集成設備制造商龍頭企業(yè)選擇新的 4See 系列自動化平臺
應用于汽車產(chǎn)業(yè)半導體功率器件缺陷檢測
2017年5月16日,法國格勒諾布爾——先進檢測與量測解決方案的領導者 UnitySC,今日宣布收到一個集成設備制造商(IDM)龍頭企業(yè)對模塊化 4See 系列自動化缺陷檢測平臺的多個訂單。選擇這些系統(tǒng)是因為它們提供最佳的晶片薄化和金屬化后背面和邊緣缺陷檢測。功率半導體制造市場領導者將把 4See 系列用于汽車領域,以改善產(chǎn)品的可靠性和性能。
UnitySC 首席執(zhí)行官 Gilles Fresquet 說道:“市場領導者選中我們證實了我們的解決方案的實力,并證明我們以先進的工藝控制解決方案滿足新市場需求的戰(zhàn)略是對的?!薄斑@次的成功讓我們的市場覆蓋范圍從傳統(tǒng)的基片控制擴展到功率半導體的晶片薄化?!?/p>
HIS Markit 預計在未來 6 年,用于全球汽車和輕型客車的功率半導體市場將增長 30 億美元。不斷增加的電子元件是關鍵的驅動因素,尤其是混合汽車和電動汽車,因為要滿足消費者對constant connectivity的需求。在今后十年,汽車行業(yè)推動綠色、無人駕駛汽車發(fā)展也將促進增長。這些技術依賴于采用先進晶片制造工藝(如芯片薄化)的最新功率半導體器件。
“隨著功率半導體制造中使用的晶片越來越薄,通過背面薄化和金屬化工藝步驟控制晶片質(zhì)量對終端設備的性能和可靠性而言變得更加關鍵?!盕resquet 說?!岸嗄陙?,制造商已將我們的 Deflector 模塊視為硅和硅絕緣體晶片滑傷檢測方面一流的解決方案。4See 系列配置結合 Edge 模塊,具備業(yè)界領先的檢測功能,可滿足半導體市場需求。”
UnitySC 新推出用于半導體晶片全表面檢測的4See 系列是一個具有三種模塊的模塊化系統(tǒng):Deflector、Edge 和 LineScan。平臺可以根據(jù)應用需要進行配置,例如晶片薄化、微凸塊、微電子機械系統(tǒng)(MEMS)等,并且依所需配置搭配任意數(shù)量的模塊。
·Deflector 模塊是以相移偏轉測量技術為基礎的晶片表面檢測解決方案,能實現(xiàn)高通量和非常高的納米等級垂直靈敏度。它可以檢測滑線、磨痕、故障、裂紋、條痕、嵌入的顆粒、殘渣和污漬。即使在晶片高度彎曲的條件下,Deflector 模塊也非常適合于其前面和背面檢測。
·Edge 模塊是基于光譜共焦技術的高產(chǎn)量、多功能解決方案,用于檢查整個晶片邊緣:頂部、頂部斜面、頂點、底部斜面和底部。它具有高聚焦深度,并且不需要背面接觸式晶片卡盤。
結合 Deflector 和 Edge 模塊在同一平臺提供了符合 8” 或12” 晶片大批量制造要求的全面性晶片特性分析。4See 系列計劃于 2017 年第三季度向該龍頭企業(yè)于遍布全球的半導體廠發(fā)貨。