近日，外媒稱荷蘭、日本與美國(guó)達(dá)成對(duì)中國(guó)限制出口光刻機(jī)的協(xié)議。具體制裁細(xì)節(jié)如何尚未可知，但卡脖子的手無(wú)疑是越收越緊，這一回聚光燈照向了光刻機(jī)設(shè)備。

相比光刻機(jī)這一“半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠”，半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈上的精密零部件討論度并不高。實(shí)際上，零部件的性能和質(zhì)量直接決定著半導(dǎo)體設(shè)備的可靠性、穩(wěn)定性，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的基石。

在全球半導(dǎo)體設(shè)備零部件市場(chǎng)長(zhǎng)期被美國(guó)、日本等國(guó)際巨頭壟斷的背景下，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備零部件力量的成長(zhǎng)壯大，成為絕地反擊的關(guān)鍵之一。

2022年10月10日，半導(dǎo)體設(shè)備零部件廠商富創(chuàng)精密成功登陸科創(chuàng)板，這一業(yè)內(nèi)有名的國(guó)家專精特新“小巨人”，又邁向了新的發(fā)展階段。

重壓之下，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備零部件廠商是如何成長(zhǎng)的？中美科技戰(zhàn)的硝煙下，零部件的國(guó)產(chǎn)化之路怎樣鋪設(shè)？本文將透過(guò)富創(chuàng)精密的奮斗歷程，分以下三部分進(jìn)行闡述：

1．篳路藍(lán)縷，以啟山林

2．產(chǎn)業(yè)鏈的“三體”局

3．零部件的“狂飆”路

篳路藍(lán)縷，以啟山林

富創(chuàng)精密的誕生與成長(zhǎng)，離不開(kāi)創(chuàng)始人鄭廣文。

1966年出生，畢業(yè)于吉林工業(yè)大學(xué)技術(shù)經(jīng)濟(jì)專業(yè)（現(xiàn)已并入吉林大學(xué)）的鄭廣文，是那個(gè)年代少有的大學(xué)生。

畢業(yè)后，鄭廣文被分配到遼寧省汽車貿(mào)易集團(tuán)，一干就是七年。旁人看來(lái)他是捧上了國(guó)企的鐵飯碗，于鄭廣文而言，這段經(jīng)歷則為他積累了企業(yè)管理經(jīng)驗(yàn)和汽車貿(mào)易行業(yè)人脈，是創(chuàng)業(yè)的地基。

到了“改革春風(fēng)吹滿地”的90年代，鄭廣文丟掉了鐵飯碗，創(chuàng)辦了一家名為“遼寧汽車物資銷售中心”的企業(yè)，抓住了這片競(jìng)爭(zhēng)相對(duì)小的藍(lán)海市場(chǎng)，沒(méi)過(guò)幾年便發(fā)展到三家汽車4S店，在沈陽(yáng)汽車市場(chǎng)嶄露頭角。

2003年，中科院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所旗下的沈陽(yáng)先進(jìn)開(kāi)放了投資入口，鄭廣文看準(zhǔn)時(shí)機(jī)，重金入股了沈陽(yáng)先進(jìn)，邁出了走向制造業(yè)的第一步。

2008年，鄭廣文通過(guò)沈陽(yáng)先進(jìn)投資創(chuàng)辦了沈陽(yáng)富創(chuàng)精密設(shè)備有限公司。由此，富創(chuàng)精密的前身誕生，鄭廣文開(kāi)始了自己的第二次創(chuàng)業(yè)，一頭扎進(jìn)了高端精密制造領(lǐng)域。

在多家汽車4S店日進(jìn)斗金、第一次創(chuàng)業(yè)就賺得盆滿缽滿之時(shí)，鄭廣文為什么會(huì)做出這樣的選擇呢？

在回憶兩次創(chuàng)業(yè)經(jīng)歷時(shí)，鄭廣文說(shuō)，“當(dāng)時(shí)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)不像今天這么欣欣向榮，投身半導(dǎo)體純粹是工科生的情懷，骨子里覺(jué)得做制造業(yè)才踏實(shí)”。

這份踏實(shí)感，讓鄭廣文帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)在半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件領(lǐng)域沉淀了十余年，將富創(chuàng)精密鍛造成了如今國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備零部件的中流砥柱之一。

從汽車經(jīng)銷到半導(dǎo)體制造，這中間的技術(shù)跨度與市場(chǎng)鴻溝，富創(chuàng)精密是怎樣飛越的呢？這可以歸結(jié)為三點(diǎn)：天時(shí)、地利、人和。

