前些天，我國(guó)本土半導(dǎo)體設(shè)備傳來(lái)好消息，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司自主研制的5nm等離子體刻蝕機(jī)經(jīng)臺(tái)積電驗(yàn)證，性能優(yōu)良，將用于全球首條5nm制程生產(chǎn)線?？涛g機(jī)是芯片制造的關(guān)鍵裝備之一，中微突破關(guān)鍵核心技術(shù)，讓“中國(guó)制造”躋身刻蝕機(jī)國(guó)際第一梯隊(duì)。

近年來(lái)，我國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)一直在努力追趕國(guó)際先進(jìn)腳步。在多種設(shè)備領(lǐng)域有一定突破，除了上述中微半導(dǎo)體的5nm等離子體刻蝕機(jī)之外，有越來(lái)越多的產(chǎn)品可應(yīng)用于14nm、7nm制程。

但是，國(guó)內(nèi)設(shè)備與國(guó)外先進(jìn)設(shè)備相比仍有較大差距，主要表現(xiàn)在兩方面：一是有一定競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品在領(lǐng)先制程上的差距；二是部分產(chǎn)品完全沒有競(jìng)爭(zhēng)能力或尚未布局，比如國(guó)內(nèi)光刻機(jī)落后許多代際，僅能達(dá)到90nm的光刻要求，國(guó)內(nèi)探針臺(tái)也處于研發(fā)階段，尚未實(shí)現(xiàn)銷售收入。

那么，在國(guó)家的扶持下，經(jīng)過(guò)這么多年的發(fā)展，我國(guó)本土半導(dǎo)體設(shè)備各個(gè)細(xì)分領(lǐng)域的發(fā)展情況如何呢？相關(guān)企業(yè)都有哪些？發(fā)展到了什么程度呢？下面就來(lái)梳理一下。

北方華創(chuàng)

北方華創(chuàng)由七星電子和北方微電子戰(zhàn)略重組而成。七星甴子主營(yíng)清洗機(jī)、氧化爐、 氣體質(zhì)量控制器(MFC)等半導(dǎo)體裝備及精密甴子元器件等業(yè)務(wù)，此外七星甴子還是國(guó)內(nèi)真空設(shè)備、 新能源鋰甴裝備重要供應(yīng)商。北方微甴子主營(yíng)刻蝕設(shè)備(Etch)、物理氣相沉積設(shè)備(PVD)、化學(xué)氣相沉積設(shè)備(CVD)三類設(shè)備。

2010 年 3 月，七星甴子在深交所上市。 2016 年 8 月，七星甴子與北方微甴子實(shí)現(xiàn)戰(zhàn)略重組，成為中國(guó)規(guī)模最大、產(chǎn)品體系最豐富、涉及領(lǐng)域最廣的高端半導(dǎo)體工藝設(shè)備供應(yīng)商，幵成功引迚國(guó)家集成甴路產(chǎn)業(yè)基金(大基金)等戰(zhàn)略投資者，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)與資本的融合。 公司實(shí)際控制人是北京甴控，隸屬于國(guó)資委。

2017 年 2 月，七星甴子正式更名為北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股仹有限公司，完成了內(nèi)部整合，推出全新品牉“北方華創(chuàng)”，幵形成了半導(dǎo)體裝備、真空裝備、新能源鋰甴裝備和高精密甴子元器件四大業(yè)務(wù)板塊加集團(tuán)總部的“4+1”經(jīng)營(yíng)管理模式。

北方華創(chuàng)的半導(dǎo)體裝備亊業(yè)群主要包括刻蝕機(jī)、 PVD、 CVD、氧化爐、擴(kuò)散爐、清洗機(jī)及質(zhì)量流量控制器(MFC)等 7 大類半導(dǎo)體設(shè)備及零部件，面向集成甴路、先進(jìn)封裝等 8 個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域，涵蓋了半導(dǎo)體生產(chǎn)前段工藝制程中的除光刻機(jī)外的大部分兲鍵裝備。 客戶包括中芯國(guó)際、華力微甴子、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等國(guó)內(nèi)一線半導(dǎo)體制造企業(yè)，以及長(zhǎng)甴科技、 晶斱科技、華天科技等半導(dǎo)體封裝廠商。

