日前，廣立微（Semitronix）順利完成了第一臺量產(chǎn)用WAT測試機Semitronix Tester T4000的出口和交付。目前測試機已在客戶端完成安裝調(diào)試和驗收工作，設備性能穩(wěn)定、運行可靠，技術指標完全符合客戶的預期要求。

十年磨一劍，廣立微（Semitronix）自2010年就開始晶圓級電性測試機的研發(fā)。從最初的硬件架構(gòu)設計、工程機的研發(fā)、客戶端試用、設備升級到滿足WAT機臺的技術指標經(jīng)歷了穩(wěn)步前進的發(fā)展過程。期間，研發(fā)用測試機獲得海內(nèi)外多家知名半導體企業(yè)采購使用，并得到了客戶的高度認可，為我們最終進入WAT設備市場奠定了堅實的基礎。

廣立微（Semitronix）首臺量產(chǎn)用WAT測試機的成功交付和驗收標志著公司測試機產(chǎn)品正式進入WAT市場，是公司硬件設備產(chǎn)品發(fā)展過程中的重要里程碑。目前廣立微（Semitronix）測試機中心已經(jīng)能夠滿足批量設備的訂購生產(chǎn)，同時公司還提供設備的定制服務。

產(chǎn)品介紹

隨著集成電路先進工藝節(jié)點的不斷推進，晶圓級WAT的測試效率成為制約晶圓廠研發(fā)進程和生產(chǎn)效率的關鍵因素。廣立微（Semitronix）的第四代高速半導體電性測試機(Semitronix Tester IV)具有測試靈活、測試速度快、測試精度高等核心優(yōu)勢，能夠為客戶提供準確且高度自動化的WAT與測試芯片測量解決方案，可以用于快速和精確地監(jiān)控工藝及可靠性。

在測試功能上，兼容行業(yè)標準的晶圓探針臺，能夠提供WAT測試中所需評估的所有測試項，支持標準與并行兩種測試模式；

T4000最多支持到48個測試通道（pads），T4100最多支持到128個測試通道；

最多可配置22個SMU通道，包括快速SMU和高精度SMU的優(yōu)化配置；

包括LCR Meter、Pulse Generator和FMU (Frequency Measurement Unit)等測試單元；

配備高性能的切換矩陣。通過切換矩陣，所有的測試單元能夠被所有測試通道共享，極大的

提高了硬件利用率，從而降低了測試成本；

在測試速度上，相對于普通測試機有4X到10X的提升；

在測試精確度上，小電流測試精確度達到pA級以下直至0.1pA，電容測試精確度達到0.1pF級以下；

提供完整和靈活的軟件環(huán)境：包括Algorithm Builder、Test Plan Builder和Framework，支持Fab的EAP系統(tǒng)從而實現(xiàn)全自動測試；

在產(chǎn)品質(zhì)量上，遵循最嚴格的產(chǎn)品質(zhì)量標準，其安全性標準已經(jīng)過權(quán)威第三方檢測獲得了歐盟CE認證。

  Id-Vg曲線   

小電流可重復性（Ioff)

廣立微（Semitronix）高性能WAT測試機擁有完全自主的知識產(chǎn)權(quán)，其性能達到或超過業(yè)界常用的WAT測試機。T4000的研發(fā)完成并成功產(chǎn)業(yè)化完善了公司集成電路成品率提升和工藝監(jiān)控的產(chǎn)品生態(tài)鏈，增強了公司的技術實力和市場競爭力。同時，該產(chǎn)品的推出為全球集成電路行業(yè)發(fā)展提供了有力的支持，也將為支持國內(nèi)高端集成電路產(chǎn)業(yè)鏈完善，進而推動國內(nèi)整個集成電路行業(yè)的發(fā)展和升級起到重要的作用。