5月20日傍晚，剛下飛機(jī)的拜登，直奔首爾附近的一家三星電子半導(dǎo)體工廠。并在韓國(guó)總統(tǒng)尹錫悅和三星電子副會(huì)長(zhǎng)李在镕陪同下視察參觀。

　　對(duì)半導(dǎo)體引以為傲的韓國(guó)人，此次卻顯得不太上心：不論是兩國(guó)總統(tǒng)還是三星會(huì)長(zhǎng)，都沒(méi)有在要求無(wú)塵的芯片生產(chǎn)線里配備防塵服。作為對(duì)比，引導(dǎo)參觀的工程師倒是設(shè)備齊全。這不由得讓人懷疑，雙方對(duì)“技術(shù)同盟”的關(guān)注，只停留在了紙面上。

　　拜登走后，韓國(guó)半導(dǎo)體的“潔癖”又回來(lái)了：據(jù)《韓國(guó)商報(bào)》報(bào)道，5月25日，韓國(guó)水原地方檢察廳宣布，由于技術(shù)泄密，包括三星旗下半導(dǎo)體設(shè)備廠商SEMES員工在內(nèi)的7人被移交法院?！凹夹g(shù)外流”的帽子，被扣到了中國(guó)人的頭上。

　　面對(duì)韓方的咄咄逼人，中國(guó)企業(yè)顯然有著自己的節(jié)奏。

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　　驢唇不對(duì)馬嘴的指控

　　根據(jù)韓方的說(shuō)法，中國(guó)人看上了先進(jìn)的半導(dǎo)體清洗技術(shù)。

　　水原檢察廳辦公室人員表示，涉及商業(yè)泄密的7人，竊取的是三星電子子公司SEMES從2018年3月到2021年底開(kāi)發(fā)的超臨界清洗設(shè)備制造技術(shù)。在兩名前SEMES技術(shù)人員的幫助下，他們制造了14臺(tái)半導(dǎo)體清洗機(jī)，并且在中國(guó)獲利710億韓元（合3.763億人民幣）。

　　這里提到的SEMES，成立于1993年，是韓國(guó)最大的預(yù)處理半導(dǎo)體設(shè)備制造商。清潔、蝕刻、攝影、測(cè)試和封裝等芯片制造過(guò)程，SEMES可謂無(wú)所不包。由于三星控股SEMES比例超90%，該公司已經(jīng)成為三星重點(diǎn)扶持的半導(dǎo)體設(shè)備廠商。SEMES生產(chǎn)的蝕刻設(shè)備，也在三星的開(kāi)V-NAND閃存工廠中開(kāi)始使用。

　　技術(shù)盜竊案的核心，是SEMES前員工A某。他曾在該公司擔(dān)任研究員超過(guò)10年，因此迎來(lái)了中國(guó)企業(yè)的投資。從SEMES離職后，他并沒(méi)有向公司歸還技術(shù)數(shù)據(jù)，而是從合作方拿到技術(shù)指標(biāo)，設(shè)計(jì)圖紙，藥品渠道和軟件程序等關(guān)鍵信息后，自制半導(dǎo)體清洗設(shè)備出售給中國(guó)企業(yè)。

　　從這個(gè)角度看，SEMES的技術(shù)泄密，更像是離職員工的糊涂賬。但是韓國(guó)媒體卻樂(lè)于在復(fù)雜的案件中，尋找“中方得利”的線索。韓國(guó)KBS電視臺(tái)就在5月26日的報(bào)道中表示，A某的利益相關(guān)方包括“中國(guó)國(guó)營(yíng)半導(dǎo)體研究機(jī)構(gòu)”ICRD，即上海集成電路研發(fā)中心有限公司。

　　不過(guò)從主營(yíng)業(yè)務(wù)看，ICRD的關(guān)系跟清洗機(jī)關(guān)系不大。從企業(yè)介紹看，ICRD提供的主要是前期研發(fā)，技術(shù)驗(yàn)證和工藝配套工作，不涉及設(shè)備制造。應(yīng)用設(shè)備技術(shù)為CMOS圖像傳感器，高壓功率器件和智能視覺(jué)，同樣不涉及設(shè)備制造。ICRD與竊密組織的關(guān)系，可能只停于設(shè)備采購(gòu)。

