多路高精度擴(kuò)散爐溫度控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
所屬分類：技術(shù)論文
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文檔介紹： 針對(duì)傳統(tǒng)的擴(kuò)散爐溫度控制系統(tǒng)的精度低、生產(chǎn)工藝控制能力差的現(xiàn)狀，設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了擴(kuò)散爐多路高精度溫度檢測(cè)控制系統(tǒng)。系統(tǒng)采用三路熱電偶采集擴(kuò)散爐內(nèi)溫度值并通過基于Smith預(yù)估的PID控制，控制三組加熱裝置的啟停，以達(dá)到對(duì)爐溫的控制，控制精度可達(dá)1‰，并采用液晶顯示模塊和按鍵組成人機(jī)交互界面。
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