重組之后，北方華創(chuàng)業(yè)績(jī)快速增長(zhǎng)。2017 年實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入 22.23 億元，同比增長(zhǎng)37.01%，歸母凈利潤(rùn) 1.26 億元，同比增長(zhǎng) 35.21%。 根據(jù)公司 2018 年半年報(bào)業(yè)績(jī)快報(bào)，2018 年上半年公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入13.95 億元，同比增長(zhǎng) 33.44%， 歸母凈利潤(rùn) 1.19 億元，同比增長(zhǎng) 125.44%。 隨著下游晶圓廠投資加速， 公司半導(dǎo)體設(shè)備等觃模持續(xù)擴(kuò)張。

長(zhǎng)川科技

長(zhǎng)川科技是國(guó)內(nèi)集成電路封裝測(cè)試、晶圓制造及芯片設(shè)計(jì)環(huán)節(jié)測(cè)試設(shè)備主要供應(yīng)商。 半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備主要包括分選機(jī)、 測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)三大類。自2008年4月成立以來(lái)，該公司率先實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備（分選機(jī)和測(cè)試機(jī)） 的國(guó)產(chǎn)化， 并獲得國(guó)內(nèi)外眾多一流集成電路企業(yè)的使用和認(rèn)可。

該公司于 2012 年 2 月承擔(dān)并完成國(guó)家“十二五”規(guī)劃重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”中的高端封裝設(shè)備與材料應(yīng)用工程項(xiàng)目，并于 2015 年 3 月獲得國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)基金投資。

該公司的測(cè)試機(jī)和分選機(jī)在核心性能指標(biāo)上已達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、接近國(guó)外先進(jìn)水平，同時(shí)售價(jià)低于國(guó)外同類型號(hào)產(chǎn)品，具備較高的性價(jià)比優(yōu)勢(shì)。 公司產(chǎn)品已進(jìn)入國(guó)內(nèi)主流封測(cè)企業(yè)， 如天水華天、 長(zhǎng)電科技、 杭州士蘭微、 通富微電等。 2017 年，該公司對(duì)外積極開拓市場(chǎng)， 設(shè)立臺(tái)灣辦事處，拓展臺(tái)灣市場(chǎng)。

2013~2017年，長(zhǎng)川科技營(yíng)收實(shí)現(xiàn)了由 4,341 萬(wàn)元到 1.80 億元的跨越，復(fù)合增速達(dá)39.75%。 2017 年，歸屬母公司凈利潤(rùn)由992萬(wàn)元增長(zhǎng)至 5,025 萬(wàn)元， 復(fù)合增速達(dá)31.48%。

中微半導(dǎo)體

中微半導(dǎo)體成立于 2004 年，是一家微加工高端設(shè)備公司， 經(jīng)營(yíng)范圍包括研發(fā)薄膜制造設(shè)備和等離子體刻蝕設(shè)備、大面積顯示屏設(shè)備等。該公司管理層技術(shù)底蘊(yùn)深厚，大多有任職于應(yīng)用材料、LAM和英特爾等全球半導(dǎo)體一流企業(yè)的經(jīng)驗(yàn)。

中微半導(dǎo)體先后承擔(dān)并圓滿完成 65-45 納米、 32-22 納米、22-14 納米等三項(xiàng)等離子介質(zhì)刻蝕設(shè)備產(chǎn)品研制和產(chǎn)業(yè)化。 公司自主研發(fā)的等離子體刻蝕設(shè)備 Primo D-RIE 可用于加工 64/45/28 納米氧化硅、氮化硅等電介質(zhì)材料，介質(zhì)刻蝕設(shè)備 Primo AD-RIE 可用于 22nm 及以下芯片加工，均已進(jìn)入國(guó)內(nèi)先進(jìn)產(chǎn)線。中微半導(dǎo)體的介質(zhì)刻蝕機(jī)已經(jīng)完成了5nm 的生產(chǎn)。

