《電子技術(shù)應(yīng)用》
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意法半導(dǎo)體(ST)通過CMP提供先進MEMS制程試制樣片

此項計劃旨在于推進運動傳感器市場開發(fā)新應(yīng)用
2013-03-28
關(guān)鍵詞: 工藝技術(shù) THELMA MEMS 制程

    意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics,簡稱ST;紐約證券交易所代碼:STM)宣布即日起通過IC中介服務(wù)公司CMP(Circuits Multi Projets®)為研發(fā)組織提供意法半導(dǎo)體THELMA MEMS制程,大學、研究實驗室和設(shè)計企業(yè)可運用該制程試制樣片。意法半導(dǎo)體運用這項制程研制并銷售了數(shù)十億顆市場領(lǐng)先的加速度計和陀螺儀?,F(xiàn)在意法半導(dǎo)體以試制和代工的形式向第三方提供這項制程,旨在于推動運動感應(yīng)應(yīng)用在消費電子、汽車電子、工業(yè)及醫(yī)療保健市場取得新的發(fā)展。

     意法半導(dǎo)體在MEMS(微機電系統(tǒng))傳感器領(lǐng)域的長期成功歸功于其研發(fā)的市場領(lǐng)先的制程。0.8微米表面微加工THELMA(用于制造微陀螺儀和加速度計的厚外延層)制程通過整合薄厚不一的多晶硅層來制造器件的結(jié)構(gòu)和互連部件,實現(xiàn)單片集成線性運動和角速度機械檢測單元,為客戶帶來成本效益和尺寸優(yōu)勢。

     CMP的多項目晶圓加工服務(wù)幫助設(shè)計企業(yè)獲得少量的通常是數(shù)十個至數(shù)千個采用量產(chǎn)制程制造的先進芯片。現(xiàn)在,THELMA設(shè)計規(guī)則和設(shè)計工具可供大學和微電子企業(yè)使用,首批申請正在批復(fù)中。

    CMP的服務(wù)目錄增加意法半導(dǎo)體MEMS制程基于雙方合作取得的成功,此前,意法半導(dǎo)體與CMP的合作項目為大學和設(shè)計企業(yè)提供多項制程,從2003年推出的130納米CMOS,到2012年底發(fā)布的28納米FD-SOI技術(shù),這些技術(shù)讓設(shè)計公司可高效地設(shè)計出兼具高性能與低功耗的下一代移動器件。

    意法半導(dǎo)體執(zhí)行副總裁兼模擬產(chǎn)品、MEMS和傳感器產(chǎn)品部總經(jīng)理Benedetto Vigna表示:“我們提供的業(yè)界領(lǐng)先的MEMS制程以及包括具有突破性的FD-SOI在內(nèi)的CMOS技術(shù)的小批量芯片制造服務(wù),結(jié)合CMP的先進服務(wù)能力,為想要設(shè)計智能傳感器系統(tǒng)的中小企業(yè)和研發(fā)實驗室提供了一條能夠使用最先進的半導(dǎo)體技術(shù)試制芯片的途徑,這是前所未有的。在掌握了最先進的制程后,研發(fā)者可集中精力研發(fā)新產(chǎn)品,而不必在研發(fā)制程上耗費大量的時間和資源。”

    CMP總監(jiān)Bernard Courtois表示:“預(yù)計MEMS市場將會迎來巨大發(fā)展,我們早在1995年就開始提供MEMS技術(shù)加工服務(wù),成為全球第一家提供MEMS技術(shù)的芯片中介服務(wù)商。今天,CMP正在將與意法半導(dǎo)體的成功合作項目擴展至THELMA制程,從一個制造商獲得CMOS和MEMS兩項技術(shù)。超越慣性傳感器、壓力傳感器、麥克風、電子羅盤等領(lǐng)域,意法半導(dǎo)體與CMP的合作伙伴關(guān)系將讓CMP的客戶針對越來越多的社會需求,投向復(fù)雜的被視為物聯(lián)網(wǎng)重要組成部分的嵌入式系統(tǒng)設(shè)計。”

關(guān)于意法半導(dǎo)體

意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics;ST)是全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體解決方案供應(yīng)商,為客戶提供傳感器、功率器件、汽車產(chǎn)品和嵌入式處理器解決方案。從能源管理和節(jié)能技術(shù),到數(shù)字信任和數(shù)據(jù)安全,從醫(yī)療健身設(shè)備,到智能消費電子,從家電、汽車,到辦公設(shè)備,從工作到娛樂,意法半導(dǎo)體的微電子器件無所不在,在豐富人們的生活方面發(fā)揮著積極、創(chuàng)新的作用。意法半導(dǎo)體代表著科技引領(lǐng)智能生活(life.augmented)的理念。

意法半導(dǎo)體2012年凈收入84.9 億美元。詳情請訪問公司網(wǎng)站www.st.com。

關(guān)于CMP

CMP是為集成電路(IC)和微機電系統(tǒng)(MEMS)設(shè)計公司提供芯片設(shè)計/開發(fā)和小批量制造服務(wù)的中介機構(gòu),承接大專院校、研究實驗室和企業(yè)委托的電路制造服務(wù)。先進制程包括CMOS、BiCMOS、SiGe BiCMOS、最低20納米的高壓FD-SOI 、pHEMT E/D GaAs以及MEMS等。CMP向企業(yè)和大學院校提供各種CAD軟件工具和設(shè)計支持服務(wù)。自1981年至今,CMP已為70個國家的1000多家機構(gòu)提供服務(wù),為6000余個項目流片700次以及在60種不同技術(shù)之間建立界面。詳情請訪問:http://cmp.imag.fr.

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