Entegris中國(guó)技術(shù)中心的落成運(yùn)營(yíng)進(jìn)一步提升了公司的在華技術(shù)能力，其四大實(shí)驗(yàn)室所提供的專業(yè)技能是打造半導(dǎo)體制造生態(tài)圈的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。根據(jù)半導(dǎo)體協(xié)會(huì)提供的數(shù)據(jù)，未來(lái)10到20年，中國(guó)將成為半導(dǎo)體材料增長(zhǎng)最快的地區(qū)，這也為半導(dǎo)體生產(chǎn)方面帶來(lái)了很大的投資機(jī)遇與進(jìn)展。

作為特種化學(xué)品與先進(jìn)材料解決方案供應(yīng)商，Entegris在中國(guó)市場(chǎng)也有了新的動(dòng)作。

從左至右依次是：Entegris中國(guó)技術(shù)中心技術(shù)總監(jiān)江平、Entegris副首席技術(shù)長(zhǎng) Montray Leavy、Entegris高級(jí)副總裁及首席技術(shù)官Jim O’Neill、Entegris執(zhí)行副總裁及首席運(yùn)營(yíng)官Todd Edlund、Entegris執(zhí)行副總裁及首席財(cái)務(wù)官Greg Graves、Entegris高級(jí)副總裁及首席商務(wù)官M(fèi)ichael Besnard、Entegris中國(guó)總經(jīng)理張凱翔、Entegris市場(chǎng)戰(zhàn)略副總裁楊文革

11月13日，Entegris中國(guó)技術(shù)中心在上海張江舉行了慶典活動(dòng)，該技術(shù)中心配備了四大實(shí)驗(yàn)室：微污染控制應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室、先進(jìn)材料處理應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室、表面處理和集成應(yīng)用（SPI）實(shí)驗(yàn)室、分析和計(jì)量實(shí)驗(yàn)室，可解決半導(dǎo)體制造生態(tài)系統(tǒng)中客戶面臨的各種問(wèn)題，并提供廣泛的分析和技術(shù)支持。

據(jù)Entegris執(zhí)行副總裁及首席運(yùn)營(yíng)官Todd Edlund介紹，Entegris主要有三個(gè)業(yè)務(wù)板塊：第一個(gè)業(yè)務(wù)板塊是特種化學(xué)品和工程材料，主要是跟與沉積以及清潔業(yè)務(wù)有關(guān)，氣體生產(chǎn)也是這個(gè)業(yè)務(wù)板塊中重要的一部分；第二個(gè)業(yè)務(wù)板塊是微污染控制，微污染控制主要是生產(chǎn)應(yīng)用于液體和氣體的凈化器和過(guò)濾器；第三個(gè)業(yè)務(wù)板塊是先進(jìn)材料的處理，包括晶片等。

在2018年，Entegris的營(yíng)業(yè)額已達(dá)到16億美金，其中8%投入了研發(fā)，大約有80%的營(yíng)收來(lái)自于半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)，20%是半導(dǎo)體以外的領(lǐng)域，例如數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、平板顯示等，不過(guò)Todd Edlund表示這個(gè)比率是在持續(xù)變化中的。

近日，Entegris完成了在對(duì)杭州安諾的收購(gòu)，這是Entegris在中國(guó)市場(chǎng)最大的一筆收購(gòu)，員工團(tuán)隊(duì)已增長(zhǎng)至接近5000人。收購(gòu)安諾提升了Entegris在過(guò)濾器生產(chǎn)方面的能力，使其可在微電子、生物醫(yī)療、環(huán)保廢處理領(lǐng)域提供更高品質(zhì)的服務(wù)。此外，Entegris與湖北晶星、博純材料在TEOS、氣體領(lǐng)域也一直保持著緊密的合作關(guān)系。

對(duì)于半導(dǎo)體材料來(lái)說(shuō)，污染與缺陷的控制一直是備受關(guān)注的領(lǐng)域。

在媒體會(huì)上，Todd Edlund提到：“隨著28納米工藝降到今天的7納米，我們對(duì)材料中的金屬雜質(zhì)的容忍度已經(jīng)下降了1000倍，其中對(duì)于晶圓殺手顆粒的尺寸也縮小了將近4倍，這也給Entegris帶來(lái)了巨大的機(jī)會(huì)?！?/p>