晶盛機(jī)電

晶盛機(jī)電是一家專業(yè)從事半導(dǎo)體、光伏設(shè)備研發(fā)及制造的高新技術(shù)企業(yè)，是國(guó)內(nèi)技術(shù)領(lǐng)先的晶體硅生長(zhǎng)設(shè)備供應(yīng)商。該公司專注于擁有自主品牌的晶體硅生長(zhǎng)設(shè)備及其控制系統(tǒng)的研發(fā)、制造和銷售，先后開發(fā)出擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的直拉式全自動(dòng)晶體生長(zhǎng)爐、鑄錠多晶爐產(chǎn)品。

該公司立足于“提高光電轉(zhuǎn)化效率、降低發(fā)電成本”的光伏技術(shù)路線，實(shí)現(xiàn)了硅晶體生長(zhǎng)“全自動(dòng)、高性能、高效率、低能耗”國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、國(guó)際先進(jìn)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。全自動(dòng)單晶爐系列產(chǎn)品和 JSH800 型氣致冷多晶爐產(chǎn)品分別被四部委評(píng)為國(guó)家重點(diǎn)新產(chǎn)品。同時(shí)公司積極向光伏產(chǎn)業(yè)鏈裝備進(jìn)行延伸，2015 年成功開發(fā)并銷售了新一代單晶棒切磨復(fù)合一體機(jī)、單晶硅棒截?cái)鄼C(jī)、多晶硅塊研磨一體機(jī)、多晶硅塊截?cái)鄼C(jī)等多種智能化裝備，并布局高效光伏電池裝備和組件裝備的研發(fā)。

該公司的晶體生長(zhǎng)設(shè)備特別是單晶硅生長(zhǎng)爐銷售形勢(shì)較好，主要是單晶光伏的技術(shù)路線獲得認(rèn)可，隨著下游廠商的擴(kuò)產(chǎn)，單晶的滲透率也逐步提升，帶來(lái)對(duì)單晶硅生長(zhǎng)爐的需求增加，該類產(chǎn)品收入已經(jīng)占營(yíng)業(yè)收入的 81%。

該公司主營(yíng)業(yè)務(wù)伴隨國(guó)內(nèi)光伏產(chǎn)業(yè)的上升發(fā)展，給主營(yíng)業(yè)務(wù)收入和利潤(rùn)帶來(lái)顯著增長(zhǎng)，近兩年的增長(zhǎng)率均在 80%以上，另外，其毛利率水平和凈利率水平也基本維持穩(wěn)定。

上海微電子

上海微電子裝備有限公司成立于2002年，主要致力于大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)的投影光刻機(jī)研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務(wù)，該公司產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于IC制造與先進(jìn)封裝、MEMS、TSV/3D、TFT-OLED等制造領(lǐng)域。

該公司主要產(chǎn)品包括：

600掃描光刻機(jī)系列—前道IC制造

基于先進(jìn)的掃描光刻機(jī)平臺(tái)技術(shù)，提供覆蓋前道IC制造90nm節(jié)點(diǎn)以上大規(guī)模生產(chǎn)所需，包含90nm、130nm和280nm等不同分辨率節(jié)點(diǎn)要求的ArF、KrF及i-line步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)。該系列光刻機(jī)可兼容200mm和300mm硅片。

