中國半導體產(chǎn)業(yè)研發(fā)機構(gòu)上海集成電路研發(fā)中心21日宣布與國際光刻巨頭ASML簽訂合作備忘錄（MoU），將在上海合作共建一個半導體光刻人才培訓中心。這也將為未來中國半導體行業(yè)挺進先進工藝制程做進一步鋪路與技術(shù)人才培養(yǎng)與準備。

根據(jù)MoU雙方計劃將研發(fā)中心現(xiàn)有的潔凈室設(shè)施與教室作為培訓中心，而配套的光刻及測量設(shè)備則由ASML提供。阿斯麥還將派出經(jīng)驗豐富的光刻工程師參與授課。通過此次雙方合作，增強客戶的光刻專業(yè)工程師技能。

雙方培訓中心的選址于上海是基于以下幾個層面的考慮：一是上海是集成電路制造的群聚地；上海的運營成本也符合雙方的預期；另外，上海當?shù)睾献骰锇楸姸?，地方政府同時也提供了強有力的集成電路產(chǎn)業(yè)扶持政策與其他相關(guān)的政策支持。

上海集成電路研發(fā)中心董事長兼首席執(zhí)行官趙宇航則在簽署儀式上表示，未來培訓中心將擁有ASML多款光刻設(shè)備和檢測設(shè)備，也將逐步對國內(nèi)半導體行業(yè)企業(yè)內(nèi)的光刻工程師開放，這大大提高中國集成電路產(chǎn)業(yè)在高端和專業(yè)技術(shù)人才方面的培養(yǎng)力度。

集成電路產(chǎn)業(yè)將在中國迅速發(fā)展，對熟悉設(shè)備工藝、訓練有素的人才的需求也將變得越來越迫切。

ASML公司總裁暨首席執(zhí)行官Peter Wennink表示，雙方成立的培訓中心提供完善的軟、硬件環(huán)境，提升光刻技能與專業(yè)知識，這是中國半導體持續(xù)保持增長不可或缺的一個重要環(huán)節(jié)。

出席雙方MoU的簽約儀式人員包括：上海市經(jīng)濟信息工作黨委書記陸曉春、上海市集成電路行業(yè)協(xié)會會長、華虹集團董事長張素心、上海市經(jīng)濟和信息化委員會副主任傅新華、上海華力微電子有限公司總裁雷海波等重要人士。

2017年三月上海微電子裝備（集團）SMEE與ASML才簽署戰(zhàn)略合作備忘錄（MoU）。SMEE將探索就ASML光刻系統(tǒng)的特定模塊或半導體行業(yè)相關(guān)產(chǎn)品進行采購的可能性。