近日，杭州廣立微電子有限公司（Semitronix）超高密度晶體管陣列（Dense Array）技術(shù)在全球知名半導體IDM公司得到驗證及應(yīng)用，并得到該客戶的高度認可，其項目負責人評價該解決方案為世界首創(chuàng)先進的技術(shù)，對先進FinFET工藝研發(fā)具有戰(zhàn)略性的意義。

近日，杭州廣立微電子有限公司（Semitronix）超高密度晶體管陣列（Dense Array）技術(shù)在全球知名半導體IDM公司得到驗證及應(yīng)用，并得到該客戶的高度認可，其項目負責人評價該解決方案為世界首創(chuàng)先進的技術(shù)，對先進FinFET工藝研發(fā)具有戰(zhàn)略性的意義。

據(jù)悉，廣立微通過自主開發(fā)的硬件和設(shè)計的優(yōu)化配合構(gòu)建出快速晶體管電性測試系統(tǒng)，以滿足芯片級晶體管軟缺陷的檢驗需求，PAD無需特別定制，采用25pin探針。

Dense Array Test Chip Layout

作為全球首創(chuàng)超高密度測試芯片設(shè)計與芯片快速測試技術(shù)，Dense Array特別適用于半導體尖端工藝節(jié)點（如16/14/10/7納米 FinFET）的研發(fā)與生產(chǎn)。

廣立微研發(fā)團隊經(jīng)過近兩年的艱辛努力，Dense Array技術(shù)經(jīng)歷了縝密的研究及反復驗證，不僅可以在單個測試芯片中容納百萬級待測器件，而且可以每秒內(nèi)測試數(shù)萬個待測器件，能夠為半導體先進工藝的研發(fā)與生產(chǎn)提供整套的高效晶圓級芯片測試和成品率提升解決方案。

 Schematic of Dense Array Test Chip and Test System

眾所周知，半導體集成電路工藝尺寸的縮小和摩爾定律的繼續(xù)向前延伸，使芯片集成度在60年的時間內(nèi)已經(jīng)增加了一千萬倍，但是芯片的性能、功耗與成本作為其核心競爭力需要不斷推陳出新的先進技術(shù)支撐而保持，因此先進工藝中的硅設(shè)計（Silicon Success）面臨著成本與周期的巨大挑戰(zhàn)。

在面積利用率層面，需要不占用或者盡量少占用產(chǎn)品芯片面積，同時能夠在如此苛刻的面積下容納更多的晶體管；在半導體先進工藝制程的推動下，即使?jié)M足了上述超高芯片面積利用率的要求，隨之而來的測試問題卻成為制約晶圓代工廠研發(fā)進程和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵因素。因此，如何解決超高密度芯片的快速測試問題也已經(jīng)成為業(yè)界迫切需要解決的難題？

 Test Data (dark spots are outliers)

Dense Array技術(shù)的成功研發(fā)，不僅在技術(shù)上解決了制約半導體先進工藝開發(fā)的面積和測試速度問題，同時也真正實現(xiàn)了測試速度與精度兼得、效率與質(zhì)量共存。Dense Array技術(shù)能夠提供系統(tǒng)化的解決方案，滿足先進工藝研發(fā)與生產(chǎn)企業(yè)的需求，縮短工藝線成熟周期、節(jié)約制造成本，使產(chǎn)品順利上市搶占市場、提高產(chǎn)品競爭優(yōu)勢。

I-V Curve Comparison

對于廣立微而言，Dense Array技術(shù)實現(xiàn)廣立微在芯片良品率與性能提升方向上的重大突破，是廣立微的技術(shù)與解決方案的一次質(zhì)的飛躍，為廣立微打造了更完善的軟硬件生態(tài)系統(tǒng)，助力半導體工藝的研發(fā)與管控。

技術(shù)指標：

廣立微的Dense Array技術(shù)針對半導體先進工藝對面積利用率以及快速測試的行業(yè)痛點研發(fā)出了世界首創(chuàng)的解決方案。該技術(shù)不僅包含超高密度的測試芯片設(shè)計技術(shù)，而且對高密度產(chǎn)品芯片和測試芯片的快速測試提出了優(yōu)異的測試方法與系統(tǒng)。

其具體技術(shù)指標如下：

測試芯片中待測器件（DUT）數(shù)量超百萬，并能夠?qū)Π偃f級DUT進行快速測試；

DUT平均密度為10～25um2，10mm2的測試芯片中可容納106級的DUT數(shù)量；

支持標準單元庫、SRAM、Pcell類型的DUT；

百萬個DUT單點測試僅需30s，測試速度最快可達40000 DUT/s；

測試精度可達到10nA；

測試項包含Idsat、Vtsat、I-V curve數(shù)據(jù)；

支持連續(xù)測試與選擇測試兩種測試模式；

僅需兩層金屬即可測試；

能夠發(fā)現(xiàn)所有open/short 缺陷以及Idsat、Vtsat、Ioff異常點。

關(guān)于廣立微：

杭州廣立微電子有限公司（Semitronix）是一家專為半導體業(yè)界提供性能分析和良率提升方案的領(lǐng)先供應(yīng)商，其成品率解決方案已成功應(yīng)用于180nm~7nm工藝技術(shù)節(jié)點。Semitronix提供基于測試芯片的軟、硬件系統(tǒng)產(chǎn)品以及整體解決方案，一方面為晶圓代工廠的新工藝制程研發(fā)提供整合性的技術(shù)服務(wù)，包括從早期設(shè)計、中后期量產(chǎn)時的可尋址測試結(jié)構(gòu)，直到 yield ramp階段基于產(chǎn)品版圖的測試芯片；另一方面為設(shè)計公司提供定制化的測試芯片工具和服務(wù)，幫助提高IC設(shè)計的可制造性、性能、成品率并縮短產(chǎn)品上市時間。