500步進(jìn)光刻機(jī)系列—后道IC、MEMS制造

基于先進(jìn)的步進(jìn)光刻機(jī)平臺(tái)技術(shù)，提供覆蓋后道IC封裝、MEMS/NEMS制造的步進(jìn)投影光刻機(jī)。該系列光刻機(jī)采用高功率汞燈的ghi線作為曝光光源，其先進(jìn)的逐場(chǎng)調(diào)焦調(diào)平技術(shù)對(duì)薄膠和厚膠工藝，以及TSV-3D結(jié)構(gòu)等具有良好的自動(dòng)適應(yīng)性，并通過(guò)采用具有專利的圖像智能識(shí)別技術(shù)，無(wú)需專門設(shè)計(jì)特殊對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。該系列設(shè)備具有高分辨率、高套刻精度和高生產(chǎn)率等一系列優(yōu)點(diǎn)，可滿足用戶對(duì)設(shè)備高性能、高可靠性、低使用成本(COO)的生產(chǎn)需求。

200光刻機(jī)系列—AM-OLED顯示屏制造

200系列投影光刻機(jī)綜合采用先進(jìn)的步進(jìn)光刻機(jī)平臺(tái)技術(shù)和掃描光刻機(jī)平臺(tái)技術(shù)，專用于新一代AM-OLED顯示屏的TFT電路制造。該系列光刻機(jī)不僅可用于基板尺寸為200mm × 200mm的工藝研發(fā)線，也可用于基板尺寸為G2.5(370mm × 470mm)和G4.5(730mm × 920mm)的AM-OLED顯示屏量產(chǎn)線。

硅片邊緣曝光機(jī)系列——芯片級(jí)封裝工藝應(yīng)用

SMEE開發(fā)的硅片邊緣曝光機(jī)提供了滿足芯片級(jí)封裝工藝中對(duì)硅片邊緣進(jìn)行去膠處理的能力，設(shè)備可按照客戶要求配置邊緣曝光寬度、硅片物料接口形式、曝光工位等不同形式。設(shè)備同時(shí)兼容150mm、200mm和300mm等三種不同規(guī)格的硅片，邊緣曝光精度可到達(dá)0.1mm。設(shè)備配置了高功率光源，具有較高的硅片面照度，提高了設(shè)備產(chǎn)率。

至純科技

至純科技成立于 2000 年， 主要為電子、生物醫(yī)藥及食品飲料等行業(yè)的先進(jìn)制造業(yè)企業(yè)提供高純工藝系統(tǒng)的整體解決方案， 產(chǎn)品為高純工藝設(shè)備和以設(shè)備組成的高純工藝系統(tǒng)，覆蓋設(shè)計(jì)、加工制造、安裝以及配套工程、檢測(cè)、廠務(wù)托管、標(biāo)定和維護(hù)保養(yǎng)等增值服務(wù)。

該公司在 2016年前產(chǎn)品約一半收入來(lái)自醫(yī)藥類行業(yè)，光伏、 LED 行業(yè)及半導(dǎo)體行業(yè)收入占比較小。 2016年以來(lái)，公司抓住半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展機(jī)遇，逐步擴(kuò)大其產(chǎn)品在半導(dǎo)體領(lǐng)域的銷售占比， 2016和 2017 年來(lái)自半導(dǎo)體領(lǐng)域收入占公司營(yíng)業(yè)收入比重分別為 50%和 57%，占據(jù)公司營(yíng)業(yè)收入半壁江山。主攻半導(dǎo)體清洗設(shè)備。

該公司于 2015 年開始啟動(dòng)濕法工藝裝備研發(fā)， 2016 年成立院士工作站， 2017 年成立獨(dú)立的半導(dǎo)體濕法事業(yè)部至微半導(dǎo)體，目前已經(jīng)形成了 UltronB200 和 Ultron B300 的槽式濕法清洗設(shè)備和 Ultron S200 和 Ultron S300 的單片式濕法清洗設(shè)備產(chǎn)品系列， 并取得 6 臺(tái)的批量訂單。

