近日，黎明化工承擔的國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”中的“高純四氟化碳和六氟化硫研發(fā)與中試”子項目，通過了國家重大專項項目組的現(xiàn)場測試與評審，相關(guān)產(chǎn)品已提交客戶使用。

    國產(chǎn)替代進口的歷史性機遇

    近日，美國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)發(fā)函，禁止中方將采購的設(shè)備作為軍用，并可無限追溯。 跡象顯示，美國對中國高新技術(shù)尤其是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的管控繼續(xù)收緊。同時也意味著，大力發(fā)展自主的配套產(chǎn)業(yè)，助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)突圍，更加迫在眉睫。

    電子特種氣體（簡稱電子特氣），是指用于半導(dǎo)體、平板顯示及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的特種氣體。在整個半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)過程中，從芯片生長到最后器件的封裝，幾乎每一個環(huán)節(jié)都離不開電子特氣，而且所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高，所以電子氣體又有半導(dǎo)體材料的“糧食”之稱。在多個國際貿(mào)易糾紛及產(chǎn)業(yè)逆全球化的大背景下，中國電子氣體國產(chǎn)化將是重要一環(huán)。

    黎明化工黎明院開發(fā)的高純度含氟電子氣體四氟化碳和六氟化硫產(chǎn)品，能夠滿足極大規(guī)模集成電路行業(yè)所需的高純度氣體需求，也標志著極大規(guī)模集成電路行業(yè)用高純度四氟化碳和六氟化硫電子氣體實現(xiàn)了國產(chǎn)化。目前，高純度四氟化碳和六氟化硫已被批量使用，實現(xiàn)了部分進口替代。

    本土化率低 國產(chǎn)化市場空間大

    全球范圍來看，隨著全球半導(dǎo)體市場規(guī)模在2018年的高增長，全球集成電路用電子氣體的市場規(guī)模達到45．1億美元，市場規(guī)模較上年同比增加了15．9％，國內(nèi)范圍來看，2018年，我國電子氣體市場規(guī)模達到了121．6億元，較上年同比增加了11．2％，2013－2018年的增速達13．3％。隨著中國電子行業(yè)的迅猛發(fā)展，我國的電子氣體國產(chǎn)化生產(chǎn)和市場占有率也在不斷突破，但與國外仍有一定差距。半導(dǎo)體制程過程中用到的83種電子氣體，其中有35％已經(jīng)實現(xiàn)本土化，還有35％正在本土化，30％還未進行本土化。

    其中，全球電子氣體市場中含氟系列電子氣體約占其總量的30％左右，我國能夠自主且規(guī)?；a(chǎn)CF4、CHF3、CH2F2、CH3F、C2F6、SF6、NF3、BF3、COF2等含氟電子氣體，但是國產(chǎn)含氟電子氣體難以得到下游應(yīng)用企業(yè)的認可。

    國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)所用的含氟電子氣體90％以上是由外國獨資或合資企業(yè)提供，美國空氣化工、法國液空集團、德國林德等氣體行業(yè)的巨頭在國內(nèi)都建立了多家合資公司，開發(fā)新型、安全、環(huán)保的含氟電子氣體已成為近年來國內(nèi)外研究和產(chǎn)業(yè)化熱點。

    含氟電子氣體前景廣闊 大勢所趨

    隨著人們對電子產(chǎn)品的需求迅速增加，電子行業(yè)獲得了空前的發(fā)展，高純、超高純的含氟電子氣體的市場需求量也急劇增長。無疑作為原材料的特種氣體存在很大的發(fā)展空間。

    由于特種電子氣體行業(yè)投資大，尤其是含氟電子氣體生產(chǎn)商須具有雄厚的資金實力和研發(fā)能力。因此，我國含氟電子氣體發(fā)展水平與世界先進水平存在一定的差距，主要的原因是國內(nèi)含氟電子氣體品種不齊全，研究和生產(chǎn)的相關(guān)技術(shù)和配套還不夠完善。

    隨著《中國制造 2025》的提出，集成電路被放在發(fā)展新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的首位，在超凈、高純原材料的發(fā)展布局上，強化整條產(chǎn)業(yè)鏈的深度融合，擺脫核心環(huán)節(jié)受控于人的局面，是確保集成電路產(chǎn)業(yè)未來自主可控發(fā)展的重要前提。因此，作為集成電路產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵材料的含氟電子氣體發(fā)展前景廣闊，國產(chǎn)化也是大勢所趨。