處在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游的設(shè)備行業(yè)具有技術(shù)難度大、進(jìn)入門檻高的特點(diǎn)，導(dǎo)致我國在該領(lǐng)域的發(fā)展速度不及在IC設(shè)計(jì)、封測等領(lǐng)域的速度。但也正是因?yàn)檫@樣，我國對半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的重視程度日益提高。
近日，北方華創(chuàng)集團(tuán)召開第六屆董事會(huì)第八次會(huì)議，會(huì)議通過了其全資子公司北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司收購美國Akrion Systems LLC公司的決議。同日，北方華創(chuàng)微電子總裁趙晉榮先生與Akrion公司總裁Michael Ioannou先生在北京正式簽署并購協(xié)議。
據(jù)悉，Akrion在半導(dǎo)體濕法清洗技術(shù)領(lǐng)域擁有多年的技術(shù)積累和客戶基礎(chǔ)，其產(chǎn)品主要用于集成電路芯片制造、硅晶圓材料制造、微機(jī)電系統(tǒng)、先進(jìn)封裝等領(lǐng)域。此次北方華創(chuàng)微電子若成功收購Akrion將拓展其在清洗機(jī)設(shè)備領(lǐng)域的產(chǎn)銷體系，豐富清洗機(jī)設(shè)備的產(chǎn)品線，增強(qiáng)實(shí)力。
近年來我國興建晶圓廠的熱潮必將提高市場對半導(dǎo)體設(shè)備的需求，但半導(dǎo)體設(shè)備這個(gè)被巨頭壟斷的市場卻并不是那么容易攻占的，最明顯的表現(xiàn)就是全球半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)前十強(qiáng)的榜單中，美國企業(yè)有4家、日本企業(yè)有5家、荷蘭企業(yè)有1家，而中國企業(yè)未能上榜。
因此我國也正在推動(dòng)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，并涌現(xiàn)出一批有潛力的企業(yè)來，如年初時(shí)中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)公布的2016年中國半導(dǎo)體設(shè)備五強(qiáng)企業(yè)就是其中代表。
中電科電子裝備集團(tuán)有限公司是在中國電子科技集團(tuán)公司2所、45所、48所基礎(chǔ)上組建成立的二級成員單位，屬中國電子科技集團(tuán)公司獨(dú)資公司，具備集成電路局部成套和系統(tǒng)集成能力以及光伏太陽能產(chǎn)業(yè)鏈整線交鑰匙能力。已形成以光刻機(jī)、平坦化裝備、離子注入機(jī)、電化學(xué)沉積設(shè)備等為代表的微電子工藝設(shè)備研究開發(fā)與生產(chǎn)制造體系，可服務(wù)于材料加工、芯片制造、先進(jìn)封裝和測試檢測等多個(gè)領(lǐng)域。
北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司是北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司的全資子公司，主營業(yè)務(wù)由原七星電子的半導(dǎo)體裝備相關(guān)業(yè)務(wù)與原北方微電子的全部業(yè)務(wù)整合而成。產(chǎn)品涵蓋：等離子刻蝕、物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積、氧化/擴(kuò)散、清洗、退火等半導(dǎo)體工藝裝備；平板顯示制造裝備和氣體質(zhì)量流量控制器等核心零部件。涉及集成電路、先進(jìn)封裝、LED、MEMS、電力電子、平板顯示、光伏電池等半導(dǎo)體相關(guān)領(lǐng)域。
中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司是一家從事集成電路裝備制造的高科技企業(yè)。公司經(jīng)營范圍包括研發(fā)薄膜制造設(shè)備和等離子體刻蝕設(shè)備、大面積顯示屏設(shè)備等，是國產(chǎn)等離子體刻蝕機(jī)和金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的主要供應(yīng)商。
上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司是一家掌握了高端光刻機(jī)相關(guān)技術(shù)且具有高端投影光刻機(jī)生產(chǎn)能力的企業(yè)。于今年3月份，與全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)ASML簽署了戰(zhàn)略合作備忘錄。公司主要從事半導(dǎo)體裝備、泛半導(dǎo)體裝備、高端智能裝備的開發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷售及技術(shù)服務(wù)。旗下產(chǎn)品可應(yīng)用于集成電路前道、先進(jìn)封裝、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造領(lǐng)域。
沈陽拓荊科技有限公司主要從事研究、生產(chǎn)世界領(lǐng)先的極大規(guī)模集成電路行業(yè)專用薄膜設(shè)備，產(chǎn)品可應(yīng)用于集成電路、先進(jìn)封裝TSV、光波導(dǎo)、LED、OLED顯示等高端技術(shù)領(lǐng)域，矢志成為納米級薄膜制造技術(shù)解決方案的領(lǐng)導(dǎo)者。