精測(cè)電子 

武漢精測(cè)電子技術(shù)股份有限公司創(chuàng)立于 2006 年 4 月，并于 2016 年 11 月在創(chuàng)業(yè)板上市。公司主要從事平板顯示檢測(cè)系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售，在國(guó)內(nèi)平板顯示測(cè)試領(lǐng)域處于絕對(duì)領(lǐng)先地位， 主營(yíng)產(chǎn)品包括：模組檢測(cè)系統(tǒng)、面板檢測(cè)系統(tǒng)、OLED 檢測(cè)系統(tǒng)、AOI光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)和平板顯示自動(dòng)化設(shè)備。近幾年來(lái)，該公司積極對(duì)外投資，設(shè)立多家子公司，業(yè)務(wù)規(guī)模迅速擴(kuò)張，進(jìn)一步完善了產(chǎn)業(yè)布局。

該公司成立初期主要專注于基于電訊技術(shù)的信號(hào)檢測(cè)，是國(guó)內(nèi)較早開發(fā)出適用于液晶模組生產(chǎn)線的 3D 檢測(cè)、基于 DP 接口的液晶模組生產(chǎn)線的檢測(cè)和液晶模組生產(chǎn)線的 Wi-Fi 全無(wú)線檢測(cè)產(chǎn)品的企業(yè)，目前該公司的 Module 制程檢測(cè)系統(tǒng)的產(chǎn)品技術(shù)已處于行業(yè)領(lǐng)先水平。

2014 年，精測(cè)電子積極研發(fā) AOI 光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)和平板顯示自動(dòng)化設(shè)備，引進(jìn)了宏瀨光電和臺(tái)灣光達(dá)關(guān)于 AOI 光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)和平板顯示自動(dòng)化設(shè)備相關(guān)的專利等知識(shí)產(chǎn)權(quán)，使其在 Array制程和 Cell 制程的檢測(cè)形成自有技術(shù)，初步形成了“光、機(jī)、電”技術(shù)一體化的優(yōu)勢(shì)。 

精測(cè)電子2018年上半年財(cái)務(wù)報(bào)告顯示，該公司收入主要來(lái)自 AOI 光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)業(yè)務(wù)，占比 45.49%，毛利占比 41.94%；其次是模組檢測(cè)系統(tǒng)業(yè)務(wù)，收入占比 23.33%，毛利占比 27.68%； OLED 檢測(cè)系統(tǒng)和平面顯示自動(dòng)化設(shè)備收入占比分別為 14.29%和12.30%，毛利占比為 14.26%和 10.28%。

電子科技集團(tuán)45所

中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第45研究所創(chuàng)立于1958年，2010年9月，中央機(jī)構(gòu)編制委員會(huì)辦公室批準(zhǔn)45所第一名稱更改為“北京半導(dǎo)體專用設(shè)備研究所”，第二名稱仍保持“中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所”不變。

45所是國(guó)內(nèi)專門從事軍工電子元器件關(guān)鍵工藝設(shè)備技術(shù)、設(shè)備整機(jī)系統(tǒng)以及設(shè)備應(yīng)用工藝研究開發(fā)和生產(chǎn)制造的國(guó)家重點(diǎn)軍工科研生產(chǎn)單位。

45所以光學(xué)細(xì)微加工和精密機(jī)械與系統(tǒng)自動(dòng)化為專業(yè)方向，以機(jī)器視覺技術(shù)、運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)、精密運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)與物料傳輸系統(tǒng)技術(shù)、精密零部件設(shè)計(jì)優(yōu)化與高效制造技術(shù)、設(shè)備應(yīng)用工藝研究與物化技術(shù)、整機(jī)系統(tǒng)集成技術(shù)等六大共性關(guān)鍵技術(shù)為支撐，圍繞集成電路制造設(shè)備、半導(dǎo)體照明器件制造設(shè)備、光伏電池制造設(shè)備、光電組件制造和系統(tǒng)集成與服務(wù)等五個(gè)重點(diǎn)技術(shù)領(lǐng)域，開發(fā)出了電子材料加工設(shè)備、芯片制造設(shè)備、光/聲/電檢測(cè)設(shè)備、化學(xué)處理設(shè)備、先進(jìn)封裝設(shè)備、電子圖形印刷設(shè)備、晶體元器件和光伏電池等八大類工藝設(shè)備和產(chǎn)品，服務(wù)于集成電路、光電元器件與組件、半導(dǎo)體照明和太陽(yáng)能光伏電池四大行業(yè).

