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Melexis首創(chuàng)Triphibian?技術(shù)可實(shí)現(xiàn)MEMS壓力敏感元件革新

2024-01-22
來(lái)源:Melexis
關(guān)鍵詞: Melexis 壓力傳感器芯片 MLX90830

  2024年01月19日,比利時(shí)泰森德洛——全球微電子工程公司Melexis今日宣布,推出首款采用全新專利Triphibian? 技術(shù)的壓力傳感器芯片MLX90830。這款MEMS壓力敏感元件采用前所未有的小型化設(shè)計(jì),能夠穩(wěn)健地測(cè)量2至70bar范圍內(nèi)的氣體和液體介質(zhì)的壓力。該器件經(jīng)過(guò)Melexis出廠校準(zhǔn),可測(cè)量絕對(duì)壓力并提供成比例的模擬輸出信號(hào)。MLX90830可簡(jiǎn)化模塊與最新電動(dòng)汽車(EV)熱管理系統(tǒng)的集成,使模塊更具成本效益。

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  MLX90830以Melexis突破性的Triphibian?技術(shù)為核心,不僅使MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)遠(yuǎn)高于5bar的精確測(cè)量,還可以實(shí)現(xiàn)液體接觸式測(cè)量。MLX90830具有獨(dú)特構(gòu)造,實(shí)現(xiàn)創(chuàng)新性突破,既能進(jìn)行高壓感測(cè),又能與氣體和液體兼容。該傳感器芯片采用SO16寬體封裝,內(nèi)部搭載一個(gè)懸掛懸臂,其尖端帶有感應(yīng)膜。

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  傳感器芯片的懸掛懸臂設(shè)計(jì)提供高達(dá)2000bar/msec的壓力峰值抗擾度和高達(dá)210bar的靜態(tài)爆破壓強(qiáng)水平。該器件默認(rèn)提供兩種壓強(qiáng)量程校準(zhǔn)范圍(10bar、35bar),每種壓強(qiáng)量程校準(zhǔn)范圍都專為電動(dòng)汽車熱管理系統(tǒng)的需求量身定制,包括冷媒的低壓、高壓制冷回路。與背面暴露的解決方案相比,MLX90830的設(shè)計(jì)更穩(wěn)健,因?yàn)榍罢咴诓AЩ鶄?cè)和引線鍵合側(cè)之間仍然存在壓力差。此外,壓力均衡原理也適用于冷凍介質(zhì),因此MLX90830可在此類條件下運(yùn)行,這對(duì)MEMS壓力敏感元件而言尚屬首次。

  與現(xiàn)有的非MEMS設(shè)計(jì)相比,MLX90830的設(shè)計(jì)精度更高、更穩(wěn)健,有助于優(yōu)化車輛熱管理系統(tǒng)的效率,可實(shí)現(xiàn)更長(zhǎng)的行駛距離。此外,與獨(dú)立傳感器芯片模塊相比,其緊湊的嵌入式封裝減小了傳感器芯片的體積。

  MLX90830包含傳感器、信號(hào)處理電路、數(shù)字硬件、穩(wěn)壓器和模擬輸出驅(qū)動(dòng)芯片。植入感應(yīng)膜中的壓阻元件可形成惠斯通電橋,從而生成輸出信號(hào)。該信號(hào)經(jīng)放大后可轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào),通過(guò)16位數(shù)字信號(hào)處理(DSP)進(jìn)行溫度補(bǔ)償,最后通過(guò)數(shù)模轉(zhuǎn)換器提供模擬電壓輸出。

  該傳感器芯片具備先進(jìn)的保護(hù)機(jī)制,可防止過(guò)電壓(高于+40V)和反向電壓(低于-40V),十分適合大型車輛應(yīng)用。MLX90830是按照ISO26262標(biāo)準(zhǔn)開(kāi)發(fā)的獨(dú)立安全單元(SEooC),支持ASIL B級(jí)系統(tǒng)集成,以確保滿足最新的電動(dòng)汽車安全需求。

  “基于Triphibian?技術(shù)且經(jīng)過(guò)Melexis精確出廠校準(zhǔn)的微型化MEMS壓力敏感元件,可實(shí)現(xiàn)電動(dòng)汽車熱管理系統(tǒng)集中化,既縮小系統(tǒng)尺寸,又提高可靠性。”壓力傳感器芯片產(chǎn)品經(jīng)理Karel Claesen表示,“客戶可以將MLX90830設(shè)計(jì)到獨(dú)立的壓力傳感器中,也可將其輕松嵌入到系統(tǒng)中?!?/p>

  “借助Triphibian?技術(shù),MEMS傳感器芯片能夠提高可測(cè)量的壓力等級(jí),并擴(kuò)展適用的介質(zhì)類型?!备呒?jí)產(chǎn)品線經(jīng)理Laurent Otte解釋道,“Melexis破解了此前無(wú)法通過(guò)MEMS技術(shù)解決的難題,現(xiàn)在我們可以通過(guò)測(cè)定液體介質(zhì)的壓力,為汽車行業(yè)及其他領(lǐng)域應(yīng)用打開(kāi)新的可能?!?/p>



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