天時(shí)：富創(chuàng)精密是在國(guó)家02專項(xiàng)支持下成長(zhǎng)起來(lái)的。

“02專項(xiàng)”全稱是“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國(guó)家科技重大專項(xiàng)，啟動(dòng)于“十二五規(guī)劃”期間，在同期啟動(dòng)的16個(gè)重大專項(xiàng)中位列第二位，其重點(diǎn)是對(duì)22－45nm芯片制造設(shè)備進(jìn)行研發(fā)突破。

可以說(shuō)，“02專項(xiàng)”代表著我國(guó)芯片自主研發(fā)的頂尖實(shí)力，是對(duì)抗卡住我國(guó)成熟制程芯片制造脖子的手的重要力量。

富創(chuàng)精密于2011年和2014年分別牽頭承接了兩期02專項(xiàng)項(xiàng)目，共計(jì)立項(xiàng)6．5億。

2011年，在“IC設(shè)備關(guān)鍵零部件集成制造技術(shù)與加工平臺(tái)”項(xiàng)目中，富創(chuàng)精密解決了包括光刻機(jī)中的光刻主機(jī)板、微動(dòng)框架等制造技術(shù)。同年，公司向應(yīng)用材料交付了首款精密零部件產(chǎn)品，成為其合格供應(yīng)商。

2014年，富創(chuàng)精密承接了“基于焊接和表面涂覆技術(shù)的大型鋁件制造技術(shù)開(kāi)發(fā)”項(xiàng)目。依托項(xiàng)目成果，公司的精密零部件焊接及表面處理特種工藝技術(shù)實(shí)現(xiàn)了與國(guó)際接軌，并快速推進(jìn)了針對(duì)22nm以下的大型鋁合金零部件超強(qiáng)耐腐蝕、特種焊接技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

在第二次承接“02 重大專項(xiàng)”期間，富創(chuàng)精密成為了應(yīng)用材料的戰(zhàn)略供應(yīng)商，東京電子、VAT等國(guó)際知名企業(yè)的供應(yīng)商，并為北方華創(chuàng)、中科信裝備、拓荊科技等國(guó)內(nèi)知名半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)提供精密零部件的研發(fā)及量產(chǎn)配套服務(wù)。

富創(chuàng)精密用近十年的時(shí)間完成了兩期02重大專項(xiàng)，彌補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)零部件制造的短板。同時(shí)，02專項(xiàng)技術(shù)成果的轉(zhuǎn)化也支撐著公司業(yè)務(wù)的快速擴(kuò)大。02專項(xiàng)的基礎(chǔ)研發(fā)技術(shù)不斷應(yīng)用在更多產(chǎn)品上，其產(chǎn)品服務(wù)也迅速為海內(nèi)外市場(chǎng)所認(rèn)可。

地利：高端制造業(yè)是沈陽(yáng)的優(yōu)勢(shì)產(chǎn)業(yè)。

沈陽(yáng)是我國(guó)重要的以裝備制造業(yè)為主的重工業(yè)基地，IC裝備產(chǎn)業(yè)綜合實(shí)力位列全國(guó)三甲。同時(shí)，沈陽(yáng)還是東北地區(qū)本科高等院校數(shù)量最多的城市。

富創(chuàng)精密創(chuàng)立之初，有著沈陽(yáng)集成電路產(chǎn)業(yè)園國(guó)家級(jí)孵化器的推動(dòng)，沈陽(yáng)豐厚的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)與人才儲(chǔ)備，也為公司深耕零部件這一新興產(chǎn)業(yè)提供了有力的支撐。

人和：富創(chuàng)精密搭上了業(yè)內(nèi)巨頭的順風(fēng)車。

這就要說(shuō)到富創(chuàng)精密與應(yīng)用材料的不解之緣了。一個(gè)初出茅廬的國(guó)產(chǎn)零部件廠商，是如何得到國(guó)際設(shè)備巨頭應(yīng)用材料的支持培養(yǎng)的呢？

產(chǎn)業(yè)鏈的“三體”局

1967年，應(yīng)用材料（AMAT）成立，專注于半導(dǎo)體設(shè)備制造，一路高歌猛進(jìn)。1972年在納斯達(dá)克上市，1992年成為世界上第一大的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)，并將這一頭銜保持至今。

