2017年5月23日，科技部會(huì)同北京市和上海市人民政府組織召開(kāi)了國(guó)家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”（簡(jiǎn)稱集成電路專項(xiàng)）成果發(fā)布會(huì)。

參加發(fā)布會(huì)的有科技部重大專項(xiàng)辦公室主任陳傳宏、北京市經(jīng)信委主任張伯旭、上海市科委總工程師傅國(guó)慶、集成電路專項(xiàng)管理辦公室主任姜廣智、集成電路專項(xiàng)技術(shù)總師/中科院微電子所所長(zhǎng)葉甜春以及集成電路專項(xiàng)總體組專家朱煜、張國(guó)銘、于燮康、石瑛、張衛(wèi)。

發(fā)布會(huì)由科技部重大專項(xiàng)辦公室主任陳傳宏主持，專項(xiàng)牽頭實(shí)施單位北京市經(jīng)信委主任張伯旭、上海市科委總工程師傅國(guó)慶和專項(xiàng)技術(shù)總師葉甜春介紹了集成電路專項(xiàng)實(shí)施取得的攻關(guān)成果及應(yīng)用情況。

此次發(fā)布的專項(xiàng)成果包括9年來(lái)已研發(fā)成功并進(jìn)入海內(nèi)外市場(chǎng)的30多種高端裝備和上百種關(guān)鍵材料產(chǎn)品，面向全球開(kāi)展服務(wù)的65至28納米產(chǎn)品工藝和高密度封裝集成技術(shù)成果。

集成電路芯片是信息時(shí)代的核心基石，集成電路制造技術(shù)代表著當(dāng)今世界微細(xì)制造的最高水平，集成電路產(chǎn)業(yè)已成為影響社會(huì)、經(jīng)濟(jì)和國(guó)防的安全保障與綜合競(jìng)爭(zhēng)力的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)。

長(zhǎng)期以來(lái)，我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)一直受到西方在先進(jìn)制造裝備、材料和工藝引進(jìn)等方面的種種限制，高端芯片主要依賴進(jìn)口。我國(guó)集成電路產(chǎn)品連續(xù)多年進(jìn)口額超過(guò)2000億美元，超過(guò)石油成為最大宗進(jìn)口產(chǎn)品。

科技部重大專項(xiàng)辦公室主任陳傳宏介紹，為實(shí)現(xiàn)自主創(chuàng)新發(fā)展，2008年國(guó)務(wù)院批準(zhǔn)實(shí)施集成電路專項(xiàng)，由北京市和上海市人民政府牽頭組織實(shí)施，主攻裝備、工藝和材料的自主創(chuàng)新。共有200多家企事業(yè)單位、2萬(wàn)多名科學(xué)工作者參與技術(shù)攻關(guān)，集中在北京、上海、江蘇、沈陽(yáng)、深圳和武漢等6個(gè)產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)，經(jīng)過(guò)9年攻關(guān)，從無(wú)到有填補(bǔ)空白，由弱漸強(qiáng)走向世界，國(guó)家科技重大專項(xiàng)成功打造集成電路制造業(yè)創(chuàng)新體系，引領(lǐng)和支撐我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)快速崛起，輻射帶動(dòng)我國(guó)LED和光伏產(chǎn)業(yè)世界領(lǐng)先。

北京市經(jīng)信委主任張伯旭，集成電路專項(xiàng)以培育真正可用產(chǎn)品、做大做強(qiáng)企業(yè)為目標(biāo)，進(jìn)行了組織實(shí)施的機(jī)制體制創(chuàng)新。首先，“下游考核上游，整機(jī)考核部件，應(yīng)用考核技術(shù)，市場(chǎng)考核產(chǎn)品”的考核制，保證了科研成果的實(shí)用性，成就了一大批經(jīng)得起市場(chǎng)檢驗(yàn)的高端產(chǎn)品。高端裝備和材料從無(wú)到有填補(bǔ)產(chǎn)業(yè)鏈空白，制造工藝與封裝集成由弱漸強(qiáng)走向世界參與國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)，表明國(guó)家科技重大專項(xiàng)打造集成電路制造創(chuàng)新體系的階段性目標(biāo)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)。在近幾年我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展中，重大專項(xiàng)發(fā)揮了顯著的創(chuàng)新引領(lǐng)和技術(shù)支撐作用。其次，采取產(chǎn)業(yè)鏈、創(chuàng)新鏈、金融鏈有效協(xié)同的新模式，專項(xiàng)與重點(diǎn)區(qū)域產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃協(xié)同布局，主動(dòng)引導(dǎo)地方和社會(huì)的產(chǎn)業(yè)投資跟進(jìn)支持，有效推動(dòng)了專項(xiàng)成果產(chǎn)業(yè)化，扶植企業(yè)做大做強(qiáng)，形成產(chǎn)業(yè)規(guī)模，提高整體產(chǎn)業(yè)實(shí)力。在專項(xiàng)支持下，一批龍頭企業(yè)進(jìn)入世界前列，一批骨干企業(yè)開(kāi)始積極參與國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)，專項(xiàng)支持的企業(yè)在資本市場(chǎng)備受青睞。

