據(jù)tomshardware報道，在今年的IEDM 會議上，臺積電突然分享了一個包含 1 萬億晶體管的芯片封裝路線。據(jù)臺積電所說，這些龐然大物將來自于單個芯片封裝上的 3D 封裝芯粒集合。與此同時，如圖所示，臺積電也在致力于開發(fā)在單片硅上包含 2000 億個晶體管的芯片。

為了實現(xiàn)這一目標，該公司重申正在致力于 2 納米級 N2 和 N2P 生產(chǎn)節(jié)點以及 1.4 納米級 A14 和 1 納米級 A10 制造工藝，這些工藝預計將于 2030 年完成。此外，臺積電預計封裝技術（CoWoS、InFO、SoIC 等）將將其取得進步，使其能夠在 2030 年左右構建封裝超過一萬億個晶體管的大規(guī)模多Chiplet解決方案。

而在這背后，則是芯片設計范式轉變的無奈選擇。

01 單片集成，強弩之末

自戈登摩爾定義“摩爾定律”以來，芯片產(chǎn)業(yè)一直在這個墨守成規(guī)的行業(yè)金科玉律指導下繼續(xù)發(fā)展。在集成電路發(fā)明之后的幾十年里，大多數(shù)芯片單位尺寸上集成的晶體管數(shù)量都呈現(xiàn)指數(shù)級增長，芯片的性能也同時水漲船高。

但是，進入到最近幾年，受限于材料本身的物理特性，制造設備和工藝、架構的瓶頸。像過往那樣在單芯片上集成更多的晶體管越來越難。但是，在人工智能和自動駕駛汽車需求的推動下，市場對芯片高性能有著極高的需求。這就使得持續(xù)增加芯片性能，成為了必然之路。

過往一直使用的單片集成的方案還有著不小的吸引力，英偉達和Cerebras就是其中最忠誠的捍衛(wèi)者。首先看英偉達，該公司推出的擁有 800 億晶體管的GH100就是市場上最復雜的單片處理器之一。再看Cerebras，這家新創(chuàng)公司在一整塊晶圓上實現(xiàn)了 2.5 萬億晶體管的集成。

之所以大家那么“念舊”，這與單片集成本身的特點有著莫大的關系。

據(jù)了解，這主要與單片集成涉及在單個半導體襯底上創(chuàng)建整個集成電路，所有組件（例如 CPU 內(nèi)核、內(nèi)存和 I/O 接口）均在單一制程中制造在一起有著莫大的關系。受惠于這樣的設計，由于組件非常接近，單片設計通?？梢蕴峁┳吭降男阅?；與此同時，這種接近性還減少了信號延遲和功耗，使單片芯片成為高性能計算的理想選擇；此外，單片集成可以縮芯粒尺寸并降低功耗；再者，單片設計中的片上通信速度更快，因為組件在物理上更接近，從而實現(xiàn)更低的延遲和更好的整體系統(tǒng)性能。

因此，這種緊湊的設計可以累計數(shù)十億或數(shù)萬億次計算。而按照臺積電的說法，我們很快就會有更復雜的單片芯片，擁有超過 1000 億個晶體管。但構建如此大型的處理器變得越來越復雜和昂貴。同時，隨著芯片尺寸變得更大，晶圓良率問題變得更加突出。

有見及此，許多公司選擇了chiplet（芯粒）設計（如AMD 的 Instinct MI300X 和英特爾的 Ponte Vecchio 由數(shù)十個芯粒組成），這與這種設計擁有很多優(yōu)勢有關。

首先，芯?？奢p松實現(xiàn)集成電路的可擴展性和定制化。制造商可以混合和匹配芯粒來創(chuàng)建具有不同功能的產(chǎn)品，使它們能夠適應不同的應用；

其次，芯粒的模塊化特性允許并行開發(fā)，從而縮短新產(chǎn)品的上市時間。公司可以同時開發(fā)各個芯粒，從而加快創(chuàng)新速度；

再者，制造較小的芯粒比生產(chǎn)大型單片設計更具成本效益，特別是對于良率可能較低的先進節(jié)點；

最后，較小的芯片具有較高的良率，因為單個有缺陷的芯粒不會導致整個產(chǎn)品無法使用；此外，芯粒還可以通過針對所需任務進行優(yōu)化的處理元件來 提供增強的性能。

在芯粒設計大行其道的同時，也對封裝提出了更多的需求，因為只有更好的封裝和互聯(lián)，才能將這些芯粒更好地集成到一起，這正是臺積電及其客戶必須同步開發(fā)邏輯技術和封裝技術的原因。前者為后者提供密度改進，這也正是臺積電將生產(chǎn)節(jié)點的演變和封裝技術都包含在同一張幻燈片上的原因。

02 先進封裝，新戰(zhàn)場

早前，半導體行業(yè)觀察曾經(jīng)報道過，美國將投資30億美元發(fā)展先進封裝，這足以證明了之前不被看好的封裝的重要性（參考文章《美國投資30億美元，大力發(fā)展先進封裝》）?；诖?，芯片制造商也可以以更有效的方式將不同類型的組件封裝在一起，而不是使用最先進的工藝制造芯片的每個部分。這樣可以提高性能，同時降低成本。

以臺積電為例，他們在封裝技術上就已經(jīng)投入巨資。今年七月，臺積電就表示，由于先進封裝產(chǎn)能供不應求，公司計劃斥資近新臺幣900億元（約合人民幣206億元），于竹科轄下銅鑼科學園區(qū)設立生產(chǎn)先進封裝的晶圓廠。

