一、導(dǎo)語

2017年3月14日SEMICON CHINA2017在上海盛大開幕。在W3館中，有一個(gè)全新的品牌展臺(tái)，那里人流如織，這個(gè)全新的品牌就是NAURA（北方華創(chuàng)）。

同日晚上的GALA DINNER頒獎(jiǎng)晚宴上，再次讓全球半導(dǎo)體人記住北方華創(chuàng)這個(gè)全球新品牌，SEMI給北方華創(chuàng)頒發(fā)了“2017 SEMI企業(yè)成就獎(jiǎng)”，以表彰北方華創(chuàng)對(duì)中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作出的卓越貢獻(xiàn)。

在晚宴上，有人問我，北方華創(chuàng)沒聽說過呀？

不知道北方華創(chuàng)沒關(guān)系。你總該知道北方微電子吧！總該聽說過七星電子吧！

是的，北方華創(chuàng)就是由北方微電子和七星電子這兩家中國半導(dǎo)體裝備公司融合而成，是中國唯一高端集成電路裝備上市平臺(tái)，是中國規(guī)模最大、涉獵領(lǐng)域最廣、產(chǎn)品最全的半導(dǎo)體裝備制造商，為全球客戶提供高端半導(dǎo)體裝備。

以全新的形象在SEMICON China 2017亮相的北方華創(chuàng)，全方位展示包括刻蝕（Etch）、物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）、氧化/擴(kuò)散、清洗、氣體質(zhì)量流量計(jì)等高端半導(dǎo)體工藝裝備及核心零部件解決方案，讓觀眾感受到中華民族半導(dǎo)體裝備的科技之美。

二、新品牌，新形象，帶給產(chǎn)業(yè)無限可能

北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司總裁趙晉榮向筆者詮釋公司標(biāo)識(shí)的具體含義：“北方華創(chuàng)”，英文簡稱為“NAURA”，全新的名稱和企業(yè)標(biāo)識(shí)的推出，是集團(tuán)整合過程中的重大里程碑事件，標(biāo)志著合并后的新公司將繼續(xù)傳承北方微電子和七星電子悠久的品牌文化，也預(yù)示著未來新公司將迎來更廣闊的發(fā)展機(jī)遇。

趙晉榮總裁表示，融合后的北方華創(chuàng)秉承北方微電子和七星電子多年高科技研發(fā)實(shí)力，強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，實(shí)現(xiàn)資源整合和優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)，公司具有更強(qiáng)大的創(chuàng)新實(shí)力。以科技創(chuàng)新為基點(diǎn)，聚集了更大的爆發(fā)力，著眼未來，將持續(xù)加強(qiáng)公司造血能力，加速培育更多具核心競爭力的新技術(shù)和新產(chǎn)品，打造中國最大的半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)上市平臺(tái)。

我們也相信，北方華創(chuàng)將一如既往，以“創(chuàng)造精良，打造民族自尊”為己任，繼續(xù)發(fā)揚(yáng)“精良品質(zhì)·卓越服務(wù)·中國制造”的企業(yè)宗旨，以高端微電子工藝裝備領(lǐng)軍企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺(tái)，深耕發(fā)展，引領(lǐng)未來，助推產(chǎn)業(yè)技術(shù)進(jìn)步，帶給產(chǎn)業(yè)無限可能。

三、強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，以集成電路為核心，輻射泛半導(dǎo)體領(lǐng)域

整合后的北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司整合了原七星電子的半導(dǎo)體裝備相關(guān)業(yè)務(wù)和原北方微電子的全部業(yè)務(wù)，生產(chǎn)的產(chǎn)品以晶圓制造和先進(jìn)封裝領(lǐng)域?yàn)楹诵?，輻射泛半?dǎo)體領(lǐng)域，包括新能源光伏、半導(dǎo)體照明、微機(jī)電系統(tǒng)、功率器件、化合物半導(dǎo)體、平板顯示等領(lǐng)域。

寬敞明亮的生產(chǎn)車間（圖片由北方華創(chuàng)提供）

在集成電路領(lǐng)域，由公司自主研發(fā)的14納米等離子硅刻蝕機(jī)、單片退火系統(tǒng)、低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD）設(shè)備已成功進(jìn)入集成電路主流代工廠；28納米Hardmask PVD、Al-Pad PVD設(shè)備已率先進(jìn)入國際供應(yīng)鏈體系；12英寸清洗機(jī)累計(jì)流片量已突破60萬片大關(guān)；深硅刻蝕設(shè)備也于去年一舉告捷東南亞市場(chǎng)。