集成電路專項(xiàng)技術(shù)總師/中科院微電子所所長(zhǎng)葉甜春，培育自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系是科技重大專項(xiàng)組織實(shí)施的重中之重，集成電路專項(xiàng)已申請(qǐng)了2.3萬(wàn)余項(xiàng)國(guó)內(nèi)發(fā)明專利和2000多項(xiàng)國(guó)際發(fā)明專利，所形成的知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系使國(guó)內(nèi)企業(yè)在國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)中的實(shí)力和地位發(fā)生了巨大變化，掌握了發(fā)展的主動(dòng)權(quán)，發(fā)展模式也從“引進(jìn)消化吸收再創(chuàng)新”轉(zhuǎn)變?yōu)椤白灾餮邪l(fā)為主加國(guó)際合作”的新模式。在專項(xiàng)支持下，一批龍頭企業(yè)進(jìn)入世界前列；一批骨干企業(yè)進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng)；一批企業(yè)成功上市，備受青睞。與此同時(shí)，國(guó)內(nèi)企業(yè)應(yīng)用專項(xiàng)成果研制出成套的LED和光伏制造裝備，使得我國(guó)LED和光伏等泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)綜合競(jìng)爭(zhēng)力大幅躍升，產(chǎn)業(yè)規(guī)模和技術(shù)水平實(shí)現(xiàn)了國(guó)際領(lǐng)先。

上海市科委總工程師傅國(guó)慶，面向2020年，專項(xiàng)將圍繞傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)升級(jí)和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需求組織攻關(guān)，推動(dòng)創(chuàng)新成果的規(guī)?；瘧?yīng)用，培育具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)業(yè)集群，為“創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略”的實(shí)施提供科技支撐。葉甜春介紹說(shuō)，專項(xiàng)已經(jīng)在14納米裝備、工藝、封裝、材料等方面進(jìn)行了系統(tǒng)部署，預(yù)計(jì)到2018年將全面進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化。“十三五”還將重點(diǎn)支持7-5納米工藝和三維存儲(chǔ)器等國(guó)際先進(jìn)技術(shù)的研發(fā)，支持中國(guó)企業(yè)在全球產(chǎn)業(yè)鏈中擁有核心競(jìng)爭(zhēng)力，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展，形成特色優(yōu)勢(shì)。

自2008年實(shí)施以來(lái)，集成電路專項(xiàng)積極探索，推動(dòng)構(gòu)建了市場(chǎng)經(jīng)濟(jì)下，由政府引導(dǎo)，市場(chǎng)引導(dǎo)，企業(yè)主體、產(chǎn)學(xué)研用協(xié)同的新型舉國(guó)創(chuàng)新體系。集成電路專項(xiàng)注重通過(guò)市場(chǎng)機(jī)制來(lái)打通科技與經(jīng)濟(jì)的連接通道，推動(dòng)建立以企業(yè)為主體，高校和科研院所大力協(xié)作，科技 、產(chǎn)業(yè)、金融與區(qū)域經(jīng)濟(jì)有效協(xié)同的新模式。

過(guò)去九年中，02專項(xiàng)對(duì)中國(guó)集成電路裝備產(chǎn)業(yè)整體布局，既有全面填空，又有重點(diǎn)突破。在集成電路制造創(chuàng)新體系的引領(lǐng)帶動(dòng)下，專項(xiàng)成績(jī)斐然，碩果累累：刻蝕機(jī)等關(guān)鍵裝備實(shí)現(xiàn)從無(wú)到有，批量應(yīng)用在大生產(chǎn)線上；成套工藝水平提升五代，55/40/28納米三代工藝完成研發(fā)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，22-14納米工藝研發(fā)取得突破；后道封裝集成技術(shù)成果全面實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，引領(lǐng)全行業(yè)技術(shù)水平從低端跨入高端，實(shí)現(xiàn)與世界同步；拋光機(jī)和濺射靶材等上百種關(guān)鍵材料通過(guò)大生產(chǎn)線考核進(jìn)入批量銷售；自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系逐漸建立，發(fā)展模式也從“引進(jìn)消化吸收再創(chuàng)新”轉(zhuǎn)變?yōu)椤白灾餮邪l(fā)研發(fā)為主加國(guó)際合作”的新模式。

可喜的是，國(guó)內(nèi)企業(yè)應(yīng)用專項(xiàng)成果研制出了成套的LED和光伏制造裝備，使得我國(guó)LED和光伏等泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)綜合競(jìng)爭(zhēng)力大幅躍升，產(chǎn)業(yè)規(guī)模和技術(shù)水平實(shí)現(xiàn)了國(guó)際領(lǐng)先。