Entegris中國(guó)總經(jīng)理張凱翔先生表示，Entegris在材料供應(yīng)上的專長(zhǎng)就是生產(chǎn)潔凈的產(chǎn)品。半導(dǎo)體生產(chǎn)中最怕的就是一些污染源，無(wú)論是顆粒污染還是金屬污染，所以原物料供應(yīng)商產(chǎn)品的潔凈度很重要。

Entegris又是如何有效控制污染與缺陷，改善產(chǎn)品良率？

根據(jù)Entegris中國(guó)技術(shù)中心技術(shù)總監(jiān)江平女士的分享，Entegris中國(guó)技術(shù)中心所配備的四個(gè)實(shí)驗(yàn)室可提供一系列本地化的綜合性服務(wù)。

微污染控制應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室主要是檢測(cè)過(guò)濾器的性能，診斷在過(guò)濾器應(yīng)用中，客戶端在生產(chǎn)過(guò)程可能出現(xiàn)的問(wèn)題或者潛在風(fēng)險(xiǎn)。先進(jìn)材料處理應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室位于無(wú)塵等級(jí)1000的潔凈室里，它可以提供包括光阻泵、管閥件以及傳感器等各種流體輸送材料的潔凈度和功能的檢測(cè)。表面處理和集成應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室主要用于先進(jìn)制程中晶圓的清洗產(chǎn)品應(yīng)用和功能測(cè)試。分析和計(jì)量實(shí)驗(yàn)室則是主要服務(wù)于以上三個(gè)應(yīng)用的實(shí)驗(yàn)室，它配備了業(yè)界先進(jìn)的量測(cè)設(shè)備，著重于高純化學(xué)品先進(jìn)材料和各種過(guò)濾膜的理化性能的分析表征，以協(xié)助客戶在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中有效地控制污染，改善良率。

在兩三年前，Entegris就已經(jīng)開(kāi)始制定本地化的策略。如今中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)已足夠成熟且具備了相應(yīng)的能力，這也使得Entegris下定決心將技術(shù)中心帶到了中國(guó)。

Todd Edlund提到：“在沒(méi)有建立中國(guó)技術(shù)中心之前，如果我們想對(duì)化學(xué)品、過(guò)濾器進(jìn)行測(cè)試，就需要將這些東西拿到國(guó)外的技術(shù)中心，等出了結(jié)果之后再帶回給中國(guó)客戶。這往往需要耗費(fèi)幾周的時(shí)間。但是現(xiàn)在隨著中國(guó)上海技術(shù)中心的建立，這項(xiàng)工作的完成時(shí)間可以用天來(lái)計(jì)算，而不像過(guò)去要用周來(lái)計(jì)算?！?/p>

在問(wèn)及為何將技術(shù)中心落戶上海時(shí)，Todd Edlund認(rèn)為，上海地區(qū)的客戶數(shù)量，包括有決策能力的客戶數(shù)量和客戶部署工程的能力都是最強(qiáng)的。張凱翔補(bǔ)充：“另一個(gè)重要原因是人才，上海是中國(guó)最先開(kāi)始做半導(dǎo)體的地方。此外，Entegris也跟上海復(fù)旦大學(xué)、同濟(jì)大學(xué)有一些合作的項(xiàng)目，也是基于人才的培養(yǎng)?！?/p>

在今后的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)，污染物控制以及計(jì)量等領(lǐng)域?qū)?huì)對(duì)供應(yīng)商提出更高的要求。江平女士在媒體會(huì)上提到這樣一句話：“預(yù)測(cè)未來(lái)最好的方法就是創(chuàng)造它。”Entegris也將持續(xù)關(guān)注行業(yè)發(fā)展需求，并進(jìn)一步擴(kuò)大在華實(shí)驗(yàn)室規(guī)模，創(chuàng)造具有更多可能性的未來(lái)。

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