美元，市場(chǎng)規(guī)模較上年同比增加了15．9％，國(guó)內(nèi)范圍來(lái)看，2018年，我國(guó)電子氣體市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到了121．6億元，較上年同比增加了11．2％，2013－2018年的增速達(dá)13．3％。隨著中國(guó)電子行業(yè)的迅猛發(fā)展，我國(guó)的電子氣體國(guó)產(chǎn)化生產(chǎn)和市場(chǎng)占有率也在不斷突破，但與國(guó)外仍有一定差距。半導(dǎo)體制程過(guò)程中用到的83種電子氣體，其中有35％已經(jīng)實(shí)現(xiàn)本土化，還有35％正在本土化，30％還未進(jìn)行本土化。

    其中，全球電子氣體市場(chǎng)中含氟系列電子氣體約占其總量的30％左右，我國(guó)能夠自主且規(guī)模化生產(chǎn)CF4、CHF3、CH2F2、CH3F、C2F6、SF6、NF3、BF3、COF2等含氟電子氣體，但是國(guó)產(chǎn)含氟電子氣體難以得到下游應(yīng)用企業(yè)的認(rèn)可。

    國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)所用的含氟電子氣體90％以上是由外國(guó)獨(dú)資或合資企業(yè)提供，美國(guó)空氣化工、法國(guó)液空集團(tuán)、德國(guó)林德等氣體行業(yè)的巨頭在國(guó)內(nèi)都建立了多家合資公司，開(kāi)發(fā)新型、安全、環(huán)保的含氟電子氣體已成為近年來(lái)國(guó)內(nèi)外研究和產(chǎn)業(yè)化熱點(diǎn)。

    含氟電子氣體前景廣闊 大勢(shì)所趨

    隨著人們對(duì)電子產(chǎn)品的需求迅速增加，電子行業(yè)獲得了空前的發(fā)展，高純、超高純的含氟電子氣體的市場(chǎng)需求量也急劇增長(zhǎng)。無(wú)疑作為原材料的特種氣體存在很大的發(fā)展空間。

    由于特種電子氣體行業(yè)投資大，尤其是含氟電子氣體生產(chǎn)商須具有雄厚的資金實(shí)力和研發(fā)能力。因此，我國(guó)含氟電子氣體發(fā)展水平與世界先進(jìn)水平存在一定的差距，主要的原因是國(guó)內(nèi)含氟電子氣體品種不齊全，研究和生產(chǎn)的相關(guān)技術(shù)和配套還不夠完善。

    隨著《中國(guó)制造 2025》的提出，集成電路被放在發(fā)展新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的首位，在超凈、高純?cè)牧系陌l(fā)展布局上，強(qiáng)化整條產(chǎn)業(yè)鏈的深度融合，擺脫核心環(huán)節(jié)受控于人的局面，是確保集成電路產(chǎn)業(yè)未來(lái)自主可控發(fā)展的重要前提。因此，作為集成電路產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵材料的含氟電子氣體發(fā)展前景廣闊，國(guó)產(chǎn)化也是大勢(shì)所趨。