在8月8日舉行的北京奧運會開幕式上，當一個巨幅的流動的夢幻般的畫卷在“鳥巢”的地面上展開時，大多數(shù)電視觀眾都會不自覺地注意到，9.2萬名現(xiàn)場觀眾發(fā)出不斷閃爍的燈光，讓他們就像是9.2萬個五彩的小點。

當然，這些五彩的燈光并不是我們通常在那些大的運動賽場上看到的照相機的閃光燈。事實上，這種歡樂的背景是由觀眾揮舞的電子火炬形成的效果，這種基于MEMS技術的電子火炬是奧運火炬的一種復制品。

據(jù)了解，開幕式上“鳥巢”內的所有現(xiàn)場觀眾都有這樣一個電子火炬，他們在專業(yè)人員的統(tǒng)一指導下有節(jié)奏地揮舞手中的電子火炬。

基于MEMS技術的火炬當然不是普通的閃光，雖然人們從遠處看會將它們誤以為普通的閃光。但是據(jù)該火炬的制造商美新半導體（無錫）有限公司CEO趙陽表示，北京奧運會上使用的電子火炬能夠閃現(xiàn)出不同的圖像和文字，比如福娃、象征不同運動項目的圖像、奧運logo、北京奧運會logo、北京歡迎你等字樣。

運用加速傳感器，可以監(jiān)測到電子火炬揮舞時的起點和終點，在火炬的前端，有一排LED陣列，通過LED照明與其在空間中的位置同步，顯示出預先設置好的文字。

美新公司的CEO趙陽曾在20年多前去美國普林斯頓大學攻讀的博士學位，他的導師是曾于1998年獲得諾貝爾物理學獎的DanielTsui教授。

官員做工作，趙陽直到最后也不能確定中國奧組委是否同意觀眾使用這種搖擺火炬。

這項奧運工程項目展示了美新公司對一種獨特的溫感感應工作原理的運用。更特別的是，這種MEMS傳感器應用是基于熱力傳輸定律，能夠像其他具有靜態(tài)部件的加速計那樣工作。這種運用于美新的加速計的靜態(tài)部件是一種熱氣體。

據(jù)美新公司表示，“一個單獨的熱源集中在硅芯片中心，它能夠產(chǎn)生熱梯度，因而在密封包裝中出現(xiàn)氣體密度梯度?！碑斀o設備添加一個外作用力（比如加速、減速、重力、振動等），氣體會隨著包裝內的慣性質量而運動，通過對熱源周圍的溫度的監(jiān)測就能夠測出外加力。

美新公司表示，這一設計不含任何運動部件，因此，MEMS具有高穩(wěn)定性，趙陽說：“現(xiàn)在，還沒有其他MEMS公司具有這樣的技術?！?/p>

標準COMS流程

更重要的是，這種技術使美新公司可以通過CMOS流程將傳感器和電子控制裝置集成在同一個芯片上，通常MEMS芯片需要特殊的晶圓廠。

美新公司宣稱，他們是第一家也是唯一一家擁有將復合信號處理電路和加速計集成在一個芯片上的技術。有了這種技術，加上這次電子火炬項目的經(jīng)驗，美新公司能夠以更低的價格打開高端領域的的商業(yè)化MEMS產(chǎn)品之門。

由于許多MEMS芯片供應商都在尋找更為經(jīng)濟的MEMS芯片量產(chǎn)方式，因此MEMS芯片制造商之間的競爭也開始變得激烈起來。例如，幾個月前，臺積電宣布他們將全線進入MEMS市場，臺積電將自己明確定位為領先的MEMS制造商，趙陽表示臺積電在把美新公司作為他們主要的樣板。