在先進(jìn)封裝領(lǐng)域，北方華創(chuàng)開發(fā)的硅通孔（TSV）刻蝕機(jī)和物理氣相沉積（PVD）設(shè)備已在全球前十大封裝企業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用；同時(shí)應(yīng)用于凸塊（Bumping）制程的清潔（Descum）設(shè)備受到市場(chǎng)的積極關(guān)注。

在功率器件領(lǐng)域，北方華創(chuàng)自主研發(fā)的薄膜/厚膜硅外延APCVD系統(tǒng)、刻蝕設(shè)備及金屬濺射PVD已獲得國內(nèi)多家功率器件客戶的認(rèn)可和批量采購；為多條功率器件生產(chǎn)線提供清洗解決方案；先進(jìn)的臥式擴(kuò)散/氧化系統(tǒng)可以滿足功率半導(dǎo)體領(lǐng)域特殊工藝的應(yīng)用。

在MEMS領(lǐng)域，北方華創(chuàng)的深硅刻蝕設(shè)備已實(shí)現(xiàn)批量銷售，獲得了用戶廣泛的認(rèn)可與好評(píng)；臥式LPCVD已成功應(yīng)用于半導(dǎo)體級(jí)碳納米管生長；并成功研發(fā)先進(jìn)氮化鋁薄膜沉積設(shè)備及工藝解決方案。

在化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域，北方華創(chuàng)定制開發(fā)了化合物半導(dǎo)體刻蝕機(jī)、PECVD系統(tǒng)、槽式清洗系統(tǒng)和臥式擴(kuò)散/氧化系統(tǒng)，為客戶提供全面的設(shè)備及工藝解決方案。

在LED領(lǐng)域，北方華創(chuàng)推出了ELEDE系列刻蝕機(jī)，自2010年面市以來就深受用戶歡迎，ELEDE 380G+刻蝕機(jī)和ELEDE 380E PSS刻蝕機(jī)成為LED領(lǐng)域標(biāo)桿產(chǎn)品；iTops A230 氮化鋁濺射系統(tǒng)的推出，是LED領(lǐng)域的一個(gè)里程碑的產(chǎn)品，成為全球最受用戶歡迎的創(chuàng)新產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)全球市場(chǎng)占有率第一。

在光伏制造領(lǐng)域，公司研發(fā)了國內(nèi)首臺(tái)應(yīng)用于高效光伏電池生產(chǎn)的負(fù)壓擴(kuò)散爐，打破了國際技術(shù)壟斷，獲得了市場(chǎng)認(rèn)可，目前已穩(wěn)穩(wěn)拔得市場(chǎng)頭籌；研發(fā)的晶硅電池線的大部分關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備如在線濕法刻蝕機(jī)、槽式單晶制絨機(jī)、臥式擴(kuò)散爐、PECVD等設(shè)備均已實(shí)現(xiàn)了進(jìn)口替代。

在平板顯示領(lǐng)域，北方華創(chuàng)微電子公司是國內(nèi)TFT-LCD生產(chǎn)線的骨干設(shè)備供應(yīng)商，多種產(chǎn)品在客戶G5至G10.5各個(gè)世代TFT-LCD生產(chǎn)線及OLED生產(chǎn)線上批量應(yīng)用；CELL段的ODF工藝紫外固化爐UV Cure以及Cutting工藝的Grind Cleaner等設(shè)備均在各世代生產(chǎn)線占據(jù)重要份額。

公司在氣體流量測(cè)量和控制方面亦擁有多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)優(yōu)勢(shì)，氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）產(chǎn)品行銷歐美，在國內(nèi)市場(chǎng)中始終占第一品牌的行業(yè)地位。

在為半導(dǎo)體領(lǐng)域客戶打造的產(chǎn)品藍(lán)圖中，新技術(shù)、新產(chǎn)品、新工藝代代更迭、生生不息。正如“北方華創(chuàng)”品牌的英文名稱——“NAURA”所寓意的，“北方華創(chuàng)”的明星產(chǎn)品如浩瀚星辰般在半導(dǎo)體宇宙中璀璨閃耀。

