在過(guò)去的十多年時(shí)間里，MEMS從默默無(wú)聞變成了推動(dòng)整個(gè)消費(fèi)類(lèi)市場(chǎng)的重要推手，特別是在智能手機(jī)等便攜式產(chǎn)品中得到了爆發(fā)式發(fā)展。但是一個(gè)市場(chǎng)不可能持續(xù)地高速發(fā)展，在過(guò)去兩三年里，MEMS在消費(fèi)類(lèi)市場(chǎng)的增長(zhǎng)速度已經(jīng)放緩。反而是在物聯(lián)網(wǎng)、智能工業(yè)、智能農(nóng)業(yè)等領(lǐng)域，ST窺得了一線(xiàn)商機(jī)，視其為MEMS的下一個(gè)發(fā)展機(jī)會(huì)。
ST的MEMS產(chǎn)品可分為兩大類(lèi)，傳感器（Sensor）和致動(dòng)器（Actuator）。在原理上，傳感器和致動(dòng)器互為正反的關(guān)系，但是在真正的設(shè)計(jì)和工藝上，兩者存在很多的復(fù)用之處。ST作為一家IDM的半導(dǎo)體公司，擁有完整的研發(fā)生產(chǎn)體系，以及經(jīng)過(guò)市場(chǎng)檢驗(yàn)的大規(guī)模制造能力，因此成為業(yè)內(nèi)少數(shù)的同時(shí)提供MEMS傳感器和致動(dòng)器的企業(yè)。
ST大中華暨南亞區(qū)模擬和MEMS產(chǎn)品部市場(chǎng)總監(jiān)
歷經(jīng)20年的發(fā)展，ST的MEMS傳感器產(chǎn)品廣泛覆蓋了加速度計(jì)、陀螺儀、慣性測(cè)量模塊、磁強(qiáng)計(jì)、壓力傳感器、濕度傳感器、麥克風(fēng)、燃?xì)夂蛌oc檢漏器等，致動(dòng)器方面也推出了微射流致動(dòng)器、微鏡致動(dòng)器、壓力致動(dòng)器等。在ST公司大中華暨南亞區(qū)模擬和MEMS產(chǎn)品部市場(chǎng)總監(jiān)吳衛(wèi)東看來(lái)，目前正處于致動(dòng)器第二次爆發(fā)的前沿。ST發(fā)揮自身在晶圓制程和系統(tǒng)解決方案方面的能力，結(jié)合合作伙伴在傳統(tǒng)領(lǐng)域的特長(zhǎng)，共同帶給市場(chǎng)優(yōu)異的產(chǎn)品和整體的解決方案。例如，（1）ST與微光學(xué)驅(qū)動(dòng)自動(dòng)對(duì)焦鏡頭廠(chǎng)商PoLight合作開(kāi)發(fā)的壓電致動(dòng)器，可使鏡頭的對(duì)焦速度和功耗得到質(zhì)的提升。（2）ST為Chirp公司提供了MEMS掃描鏡技術(shù)，所實(shí)現(xiàn)的超聲波測(cè)距傳感器可以可靠地應(yīng)用于自動(dòng)駕駛和工業(yè)領(lǐng)域。（3）ST為MicroVision提供壓電式、靜電式和電磁式等各種掃描鏡，通過(guò)MicroVision的整體解決方案推向市場(chǎng)，在智能手機(jī)上實(shí)現(xiàn)微鏡投影。（4）ST和U-SOUND公司在一起合作的MEMS揚(yáng)聲器，該產(chǎn)品雛形已經(jīng)在今年的巴塞羅那MWC上現(xiàn)身。
而今，隨著消費(fèi)類(lèi)電子市場(chǎng)的逐漸降溫并趨于平穩(wěn)，ST將目光轉(zhuǎn)向汽車(chē)電子和工業(yè)市場(chǎng)，并推出了一系列的MEMS傳感器和致動(dòng)器產(chǎn)品，以滿(mǎn)足汽車(chē)和工業(yè)的應(yīng)用需求。
汽車(chē)領(lǐng)域：覆蓋安全性和非安全性應(yīng)用
ST有多款MEMS產(chǎn)品是專(zhuān)為汽車(chē)應(yīng)用而設(shè)計(jì)，涵蓋了慣性導(dǎo)航、車(chē)載設(shè)備麥克風(fēng)等非安全性應(yīng)用和安全氣囊、ADAS、自動(dòng)駕駛等安全性應(yīng)用。據(jù)HIS 2017年上半年市場(chǎng)報(bào)告證實(shí)，ST是第一大汽車(chē)非安全性應(yīng)用MEMS廠(chǎng)商，在2016年汽車(chē)非安全性應(yīng)用市場(chǎng)，ST占有60%的市場(chǎng)份額，相比2015年增長(zhǎng)了20%。
之所以能取得這樣的成就，與ST對(duì)高精度MEMS傳感器不遺余力的追求是分不開(kāi)的。在吳衛(wèi)東看來(lái)，正是高精度傳感器推動(dòng)了新應(yīng)用的發(fā)展。無(wú)論車(chē)用還是工業(yè)用傳感器，如何在提高測(cè)量精度的同時(shí)保持低功耗無(wú)疑是一個(gè)巨大的挑戰(zhàn)。在汽車(chē)應(yīng)用中，行人航位推算、自動(dòng)駕駛、虛擬增強(qiáng)實(shí)境、光學(xué)防抖、壓力監(jiān)測(cè)、濕溫檢測(cè)等都離不開(kāi)高精度傳感器。ST利用改進(jìn)的制程，以精確地幾何尺寸、蝕刻和封裝技術(shù)保證了傳感器具備適合量產(chǎn)的良率和精度；同時(shí)以測(cè)試及校準(zhǔn)技術(shù)實(shí)現(xiàn)了高精度傳感器的量產(chǎn)。
ST改進(jìn)制程和測(cè)試及校準(zhǔn)技術(shù)，以提高傳感器精度
智慧工業(yè)是真正推動(dòng)物聯(lián)網(wǎng)普及的應(yīng)用
智慧工業(yè)市場(chǎng)潛力巨大，且生命周期長(zhǎng)，因此吳衛(wèi)東稱(chēng)其為真正推動(dòng)物聯(lián)網(wǎng)普及的應(yīng)用。智慧工業(yè)對(duì)智力和感知力的要求都很高，其關(guān)鍵的技術(shù)有數(shù)據(jù)處理、運(yùn)動(dòng)傳感器、環(huán)境傳感器、智能節(jié)點(diǎn)。對(duì)此，ST有一款用于傾斜檢測(cè)的激光測(cè)距儀LIS2DH12TR、用于震動(dòng)檢測(cè)的電容式反饋式地震計(jì)LIS344ALHTR等。
ST的智慧工業(yè)運(yùn)動(dòng)傳感器
不同于消費(fèi)市場(chǎng)，工業(yè)市場(chǎng)一個(gè)很顯著的特點(diǎn)是產(chǎn)品的生命周期比較長(zhǎng)。對(duì)此，ST制定了長(zhǎng)期供貨計(jì)劃，向客戶(hù)承諾，工業(yè)和汽車(chē)類(lèi)產(chǎn)品，從產(chǎn)品上市日期起至少供應(yīng)10年。在此基礎(chǔ)上，再以高性能、高質(zhì)量和惡劣工業(yè)環(huán)境下的出色表現(xiàn)（更寬工作溫度范圍、更強(qiáng)的抗撞擊和抗震穩(wěn)健型）贏占市場(chǎng)。