要問(wèn)設(shè)備巨頭是怎樣煉成的，應(yīng)用材料的發(fā)展史會(huì)給出兩個(gè)答案：

一是緊跟市場(chǎng)，轉(zhuǎn)移產(chǎn)業(yè)。

20世紀(jì)70年代后，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)能中心開(kāi)始變化，由美國(guó)先后向亞太地區(qū)的日本、韓國(guó)及中國(guó)臺(tái)灣轉(zhuǎn)移。應(yīng)用材料在部署全球化戰(zhàn)略時(shí)，也先后在日韓和中國(guó)臺(tái)灣設(shè)立子公司或辦事處。

二是最大化集成產(chǎn)業(yè)鏈力量。

半導(dǎo)體行業(yè)的高技術(shù)門(mén)檻和研發(fā)投入，驅(qū)動(dòng)著產(chǎn)業(yè)整合成為巨頭們降低研發(fā)風(fēng)險(xiǎn)和產(chǎn)品成本的首選。

作為設(shè)備龍頭，應(yīng)用材料要向下游大量的晶圓廠交付產(chǎn)品。這么多的訂單，再大的公司也沒(méi)法獨(dú)立完成。

因此，應(yīng)用材料的設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈上，匯聚著成千上百家零部件廠商。應(yīng)用材料向通過(guò)其驗(yàn)證的零部件廠商采購(gòu)各種零部件，再進(jìn)行裝配整合，將完整的設(shè)備成品提供給晶圓廠。

占據(jù)了大部分市場(chǎng)份額后，為了保持業(yè)績(jī)高增長(zhǎng)，應(yīng)用材料從1997年開(kāi)始進(jìn)行大量的并購(gòu)活動(dòng)與合作整合，向外尋找新的支持力量。

時(shí)間來(lái)到2008年，那一年的金融危機(jī)引發(fā)了全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的大衰退，國(guó)際主流廠商大多陷入虧損，或裁員或減薪。

彼時(shí)，中國(guó)的電子產(chǎn)品制造商所消費(fèi)的半導(dǎo)體首次超過(guò)了全球產(chǎn)量的三分之一，半導(dǎo)體產(chǎn)能正在向中國(guó)轉(zhuǎn)移，大量的初創(chuàng)企業(yè)誕生，富創(chuàng)精密就是其中之一。

應(yīng)用材料便在這時(shí)開(kāi)始尋找可發(fā)展的中國(guó)設(shè)備零部件供應(yīng)商，以期降低自身的采購(gòu)成本，提高利潤(rùn)率。

富創(chuàng)精密就是抓住了這個(gè)窗口期，爭(zhēng)取到了與巨人同行的機(jī)會(huì)。

鄭廣文曾談到公司成立之初的“數(shù)一數(shù)二戰(zhàn)略”：剛開(kāi)始做小零件的公司，說(shuō)要成為世界數(shù)一數(shù)二的企業(yè)是笑談，所以富創(chuàng)精密只給世界上數(shù)一數(shù)二的企業(yè)做配套，與之一起成長(zhǎng)。

2011年，通過(guò)曾在應(yīng)用材料工作的海外專家引薦，富創(chuàng)精密接觸到了應(yīng)用材料并接受了考察，隨后被列入了應(yīng)用材料的重點(diǎn)培育供應(yīng)商名單。

在應(yīng)用材料的指導(dǎo)下，富創(chuàng)精密從技術(shù)門(mén)檻較低的結(jié)構(gòu)零部件做起，陸續(xù)完成更高級(jí)別的體系認(rèn)證、工藝認(rèn)證、產(chǎn)品認(rèn)證，隨后承接了工藝零部件的批量業(yè)務(wù)，又在近幾年將品類拓展到模組產(chǎn)品、氣體管路產(chǎn)品等。

有了貴人加持，富創(chuàng)精密的業(yè)務(wù)品類和質(zhì)量體系不斷累積完善，也有機(jī)會(huì)接觸到應(yīng)用材料更先進(jìn)的制程，如7納米、5納米等，這對(duì)于其技術(shù)研發(fā)起到了前瞻性的引領(lǐng)作用。

如今富創(chuàng)精密能夠量產(chǎn)應(yīng)用于7納米制程設(shè)備的精密零部件，離不開(kāi)應(yīng)用材料的培養(yǎng)。

富創(chuàng)精密與應(yīng)用材料的例子，只是半導(dǎo)體制造“三體”格局的冰山一角。

晶圓廠、設(shè)備廠與零部件廠，是半導(dǎo)體制造這一環(huán)節(jié)中的三個(gè)關(guān)鍵角色。

晶圓廠作為下游買(mǎi)方，要對(duì)設(shè)備進(jìn)行驗(yàn)證和篩選，其提供的訂單也驅(qū)動(dòng)著設(shè)備廠的生產(chǎn)銷售。