四、依托02專項(xiàng)，為中國裝備業(yè)添光

2017年5月23日，《極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝》項(xiàng)目（以下簡稱02專項(xiàng)）成果發(fā)布會(huì)在北京舉行，在會(huì)上筆者了解到，作為國家作02重大科技專項(xiàng)重點(diǎn)承擔(dān)單位，公司通過一直以來承擔(dān)重大專項(xiàng)多項(xiàng)課題的科研任務(wù)，經(jīng)過九年攻關(guān)，完成了刻蝕機(jī)、磁控濺射、氧化爐、低壓化學(xué)氣相沉積、清洗機(jī)、原子層沉積等集成電路設(shè)備90/55/40/28納米工藝驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化；刻蝕（ETCH）、單片退火系統(tǒng)、化學(xué)氣相沉積（CVD）三大類集成電路設(shè)備進(jìn)入14納米工藝驗(yàn)證階段，首次實(shí)現(xiàn)與國外設(shè)備同步驗(yàn)證。

到底北方華創(chuàng)的活力來自哪里？讓我們來聽聽聽02專項(xiàng)總體組專家的說法。

02專項(xiàng)總體組專家、國家封測(cè)聯(lián)盟秘書長于燮康認(rèn)為02專項(xiàng)的創(chuàng)新的考核機(jī)制為北方華創(chuàng)的發(fā)展注力了活力。“下游考核上游，整機(jī)考核部件，應(yīng)用考核技術(shù)，市場(chǎng)考核產(chǎn)品”的考核制保證了科研成果的實(shí)用性，成就了一大批經(jīng)得起市場(chǎng)檢驗(yàn)的高端產(chǎn)品。

由于北方華創(chuàng)是承擔(dān)02專項(xiàng)裝備項(xiàng)目最多的單位，同時(shí)也是零部件的最大用戶，因此，公司與上下游交流的機(jī)會(huì)很多，不但增進(jìn)了相互信任，也帶來了商機(jī)。

中芯國際作為02專項(xiàng)創(chuàng)的驗(yàn)證單位，承擔(dān)了北方華創(chuàng)大部分產(chǎn)品的驗(yàn)證工作，雙方建立了緊密的合作關(guān)系。中芯國際在開發(fā)28納米工藝初期，根據(jù)自身工藝的特點(diǎn)，需要一種單片快速退火設(shè)備，國外還沒有完全符合要求的成熟產(chǎn)品，基于雙方的了解，主動(dòng)提出由北方華創(chuàng)來開發(fā)此設(shè)備。雙方進(jìn)行了深入的交流，在不到一年的時(shí)間里，成功完成設(shè)備開發(fā)及工藝驗(yàn)證，相關(guān)指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平，成為中芯國際28納米生產(chǎn)線基線（Baseline）配置產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)批量銷售。

北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司正是在此嚴(yán)苛的考核機(jī)制下，取得了一系列的成果。

2008年3月6日，北方微電子公司自主研制的NMC 612高密度等離子刻蝕機(jī)正式進(jìn)入中芯國際北京12英寸工廠生產(chǎn)線，應(yīng)用于90-65納米硅柵刻蝕和淺槽隔離刻蝕等工藝制程。

2013年推出的Polaris T是應(yīng)用于先進(jìn)封裝領(lǐng)域TSV阻擋層、籽晶層沉積工藝的高性能PVD設(shè)備，可面對(duì)極具挑戰(zhàn)的TSV孔隙填充工藝要求，可以實(shí)現(xiàn)5um直徑、12:1深寬比TSV深孔的無孔洞電鍍填充，兼容12英寸硅、玻璃等多種基片。

2015年exTin H430 TiN PVD設(shè)備、eVictor A830 Al pad PVD兩款設(shè)備進(jìn)入海外主流芯片企業(yè)外，Booster A630單片退火系統(tǒng)、NMC612硅刻蝕設(shè)備也成為中芯國際的基線（Baseline）機(jī)臺(tái)，實(shí)現(xiàn)大生產(chǎn)線的批量生產(chǎn)。

2016年11月推出200mm高性能多功能磁控濺射系統(tǒng)，滿足先進(jìn)封裝、微機(jī)電系統(tǒng)等多領(lǐng)域制程的發(fā)展需求，推出當(dāng)月就實(shí)現(xiàn)銷售。

