Entegris中國技術(shù)中心的落成運營進(jìn)一步提升了公司的在華技術(shù)能力,其四大實驗室所提供的專業(yè)技能是打造半導(dǎo)體制造生態(tài)圈的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。根據(jù)半導(dǎo)體協(xié)會提供的數(shù)據(jù),未來10到20年,中國將成為半導(dǎo)體材料增長最快的地區(qū),這也為半導(dǎo)體生產(chǎn)方面帶來了很大的投資機遇與進(jìn)展。
作為特種化學(xué)品與先進(jìn)材料解決方案供應(yīng)商,Entegris在中國市場也有了新的動作。
從左至右依次是:Entegris中國技術(shù)中心技術(shù)總監(jiān)江平、Entegris副首席技術(shù)長 Montray Leavy、Entegris高級副總裁及首席技術(shù)官Jim O’Neill、Entegris執(zhí)行副總裁及首席運營官Todd Edlund、Entegris執(zhí)行副總裁及首席財務(wù)官Greg Graves、Entegris高級副總裁及首席商務(wù)官Michael Besnard、Entegris中國總經(jīng)理張凱翔、Entegris市場戰(zhàn)略副總裁楊文革
11月13日,Entegris中國技術(shù)中心在上海張江舉行了慶典活動,該技術(shù)中心配備了四大實驗室:微污染控制應(yīng)用實驗室、先進(jìn)材料處理應(yīng)用實驗室、表面處理和集成應(yīng)用(SPI)實驗室、分析和計量實驗室,可解決半導(dǎo)體制造生態(tài)系統(tǒng)中客戶面臨的各種問題,并提供廣泛的分析和技術(shù)支持。
據(jù)Entegris執(zhí)行副總裁及首席運營官Todd Edlund介紹,Entegris主要有三個業(yè)務(wù)板塊:第一個業(yè)務(wù)板塊是特種化學(xué)品和工程材料,主要是跟與沉積以及清潔業(yè)務(wù)有關(guān),氣體生產(chǎn)也是這個業(yè)務(wù)板塊中重要的一部分;第二個業(yè)務(wù)板塊是微污染控制,微污染控制主要是生產(chǎn)應(yīng)用于液體和氣體的凈化器和過濾器;第三個業(yè)務(wù)板塊是先進(jìn)材料的處理,包括晶片等。
在2018年,Entegris的營業(yè)額已達(dá)到16億美金,其中8%投入了研發(fā),大約有80%的營收來自于半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān),20%是半導(dǎo)體以外的領(lǐng)域,例如數(shù)據(jù)存儲、平板顯示等,不過Todd Edlund表示這個比率是在持續(xù)變化中的。
近日,Entegris完成了在對杭州安諾的收購,這是Entegris在中國市場最大的一筆收購,員工團隊已增長至接近5000人。收購安諾提升了Entegris在過濾器生產(chǎn)方面的能力,使其可在微電子、生物醫(yī)療、環(huán)保廢處理領(lǐng)域提供更高品質(zhì)的服務(wù)。此外,Entegris與湖北晶星、博純材料在TEOS、氣體領(lǐng)域也一直保持著緊密的合作關(guān)系。
對于半導(dǎo)體材料來說,污染與缺陷的控制一直是備受關(guān)注的領(lǐng)域。
在媒體會上,Todd Edlund提到:“隨著28納米工藝降到今天的7納米,我們對材料中的金屬雜質(zhì)的容忍度已經(jīng)下降了1000倍,其中對于晶圓殺手顆粒的尺寸也縮小了將近4倍,這也給Entegris帶來了巨大的機會?!?/p>
Entegris中國總經(jīng)理張凱翔先生表示,Entegris在材料供應(yīng)上的專長就是生產(chǎn)潔凈的產(chǎn)品。半導(dǎo)體生產(chǎn)中最怕的就是一些污染源,無論是顆粒污染還是金屬污染,所以原物料供應(yīng)商產(chǎn)品的潔凈度很重要。
Entegris又是如何有效控制污染與缺陷,改善產(chǎn)品良率?
根據(jù)Entegris中國技術(shù)中心技術(shù)總監(jiān)江平女士的分享,Entegris中國技術(shù)中心所配備的四個實驗室可提供一系列本地化的綜合性服務(wù)。
微污染控制應(yīng)用實驗室主要是檢測過濾器的性能,診斷在過濾器應(yīng)用中,客戶端在生產(chǎn)過程可能出現(xiàn)的問題或者潛在風(fēng)險。先進(jìn)材料處理應(yīng)用實驗室位于無塵等級1000的潔凈室里,它可以提供包括光阻泵、管閥件以及傳感器等各種流體輸送材料的潔凈度和功能的檢測。表面處理和集成應(yīng)用實驗室主要用于先進(jìn)制程中晶圓的清洗產(chǎn)品應(yīng)用和功能測試。分析和計量實驗室則是主要服務(wù)于以上三個應(yīng)用的實驗室,它配備了業(yè)界先進(jìn)的量測設(shè)備,著重于高純化學(xué)品先進(jìn)材料和各種過濾膜的理化性能的分析表征,以協(xié)助客戶在實際生產(chǎn)過程中有效地控制污染,改善良率。
在兩三年前,Entegris就已經(jīng)開始制定本地化的策略。如今中國半導(dǎo)體行業(yè)已足夠成熟且具備了相應(yīng)的能力,這也使得Entegris下定決心將技術(shù)中心帶到了中國。
Todd Edlund提到:“在沒有建立中國技術(shù)中心之前,如果我們想對化學(xué)品、過濾器進(jìn)行測試,就需要將這些東西拿到國外的技術(shù)中心,等出了結(jié)果之后再帶回給中國客戶。這往往需要耗費幾周的時間。但是現(xiàn)在隨著中國上海技術(shù)中心的建立,這項工作的完成時間可以用天來計算,而不像過去要用周來計算?!?/p>
在問及為何將技術(shù)中心落戶上海時,Todd Edlund認(rèn)為,上海地區(qū)的客戶數(shù)量,包括有決策能力的客戶數(shù)量和客戶部署工程的能力都是最強的。張凱翔補充:“另一個重要原因是人才,上海是中國最先開始做半導(dǎo)體的地方。此外,Entegris也跟上海復(fù)旦大學(xué)、同濟大學(xué)有一些合作的項目,也是基于人才的培養(yǎng)?!?/p>
在今后的國內(nèi)市場,污染物控制以及計量等領(lǐng)域?qū)?yīng)商提出更高的要求。江平女士在媒體會上提到這樣一句話:“預(yù)測未來最好的方法就是創(chuàng)造它?!盓ntegris也將持續(xù)關(guān)注行業(yè)發(fā)展需求,并進(jìn)一步擴大在華實驗室規(guī)模,創(chuàng)造具有更多可能性的未來。
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