2017年9月4日，北京——世界領(lǐng)先的真空儀器供應(yīng)商英?？?/a>（INFICON）公司重磅推出其新一代干式氦氣檢漏儀產(chǎn)品——UL3000 Fab(PLUS)?；陟`活性、可移動(dòng)性、靈敏性和可靠性的大幅提升，UL3000 Fab(PLUS)能夠快速啟動(dòng)并提供快速精確的檢測(cè)結(jié)果，是英?？滇槍?duì)半導(dǎo)體行業(yè)的新需求和新變化創(chuàng)新研發(fā)的最新一代的檢漏儀器。
滿足客戶需求，持續(xù)創(chuàng)新發(fā)展
半導(dǎo)體芯片是構(gòu)成消費(fèi)電子產(chǎn)品的重要部件，隨著現(xiàn)今電子產(chǎn)品不斷向輕薄化、智能化、高端化方向發(fā)展，半導(dǎo)體的生產(chǎn)也面臨著往更精小、更強(qiáng)大等需求進(jìn)行變革和升級(jí)。每個(gè)半導(dǎo)體芯片上含有數(shù)十億個(gè)極微小的電氣設(shè)備，需要通過(guò)許多重復(fù)的真空步驟制造。另外，精細(xì)的層次和電路圖案也需要通過(guò)小心控制的真空沉蝕和蝕刻過(guò)程進(jìn)行加工。這其中，能否確保優(yōu)質(zhì)的真空加工環(huán)境就成了半導(dǎo)體制造和生產(chǎn)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
“不斷創(chuàng)新優(yōu)化技術(shù)產(chǎn)品，持續(xù)滿足客戶需求，是英?？刀嗄臧l(fā)展始終秉持的核心理念。針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)在檢漏程序上的新變化和新需求，英福康創(chuàng)新研發(fā)了新一代的氦氣檢漏儀UL3000 Fab(PLUS)，以期用更高效的檢測(cè)步驟、更便捷的檢漏操作來(lái)增強(qiáng)用戶的滿意度?！庇⒏？抵袊?guó)負(fù)責(zé)人趙凡非先生介紹說(shuō)。
快速獲取結(jié)果，高效與智能兼?zhèn)?/p>
在制造技術(shù)層次不斷提高、復(fù)雜度持續(xù)增加的市場(chǎng)大趨勢(shì)下，半導(dǎo)體生產(chǎn)的成本也在不斷提高，要想繼續(xù)維持低成本、高良率、增強(qiáng)自身競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，保障半導(dǎo)體真空制造環(huán)境的潔凈度就變得非常重要。同時(shí)，配備一臺(tái)高效靈敏的檢漏儀器的必要性也得到了市場(chǎng)的進(jìn)一步認(rèn)可。新一代UL3000 Fab(PLUS) 氦氣檢漏儀能夠快速獲取檢測(cè)結(jié)果、提供極短響應(yīng)時(shí)間的優(yōu)勢(shì)就很好的符合了這一行業(yè)趨勢(shì)。創(chuàng)新低維護(hù)真空泵設(shè)計(jì)讓儀器在大氣壓力下即可進(jìn)行泄漏檢測(cè)，方便快捷；I-CAL（漏率的智能計(jì)算程序）確保了在全部測(cè)量范圍內(nèi)最快速的響應(yīng)時(shí)間；HYDRO-S軟件則能消除系統(tǒng)中的水汽對(duì)檢漏結(jié)果的影響，使泄漏檢測(cè)過(guò)程更加迅速。
此外，UL3000 Fab(PLUS)還是一臺(tái)智能型檢漏儀器，其無(wú)需任何特殊軟件或應(yīng)用程序，即可通過(guò)智能手機(jī)和平板電腦直接對(duì)儀器進(jìn)行無(wú)線控制的優(yōu)勢(shì)，對(duì)于復(fù)雜和要求嚴(yán)格的半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境尤為適用。
人性化的設(shè)計(jì)考量，最佳用戶體驗(yàn)
新一代的檢漏儀設(shè)備UL3000 Fab(PLUS)在用戶友好性上也下足了功夫。首先是靈活纖巧的外形，低重心、大底輪、纖薄細(xì)長(zhǎng)的小車(chē)型儀器設(shè)計(jì)，搭配上符合人體工程學(xué)的手柄，讓檢漏儀在更便于用戶操作的同時(shí)也能非常輕松地應(yīng)對(duì)多種復(fù)雜的現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境，即使是再狹小的空間也移動(dòng)自如。其次，新型觸摸屏顯示器也是UL3000 Fab(PLUS)的亮點(diǎn)之一，其不僅可遠(yuǎn)距離顯示測(cè)量結(jié)果和狀態(tài)信息，現(xiàn)代化的菜單結(jié)構(gòu)和可旋轉(zhuǎn)的設(shè)計(jì)也讓用戶對(duì)于檢測(cè)結(jié)果一目了然。此外，新儀器也充分考慮到了用戶實(shí)際應(yīng)用中的問(wèn)題，直觀的顯示屏操作指南加上用戶引導(dǎo)型菜單，就算是未經(jīng)培訓(xùn)的員工也能輕松操作、很快上手。
同時(shí)，小車(chē)型的儀器還搭載有多種檢測(cè)配件和設(shè)備，例如氦瓶支架、真空軟管、連接器配件等。一臺(tái)設(shè)備，多種功能，UL3000 Fab(PLUS)讓檢漏操作再無(wú)后顧之憂。
圖1：英?？敌乱淮鈾z漏儀UL3000 Fab(PLUS)