日前，廣立微（Semitronix）順利完成了第一臺(tái)量產(chǎn)用WAT測(cè)試機(jī)Semitronix Tester T4000的出口和交付。目前測(cè)試機(jī)已在客戶端完成安裝調(diào)試和驗(yàn)收工作，設(shè)備性能穩(wěn)定、運(yùn)行可靠，技術(shù)指標(biāo)完全符合客戶的預(yù)期要求。
十年磨一劍，廣立微（Semitronix）自2010年就開始晶圓級(jí)電性測(cè)試機(jī)的研發(fā)。從最初的硬件架構(gòu)設(shè)計(jì)、工程機(jī)的研發(fā)、客戶端試用、設(shè)備升級(jí)到滿足WAT機(jī)臺(tái)的技術(shù)指標(biāo)經(jīng)歷了穩(wěn)步前進(jìn)的發(fā)展過程。期間，研發(fā)用測(cè)試機(jī)獲得海內(nèi)外多家知名半導(dǎo)體企業(yè)采購(gòu)使用，并得到了客戶的高度認(rèn)可，為我們最終進(jìn)入WAT設(shè)備市場(chǎng)奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
廣立微（Semitronix）首臺(tái)量產(chǎn)用WAT測(cè)試機(jī)的成功交付和驗(yàn)收標(biāo)志著公司測(cè)試機(jī)產(chǎn)品正式進(jìn)入WAT市場(chǎng)，是公司硬件設(shè)備產(chǎn)品發(fā)展過程中的重要里程碑。目前廣立微（Semitronix）測(cè)試機(jī)中心已經(jīng)能夠滿足批量設(shè)備的訂購(gòu)生產(chǎn)，同時(shí)公司還提供設(shè)備的定制服務(wù)。
產(chǎn)品介紹
隨著集成電路先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)的不斷推進(jìn)，晶圓級(jí)WAT的測(cè)試效率成為制約晶圓廠研發(fā)進(jìn)程和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵因素。廣立微（Semitronix）的第四代高速半導(dǎo)體電性測(cè)試機(jī)(Semitronix Tester IV)具有測(cè)試靈活、測(cè)試速度快、測(cè)試精度高等核心優(yōu)勢(shì)，能夠?yàn)榭蛻籼峁?zhǔn)確且高度自動(dòng)化的WAT與測(cè)試芯片測(cè)量解決方案，可以用于快速和精確地監(jiān)控工藝及可靠性。
在測(cè)試功能上，兼容行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的晶圓探針臺(tái)，能夠提供WAT測(cè)試中所需評(píng)估的所有測(cè)試項(xiàng)，支持標(biāo)準(zhǔn)與并行兩種測(cè)試模式；
T4000最多支持到48個(gè)測(cè)試通道（pads），T4100最多支持到128個(gè)測(cè)試通道；
最多可配置22個(gè)SMU通道，包括快速SMU和高精度SMU的優(yōu)化配置；
包括LCR Meter、Pulse Generator和FMU (Frequency Measurement Unit)等測(cè)試單元；
配備高性能的切換矩陣。通過切換矩陣，所有的測(cè)試單元能夠被所有測(cè)試通道共享，極大的
提高了硬件利用率，從而降低了測(cè)試成本；
在測(cè)試速度上，相對(duì)于普通測(cè)試機(jī)有4X到10X的提升；
在測(cè)試精確度上，小電流測(cè)試精確度達(dá)到pA級(jí)以下直至0.1pA，電容測(cè)試精確度達(dá)到0.1pF級(jí)以下；
提供完整和靈活的軟件環(huán)境：包括Algorithm Builder、Test Plan Builder和Framework，支持Fab的EAP系統(tǒng)從而實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)試；
在產(chǎn)品質(zhì)量上，遵循最嚴(yán)格的產(chǎn)品質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，其安全性標(biāo)準(zhǔn)已經(jīng)過權(quán)威第三方檢測(cè)獲得了歐盟CE認(rèn)證。
Id-Vg曲線
小電流可重復(fù)性（Ioff)
廣立微（Semitronix）高性能WAT測(cè)試機(jī)擁有完全自主的知識(shí)產(chǎn)權(quán)，其性能達(dá)到或超過業(yè)界常用的WAT測(cè)試機(jī)。T4000的研發(fā)完成并成功產(chǎn)業(yè)化完善了公司集成電路成品率提升和工藝監(jiān)控的產(chǎn)品生態(tài)鏈，增強(qiáng)了公司的技術(shù)實(shí)力和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。同時(shí)，該產(chǎn)品的推出為全球集成電路行業(yè)發(fā)展提供了有力的支持，也將為支持國(guó)內(nèi)高端集成電路產(chǎn)業(yè)鏈完善，進(jìn)而推動(dòng)國(guó)內(nèi)整個(gè)集成電路行業(yè)的發(fā)展和升級(jí)起到重要的作用。