相信，北方華創(chuàng)將繼續(xù)發(fā)揚(yáng)“精良品質(zhì)·卓越服務(wù)·中國制造”的企業(yè)精神，深耕發(fā)展，引領(lǐng)未來，與業(yè)界同仁攜手合作，助推產(chǎn)業(yè)技術(shù)進(jìn)步，帶給產(chǎn)業(yè)無限可能。

五、抓住機(jī)遇求發(fā)展，在競爭中取勝

中國集成電路裝備和材料在02專項(xiàng)的推動(dòng)下，在某些領(lǐng)域確實(shí)取得了重點(diǎn)突破，可以與海外跨國公司實(shí)現(xiàn)同臺(tái)競技。但是我們也要看到，重點(diǎn)突破不等于全面突破。我們與海外跨國公司還是存在相當(dāng)?shù)牟罹唷?/p>

根據(jù)SEMI報(bào)告，2016年全球半導(dǎo)體制造設(shè)備的總銷售額為412.4億美元（約合2800億元人民幣），中國成為半導(dǎo)體設(shè)備第三大市場(chǎng)，設(shè)備銷售額達(dá)64.6億美元（約合430億元人民幣）。前十大半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商的銷售額超過370億美元，占全球總銷售額的90%以上。

實(shí)際上，全球半導(dǎo)體設(shè)備幾乎被美、日所壟斷，前十大半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商除了光刻設(shè)備供應(yīng)商ASML 位于歐洲荷蘭，其他九家都位于美、日。全球半導(dǎo)體設(shè)備頂級(jí)供應(yīng)商還沒有見到中國廠商的身影。

在“國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金”和地方基金的助推下，國際制造廠商幾乎全線挺進(jìn)中國大陸，不遺余力地進(jìn)行產(chǎn)能擴(kuò)張，中國集成電路產(chǎn)業(yè)迎來了千載難逢的發(fā)展“黃金期”，據(jù)估算投入各類資金總量可能達(dá)1000億美元以上。

02專項(xiàng)總體組專家、北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司高級(jí)副總裁、首席戰(zhàn)略官張國銘表示，根據(jù)目前各大廠商公布的未來幾年在中國大陸擴(kuò)張的技術(shù)規(guī)劃，未來幾年我們?cè)谠O(shè)備技術(shù)的發(fā)展方向上至少可以在以下幾個(gè)方面得以突破：16/14納米及以下的FinFET技術(shù)發(fā)展，多次曝光技術(shù)帶來設(shè)備技術(shù)和設(shè)備數(shù)量的需求，3D NAND閃存技術(shù)所帶來的設(shè)備需求以及3D封裝技術(shù)對(duì)晶圓級(jí)封裝設(shè)備的需求突破?；诖?，北方華創(chuàng)在02專項(xiàng)的支持下，已經(jīng)開始進(jìn)行布局，而且取得了相當(dāng)?shù)某煽儭１狈饺A創(chuàng)在28納米及以上的制程已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了批量銷售，14納米已經(jīng)開始工藝驗(yàn)證，只要我們能夠豐富產(chǎn)品種類，拓寬應(yīng)用領(lǐng)域，滿足客戶多樣化的工藝需求，未來完全有機(jī)會(huì)在適應(yīng)性與靈活性上與國際對(duì)手從同一起跑線上競爭，并非常有望在市場(chǎng)選擇中得以勝出。

六、結(jié)語

俗話說，兵馬未動(dòng)，糧草先行。對(duì)于國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)而言，要實(shí)現(xiàn)從跟隨者走向引領(lǐng)者的跨越，裝備產(chǎn)業(yè)是最重要的一個(gè)環(huán)節(jié)。中國集成電路發(fā)展任重道遠(yuǎn)，中國集成電路裝備和材料業(yè)更是壓力山大。

北方華創(chuàng)2016年的營收為16.22億元（約合2.4億美元），約占全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)0.58%。根據(jù)中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)的數(shù)據(jù)表明，2015年和2016年公司連續(xù)兩年入圍中國半導(dǎo)體裝備五強(qiáng)榜單。
祝福北方華創(chuàng)永攀高峰，再創(chuàng)佳績。

希望集成電路裝備和材料業(yè)能挺起中國集成電路的脊梁。