自動跟蹤工頻陷波器的研究與設(shè)計
所屬分類:技術(shù)論文
上傳者:serena
標(biāo)簽: 工頻陷波器 電子束曝光機(jī)
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文檔介紹: 介紹了一種新型線性自動跟蹤工頻陷波器的電路結(jié)構(gòu)。該陷波器應(yīng)用于電子束曝光機(jī)束流測量電路中,用來抑制工頻干擾對測量精度的影響?;趯ψ詣痈櫹莶ㄆ鞯幕竟ぷ髟矸治?,陷波器采用了頻率/電壓轉(zhuǎn)換器與壓控帶阻濾波器相結(jié)合的設(shè)計方案,成功地解決了工頻頻偏對常規(guī)工頻陷波器濾波性能的嚴(yán)重影響問題。提出了提高抑制工頻干擾能力的設(shè)計要點和電路調(diào)試方法。通過性能指標(biāo)的測試和長期實際運行應(yīng)用,證明陷波器滿足了電子束測量中對工頻干擾進(jìn)行強(qiáng)抑制的要求,提高了電子束曝光機(jī)的制版質(zhì)量。
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