上海睿勵(lì)

睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司是于2005年創(chuàng)建的合資公司，致力于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的集成電路生產(chǎn)制造工藝裝備產(chǎn)業(yè)中的工藝檢測(cè)設(shè)備。主要生產(chǎn)用于65/28/14nm制程工藝控制的膜厚測(cè)量設(shè)備。

沈陽(yáng)芯源

沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備有限公司成立于2002年，由中科院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所引進(jìn)國(guó)外先進(jìn)技術(shù)投資創(chuàng)建。

芯源公司自主開發(fā)的單片勻膠機(jī)、顯影機(jī)、噴膠機(jī)、去膠機(jī)、清洗機(jī)、濕法刻蝕機(jī)等設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、先進(jìn)封裝、MEMS、LED等領(lǐng)域。

1.LED領(lǐng)域勻膠顯影機(jī)：應(yīng)用于LED芯片制造、PSS（圖形化襯底）、MEMS、HCPV（高聚光型太陽(yáng)能電池）、Waveguide（光波導(dǎo)）工藝的勻膠顯影等工藝制程。

2.高端封裝全自動(dòng)涂膠顯影機(jī):廣泛應(yīng)用于先進(jìn)封裝BGA、Flip-Chip、WSP、CSP制程的高黏度PR、PI、Epoxy的涂敷、顯影工藝制程。

3.高端封裝全自動(dòng)噴霧式涂膠機(jī): 廣泛應(yīng)用于TSV、MEMS、WLP等工藝制程。

4.單片濕法刻蝕機(jī)/去膠機(jī)/清洗機(jī):廣泛應(yīng)用于先進(jìn)封裝BGA、Flip-Chip、WSP、CSP制程的刻蝕、去膠、清洗工藝制程。

5.前道堆疊式全自動(dòng)涂膠顯影機(jī)：應(yīng)用于90nm光刻工藝、BARC涂覆、SOC、SOD、SOG等工藝制程。

盛美半導(dǎo)體

盛美半導(dǎo)體（ACM Research）是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體清洗設(shè)備主要供應(yīng)商，于1998年在美國(guó)硅谷成立，主要研發(fā)電拋光技術(shù)，2006 年成立上海子公司，專注于半導(dǎo)體清洗設(shè)備。2017年11月4日公司在美國(guó)納斯達(dá)克上市。2017年公司營(yíng)業(yè)收入3650萬(wàn)美元，同比增長(zhǎng)33.2%，其中90%以上的營(yíng)業(yè)收入來(lái)自于半導(dǎo)體清洗設(shè)備。2017 年研發(fā)投入占營(yíng)業(yè)收入比例為14.1%。

由于聲波清洗可能會(huì)造成晶片損傷，行業(yè)公司大多轉(zhuǎn)向研發(fā)其他技術(shù)，盛美半導(dǎo)體另辟蹊徑研發(fā)出空間交變相移兆聲波清洗（SAPS）和時(shí)序能激氣泡震蕩兆聲波清洗（TEBO）兩項(xiàng)專利技術(shù)，可以實(shí)現(xiàn)無(wú)傷清洗。公司的清洗設(shè)備目前已經(jīng)進(jìn)入 SK 海力士、長(zhǎng)江存儲(chǔ)和上海華力等先進(jìn)產(chǎn)線。

天津華海清科

天津華海清科機(jī)電科技有限公司成立于2013年，是天津市政府與清華大學(xué)踐行“京津冀一體化”國(guó)家戰(zhàn)略，為推動(dòng)我國(guó)化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）技術(shù)和設(shè)備產(chǎn)業(yè)化成立的高科技企業(yè)。