同理，設(shè)備廠也是零部件廠商的買(mǎi)方。當(dāng)前制造業(yè)全球化分工高度精細(xì)，大部分半導(dǎo)體設(shè)備廠商都會(huì)通過(guò)進(jìn)口零部件來(lái)完成產(chǎn)品的生產(chǎn)。

聽(tīng)上去是很簡(jiǎn)單的線性關(guān)系？

然而，如《三體Ⅰ》中寫(xiě)道，“三體是一個(gè)混沌系統(tǒng)，會(huì)將微小的擾動(dòng)無(wú)限放大”。在國(guó)際貿(mào)易地緣沖突之下，合作互惠、共同成長(zhǎng)的動(dòng)態(tài)平衡被打亂，整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)開(kāi)始出現(xiàn)垂直整合趨勢(shì)。

中美科技戰(zhàn)打響后，國(guó)內(nèi)晶圓廠采購(gòu)進(jìn)口設(shè)備受到了限制，再精妙的設(shè)計(jì)圖紙也是巧婦難為的無(wú)米之炊。

而另一邊，國(guó)內(nèi)的設(shè)備廠實(shí)力還不夠強(qiáng)大，尚在薄利多銷的成長(zhǎng)期。當(dāng)關(guān)鍵零部件被卡了脖子，一時(shí)間造出能用的設(shè)備都成了難題。

一方面是自身供應(yīng)鏈的穩(wěn)定性，一方面是產(chǎn)品銷售的利潤(rùn)空間，雙重因素的催化下，一些國(guó)內(nèi)設(shè)備廠開(kāi)始逐步培育國(guó)內(nèi)其他行業(yè)的加工商，或自己投身半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件加工，以期實(shí)現(xiàn)“零部件自由”。

為長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華虹集團(tuán)等晶圓廠供應(yīng)CMP設(shè)備的華海清科，是半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)替代的新星，也面臨著行業(yè)降本增效的痛點(diǎn)。由于核心零部件依賴進(jìn)口，公司生產(chǎn)成本居高不下，毛利率不到30％。

對(duì)此，華海清科披露，正在通過(guò)開(kāi)發(fā)第二供應(yīng)商及更換零部件選型等方式，獲得更高性價(jià)比的原材料。

無(wú)獨(dú)有偶，萬(wàn)業(yè)企業(yè)于2018年收購(gòu)凱世通，橫向切入半導(dǎo)體設(shè)備賽道，隨后便在2020年收購(gòu)Compart Systems，縱向拓展了零部件業(yè)務(wù)。

當(dāng)設(shè)備廠開(kāi)始通過(guò)并購(gòu)或自研供應(yīng)零部件時(shí)，其與零部件廠商的競(jìng)爭(zhēng)關(guān)系就產(chǎn)生了。晶圓廠作為設(shè)備的最終使用者，會(huì)在二者的零部件之間進(jìn)行驗(yàn)證選擇，零部件廠商就有了被替代的風(fēng)險(xiǎn)。

不甘于做設(shè)備廠的附庸，一些零部件廠商也不再局限于機(jī)械加工，開(kāi)始嘗試整合資源，提供整套設(shè)備服務(wù)。

在三體星系中，風(fēng)和日麗的“恒紀(jì)元”極其短暫，沖突與碰撞的“亂紀(jì)元”才是常態(tài)。晶圓廠的產(chǎn)能提升急需充足的合格設(shè)備，而設(shè)備廠與零部件廠商各自謀求攻占對(duì)方的領(lǐng)地，彼此相斥。

在混亂的產(chǎn)業(yè)格局下，國(guó)產(chǎn)零部件應(yīng)該如何求得生存與發(fā)展？

零部件的“狂飆”路

在《狂飆》中，高啟強(qiáng)上位初期經(jīng)常捧著《孫子兵法》看，其中一句話對(duì)他產(chǎn)生了很大影響：“歸師勿遏，圍師遺闕，窮寇勿迫?！?/p>

放到半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的語(yǔ)境中，這句話可以理解為，當(dāng)封鎖和制裁到了極端，就必然會(huì)遭到對(duì)方的反噬。

