繼去年8月,臺積電三大生產(chǎn)基地因病毒入侵而導(dǎo)致停擺事故之后,1月28日下午臺積電南科Fab14廠又被爆出一起安全事故,導(dǎo)致晶圓被不合格化學(xué)原料污染,預(yù)估損失上萬片晶圓。隨后,臺積電發(fā)言人孫又文證實了這一消息。
當(dāng)晚22點,臺積電又發(fā)布信息指出,發(fā)現(xiàn)一批化學(xué)原料有些規(guī)格誤差的問題,會對良品率產(chǎn)生影響,主因仍在調(diào)查,正在與客戶溝通細(xì)節(jié)及處理措施。經(jīng)過初步估計,此次問題不影響第1季財測。
1月30日,臺積電針對媒體近日對臺積電Fab14晶圓受到污染一事之揣測報導(dǎo),正式發(fā)布聲明稱,事故原因是出在了光刻膠上,而損失的晶圓大部分將在今年一季度補(bǔ)回。
正式聲明如下:
在2019年1月19日我們發(fā)現(xiàn)F14B的12/16納米的良率出現(xiàn)問題,經(jīng)追查后了解問題出在一批光刻膠上。此批光刻膠是來自一個與臺積電有多年供貨經(jīng)驗優(yōu)良的廠商,但這批光刻膠與過去其供應(yīng)的光刻膠規(guī)格有相當(dāng)?shù)恼`差。我們立即停用此批不符規(guī)格的光刻膠并馬上通知所有受到影響的客戶。
在過去十天中我們已與所有受影響的客戶密切溝通包含相關(guān)補(bǔ)貨和交期的細(xì)節(jié),以我們目前在12/16納米的產(chǎn)能利用率觀察,臺積電預(yù)計受影響的晶圓大部分能在2019年第一季補(bǔ)回,若有2019年第一季無法補(bǔ)回的也應(yīng)能在2019年第二季補(bǔ)回,臺積電重申此單一事件當(dāng)不至于影響2019年第一季財測。