華海清科主要從事CMP設(shè)備和工藝及配套耗材的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務(wù)，核心團(tuán)隊(duì)成員來(lái)自清華大學(xué)摩擦學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室及業(yè)內(nèi)專業(yè)人才，產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于極大規(guī)模集成電路制造、封裝、微機(jī)電系統(tǒng)制造、晶圓平坦化、基片制造等領(lǐng)域。

中電科裝備

中電科電子裝備集團(tuán)有限公司成立于2013年，是在中國(guó)電子科技集團(tuán)公司2所、45所、48所基礎(chǔ)上組建成立的二級(jí)成員單位，屬中國(guó)電子科技集團(tuán)公司獨(dú)資公司，注冊(cè)資金21億元，

該公司是我國(guó)以集成電路制造裝備、新型平板顯示裝備、光伏新能源裝備以及太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)為主的科研生產(chǎn)骨干單位，具備集成電路局部成套和系統(tǒng)集成能力以及光伏太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)鏈整線交鑰匙能力。

多年來(lái)，利用自身雄厚的科研技術(shù)和人才優(yōu)勢(shì)，形成了以光刻機(jī)、平坦化裝備（CMP）、離子注入機(jī)、電化學(xué)沉積設(shè)備（ECD）等為代表的微電子工藝設(shè)備研究開發(fā)與生產(chǎn)制造體系，涵蓋材料加工、芯片制造、先進(jìn)封裝和測(cè)試檢測(cè)等多個(gè)領(lǐng)域；通過(guò)了ISO9001、GJB9001A、UL、CE、TüV、NRE等質(zhì)量管理體系與國(guó)際認(rèn)證。

沈陽(yáng)拓荊

沈陽(yáng)拓荊科技有限公司成立于2010年4月，是由海外專家團(tuán)隊(duì)和中科院所屬企業(yè)共同發(fā)起成立的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)。拓荊公司致力于研究和生產(chǎn)薄膜設(shè)備，兩次承擔(dān)國(guó)家科技重大專項(xiàng)。2016年、2017年連續(xù)兩年獲評(píng)“中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備五強(qiáng)企業(yè)”。 

該公司擁有12英寸PECVD（等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備）、ALD（原子層薄膜沉積設(shè)備）、3D NAND PECVD（三維結(jié)構(gòu)閃存專用PECVD設(shè)備）三個(gè)完整系列產(chǎn)品，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路前道和后道、TSV封裝、光波導(dǎo)、LED、3D-NAND閃存、OLED顯示等高端技術(shù)領(lǐng)域。 

華海清科

天津華海清科機(jī)電科技有限公司成立于2013年，是天津市政府與清華大學(xué)踐行“京津冀一體化”國(guó)家戰(zhàn)略，為推動(dòng)我國(guó)化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）技術(shù)和設(shè)備產(chǎn)業(yè)化成立的高科技企業(yè)。

華海清科主要從事CMP設(shè)備和工藝及配套耗材的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務(wù)，核心團(tuán)隊(duì)成員來(lái)自清華大學(xué)摩擦學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室及業(yè)內(nèi)專業(yè)人才，產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于極大規(guī)模集成電路制造、封裝、微機(jī)電系統(tǒng)制造、晶圓平坦化、基片制造等領(lǐng)域。

以上就是我國(guó)大陸地區(qū)的主要半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)。

隨著我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的需求量越來(lái)越大，而本土半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)面臨著供給與需求錯(cuò)配的情況。一方面，國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備需求隨著下游產(chǎn)線的擴(kuò)張而迅速增加，大陸的半導(dǎo)體設(shè)備需求占全球半導(dǎo)體設(shè)備需求的比重較高；但另一方面，本土的設(shè)備供給存在著水平較為落后，國(guó)產(chǎn)化率不高的情況。

針對(duì)這一情形，在國(guó)家的大力支持下，國(guó)內(nèi)設(shè)備企業(yè)需要積極布局，以在各細(xì)分設(shè)備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破。