11月7日消息,據(jù)外媒報道,荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商阿斯麥爾(ASML)將暫時停止向芯片制造商中芯國際供應(yīng)EUV極紫外線微影設(shè)備。
有消息人士透露稱:“ASML是為了避免因供應(yīng)最先端設(shè)備給中國、因而刺激到美國,因此決定暫時中止交貨”。消息人士還補充表示:“但與此同時,ASML不想讓中國客戶感到不安,因為那里是其增長最快的市場。”
所謂的EUV極紫外線微影設(shè)備,是使用通稱極紫外線之極短波(13.5nm)光線的微影技術(shù),能加工至既有ArF 準分子雷射光微影技術(shù)不易達到之20nm 以下的精密尺寸。不但能降低晶圓制造時光罩使用數(shù)量,以降低生產(chǎn)成本,并提高生產(chǎn)良率,也因能加工過去ArF 準分子雷射光微影技術(shù)不易達到的20nm 以下之精密尺寸,更有助半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)摩爾定律(Moore's law)再往下延伸,讓半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展持續(xù)精進。
目前,ASML是EUV極紫外線微影設(shè)備的獨家制造商,ASML營收占比中,有超過一半來自中韓兩國,中芯國際更是其在華主要客戶。去年4月份,中芯國際向ASML訂購的EUV光刻機原定于2019年底交付,到2020年中期完成安裝,如今遇上停止斷供一事,無疑是兩敗俱傷的行為。
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