特許機(jī)器株式會社技術(shù)本部課長董敏璇

       智能產(chǎn)品制造中，作為產(chǎn)品的大腦而使用的IC(半導(dǎo)體集成電路)是必不可缺。而IC是由光刻機(jī)等半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備制造出來的。半導(dǎo)體制造中必須的步進(jìn)掃描光刻機(jī)，光刻機(jī)等設(shè)備，由超高分辨率投影物鏡，極為精密的驅(qū)動和高精的控制等機(jī)構(gòu)構(gòu)成，被譽為“史上最精密的機(jī)械”。運用了最尖端的技術(shù)所達(dá)到和對應(yīng)的精度是納米級。而10億分之1米的納米，可謂是精密加工的極限。

       而為了確保IC品質(zhì)，需要導(dǎo)入電子顯微鏡等檢查設(shè)備。IC精密加工所需的微振動環(huán)境。超過限度的震動會對加工、檢查、觀察、測試等流程造成不利影響。

       為了防止震動造成危害，需要免震技術(shù)、制振技術(shù)、防振技術(shù)、除振技術(shù)共同進(jìn)行。針對微振動的控制，可以采用磁場主動控制技術(shù)，隔絕由地板傳來的振動，減小直接的干擾響應(yīng)，保持各部位置迅速復(fù)元。主動控制技術(shù)和被動控制技術(shù)相比更加穩(wěn)定，效果更好。