國(guó)產(chǎn)零部件，就是這樣被逼上了一條“狂飆”之路。

原因之一是零部件行業(yè)的內(nèi)生因素。

由于零部件細(xì)分品類的高度碎片化，且不同零部件之間存在著一定的差異性和技術(shù)壁壘，半導(dǎo)體設(shè)備零部件市場(chǎng)沒(méi)有出現(xiàn)一家獨(dú)大的局面，企業(yè)集中度不高。

因此，國(guó)內(nèi)零部件廠商呈現(xiàn)規(guī)模小、數(shù)量多、產(chǎn)品利潤(rùn)薄的窘境，細(xì)分領(lǐng)域的新產(chǎn)品新技術(shù)的研發(fā)投入無(wú)法與海外龍頭相比。

二是中美科技戰(zhàn)的外在因素。

目前國(guó)產(chǎn)設(shè)備大多先采用技術(shù)成熟的進(jìn)口零部件，再逐步用設(shè)備、打磨設(shè)備，替換上低成本的國(guó)產(chǎn)零部件。

在這個(gè)打磨的過(guò)程中，技術(shù)隊(duì)伍需要不斷修改設(shè)計(jì)和參數(shù)，深入研究原理性問(wèn)題，從而擺脫外協(xié)，提高對(duì)核心部件工藝的理解和改造能力。

現(xiàn)階段國(guó)內(nèi)設(shè)計(jì)人才稀缺與工藝水平有限，決定了這是一個(gè)漫長(zhǎng)又痛苦的過(guò)程。

而科技戰(zhàn)已經(jīng)到了深水區(qū)，卡脖子的手伸向了光刻機(jī)等半導(dǎo)體設(shè)備，先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)、高端領(lǐng)域的核心零部件技術(shù)都掌握在海外巨頭的手中，一些生產(chǎn)線上的高端數(shù)控機(jī)床等仍依賴進(jìn)口。

國(guó)內(nèi)零部件廠商本身不具備規(guī)模效應(yīng)，一旦遭到限供或斷供，現(xiàn)有產(chǎn)品的擴(kuò)產(chǎn)將陷入停滯，更難有余力去拓展新領(lǐng)域。

那么，被逼到絕境的國(guó)產(chǎn)零部件，怎樣才能絕地反擊？

首先，單靠市場(chǎng)力量是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的。國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體零部件企業(yè)要獲得足以與國(guó)際廠商競(jìng)爭(zhēng)的研發(fā)和量產(chǎn)實(shí)力，必定需要政府實(shí)施相關(guān)專項(xiàng)政策加以引導(dǎo)和財(cái)政扶持，幫助其迅速壯大。

同時(shí)，產(chǎn)業(yè)鏈的整頓與團(tuán)結(jié)是繞不過(guò)的坎。

國(guó)內(nèi)晶圓廠需要積極為國(guó)產(chǎn)設(shè)備和核心零部件提供試錯(cuò)機(jī)會(huì)，才能盡快找出不足，加以改進(jìn)。

在這方面，國(guó)家可以出資，幫助晶圓廠在生產(chǎn)線之外單獨(dú)建立實(shí)驗(yàn)線，全力攻關(guān)國(guó)產(chǎn)設(shè)備，加速核心零部件工藝的改良完善與迭代升級(jí)。

此外，集中力量辦大事向來(lái)是我國(guó)面對(duì)危機(jī)的優(yōu)勢(shì)。對(duì)于產(chǎn)業(yè)鏈中垂直整合的趨勢(shì)，需要加以規(guī)范和適當(dāng)引導(dǎo)：一方面發(fā)揮設(shè)備廠的串聯(lián)作用，主動(dòng)推進(jìn)優(yōu)質(zhì)零部件廠商的認(rèn)證，為其進(jìn)入晶圓線打開(kāi)通路；另一方面要鼓勵(lì)零部件廠商拓展業(yè)務(wù)品類，保障本土設(shè)備供應(yīng)鏈。

在設(shè)備整機(jī)已經(jīng)嚴(yán)重依賴西方的局勢(shì)下，零部件的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程將很大程度上決定未來(lái)我國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)能。

以小撬大，需要背水一戰(zhàn)的決心，和傾盡全力的苦干。

硝煙四起，國(guó)產(chǎn)零部件已經(jīng)沒(méi)有退后余地，唯有一路狂飆，才能突破重圍，求得生存和發(fā)展。

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