??? 日前，由西安理工大學(xué)和北京有色金屬研究總院承擔(dān)的國家“863”計(jì)劃項(xiàng)目“TDR—150型單晶爐（12英寸MCZ綜合系統(tǒng)）” 在北京通過了驗(yàn)收，這標(biāo)志著擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)和核心技術(shù)的大尺寸" title="大尺寸">大尺寸集成電路與太陽能用硅單晶生長設(shè)備在我國" title="我國">我國研制成功。驗(yàn)收專家組評(píng)價(jià)TDR—150型單晶爐性能穩(wěn)定可靠，運(yùn)行平穩(wěn)，填補(bǔ)了國內(nèi)12英寸無位錯(cuò)硅單晶生長設(shè)備的空白。

　　“我國以單晶爐為代表的晶體生長" title="晶體生長">晶體生長設(shè)備一直存在核心技術(shù)不足的問題，高端產(chǎn)品" title="高端產(chǎn)品">高端產(chǎn)品均為國外公司所壟斷。”西安理工大學(xué)校長、課題組負(fù)責(zé)人劉丁教授介紹說，“硅單晶作為現(xiàn)代信息社會(huì)的關(guān)鍵性支撐材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，也是發(fā)展計(jì)算機(jī)與集成電路的主要功能材料?！?

　　“該項(xiàng)" title="該項(xiàng)">該項(xiàng)成果突破了國外技術(shù)封鎖與壟斷，初步改變了在我國晶體生長設(shè)備領(lǐng)域研發(fā)制造受制于人的局面?！?驗(yàn)收組組長、清華大學(xué)自動(dòng)化系教授楊耕說，“該課題的完成對(duì)我國微電子和光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展將起到積極的促進(jìn)作用。”