臺積電同時還表示，公司的目標是在 2024 年將其稱為 CoWoS 的先進封裝產(chǎn)能翻一番，該技術代表公司基板上的晶圓上的芯片，具體而言就是將邏輯和存儲芯片捆綁在一起，并提高了它們之間的數(shù)據(jù)傳輸速度。除此以外，臺積電還有被稱為多項封裝技術，這就是公司現(xiàn)在被稱為3D Fabric的平臺。在半導體行業(yè)觀察之前的文章《臺積電的先進封裝》中，我們能看到這家晶圓廠巨頭在封裝上面的具體表現(xiàn)。

除了臺積電以外，晶圓代工競爭對手英特爾和三星也在先進封裝上“斗法”。

首先看英特爾，作為一家把持芯片制造技術多年的半導體巨頭，英特爾在單芯片集成上有著豐富的經(jīng)驗。來到封裝領域也不例外。值得一提的是，在去年的IEDM上，英特爾就率先提出了2030 年打造包含 1 萬億個晶體管的處理器的雄心。

按照英特爾所說，之所以能夠實現(xiàn)如此創(chuàng)舉，是因為公司的組件研究小組的研究人員已經(jīng)發(fā)現(xiàn)了模糊封裝和硅之間界限的新材料和工藝。英特爾同時還揭示了將摩爾定律擴展到封裝上萬億晶體管的關鍵后續(xù)步驟，當中包括可以實現(xiàn)額外 10 倍互連密度的先進封裝，從而實現(xiàn)準單片芯片。英特爾還指出，公司材料創(chuàng)新還確定了實用的設計選擇，可以使用僅 3 個原子厚的新型材料滿足晶體管微縮的要求，使該公司能夠繼續(xù)超越 RibbonFET 的規(guī)模。

具體看一下英特爾的先進封裝。據(jù)英特爾官網(wǎng)介紹，公司擁有FCBGA/LGA、EMIB、Foveros和Co-EMIB等封裝技術。其中，EMIB和Foveros更是英特爾先進封裝的扛把子。

至于三星，同樣也在封裝上年有了很多投入。

據(jù)三星介紹，公司除了擁有2.5D 封裝技術I-Cube 和 H-Cube外，還擁有3D IC技術X-Cube。其中，I-Cube部署并行水平芯片放置以提高性能，同時防止熱量積聚。三星的硅通孔 (TSV) 和后段生產(chǎn)線 (BEOL) 技術為兩個或多個芯片協(xié)調(diào)其專業(yè)功能奠定了基礎，超越了各個部分的總和，為現(xiàn)代設備提供了強大的解決方案。根據(jù)插入器類型，I-Cube 可用于 I-CubeS 和 I-CubeE 衍生產(chǎn)品。

3D IC 封裝則通過垂直堆疊組件，使用更短的互連線長度，從而進一步提高性能，從而實現(xiàn)超高垂直互連密度和更低的寄生效應，同時節(jié)省大量片上空間。三星表示3D IC X-Cube技術通過 3D 集成顯著降低了大型單片芯片的良率風險，能夠以更低的成本實現(xiàn)高系統(tǒng)性能，同時保持高帶寬和低功耗。

除了這些廠商以外，日月光、安靠和長電也是先進封裝市場不能忽略的重要玩家。

03 萬億晶體管，臺積電的辦法

從上面的報道可以看到，先進封裝是臺積電走向萬億晶體管的必然倚仗。從上圖可以開到，除此以外，臺積電還將依賴新的溝道材料、EUV、Metal Oxide ESL、Self-Aligned Line w/Flexible Space和Low Damage/Hardening Low-k& Novel Cu Fill等多種技術以實現(xiàn)萬億的目標。

下面，讓我們來拆解一下臺積電的這些“謎底”。

首先看溝通材料方面，據(jù)臺積電所說，在 7nm 節(jié)點之前的所有 CMOS 技術中，硅一直是首選的晶體管溝道材料。但到了5納米技術時代，臺積電首此采用SiGe作為p型FinFET溝道材料的先進邏輯生產(chǎn)技術?，F(xiàn)在，臺積電的晶體管研究團隊也在探索基于具有本質(zhì)上 2D 或 1D 載流子傳輸（低維傳輸）的材料構建的器件。包括過渡金屬二硫屬化物、石墨烯納米帶和碳納米管等材料正在臺積電內(nèi)部進行研究和測試。

在近兩年的IEDM上，我們看臺積電的研究人員展示了只有一個原子厚的 MoS2。該團隊將原子層沉積形成的鉿基電介質(zhì)與單層 TMD 材料 MoS2 集成，構建了物理電介質(zhì)厚度為 3.4 nm、電等效氧化物厚度 (EOT) 約為 1 nm 的頂柵 nFET。

至于EUV，則可能是設計High NA EUV或者面向未來的Hyper NA EUV，在這里我們就不在討論，詳情可參考半導體行業(yè)觀察之前的文章《下一代EUV光刻機》。

臺積電在路線圖中還提到了Metal Oxide ESL、Self-Aligned Line w/Flexible Space和Low Damage/Hardening Low-k& Novel Cu Fill。關于上述技術，我們有了基本的了解，但未從相關檢索中看到有關資料。

但可以肯定的是，萬億晶體管芯片正在前面等著我們，這一切都值得我們期待。