　　令人意外的是，這股邪火居然燒到了其他中國(guó)企業(yè)。6月1日，針對(duì)“SEMES泄密案”，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體清洗設(shè)備廠商盛美上海作出回應(yīng)：盛美上海及控股子公司與該事件完全無(wú)關(guān)。

　　為了澄清謠言，盛美還特意強(qiáng)調(diào)了自己的業(yè)務(wù)，“盛美在業(yè)界首創(chuàng)的SAPS兆聲波單片清洗技術(shù)榮獲2020年上海市科學(xué)進(jìn)步一等獎(jiǎng)?！盨EMES涉及的半導(dǎo)體設(shè)備，則是超臨界二氧化碳清洗技術(shù)，兩者技術(shù)路線完全不同，盛美上海自然毫無(wú)瓜葛。

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　　半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的敲門磚

　　如果跳出“竊密丑聞”，僅從半導(dǎo)體清洗設(shè)備領(lǐng)域觀察，盛美半導(dǎo)體正在針對(duì)半導(dǎo)體領(lǐng)域的核心市場(chǎng)展開(kāi)滲透。

　　理論上說(shuō)，半導(dǎo)體制造設(shè)備按技術(shù)流程分為光刻機(jī)，過(guò)程檢測(cè)、薄膜沉積、離子注入、清洗、氧化退火等設(shè)備。其中清洗設(shè)備價(jià)值僅占5%左右，并且技術(shù)壁壘較低。不過(guò)由于芯片制造需要高效的清潔工序，這一領(lǐng)域一直是半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的敲門磚。除了盛美之外，北方華創(chuàng)、至純科技等企業(yè)都有參與。

　　盛美半導(dǎo)體進(jìn)入清洗設(shè)備行業(yè)，也離不開(kāi)行業(yè)的歷史契機(jī)：2005年，全球半導(dǎo)體產(chǎn)線向國(guó)內(nèi)轉(zhuǎn)移，半導(dǎo)體設(shè)備需求增加，還在海外的ACMR，以“盛美半導(dǎo)體”為名，作為重點(diǎn)企業(yè)被引進(jìn)上海。

　　經(jīng)過(guò)3年的研發(fā)后，盛美開(kāi)發(fā)SAPS（空間交變相移兆聲波清洗）技術(shù)。這套新技術(shù)制造的設(shè)備，很快就得到了存儲(chǔ)巨頭海力士的關(guān)注。2009年，海力士引入盛美的清洗設(shè)備，并啟動(dòng)了長(zhǎng)達(dá)兩年的產(chǎn)品驗(yàn)證。連續(xù)兩年沒(méi)有訂單帶來(lái)的營(yíng)收，也給盛美帶來(lái)了巨大的壓力。

　　好消息是，經(jīng)過(guò)兩年的測(cè)試后，盛美半導(dǎo)體的設(shè)備幫助海力士提高了1.5%的良率，并在2013年迎來(lái)了客戶的復(fù)購(gòu)。以存儲(chǔ)芯片訂單為基礎(chǔ)，盛美半導(dǎo)體又贏得了長(zhǎng)江存儲(chǔ)中芯國(guó)際及華虹集團(tuán)的產(chǎn)品訂單。這幾家公司作為大客戶，構(gòu)成了盛美超過(guò)80%的訂單。

　　隨著中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)能的增長(zhǎng)，國(guó)產(chǎn)企業(yè)開(kāi)始在清洗設(shè)備等外部領(lǐng)域逐步搶回話語(yǔ)權(quán)。2019中國(guó)半導(dǎo)體清洗設(shè)備招標(biāo)采購(gòu)份額中，盛美半導(dǎo)體占比20.5%，已經(jīng)和國(guó)外巨頭泛林半導(dǎo)體看齊。從毛利率來(lái)看，其單片清洗設(shè)備毛利率約45%，也能保障企業(yè)的生存。

　　但是長(zhǎng)期來(lái)看，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體清洗設(shè)備參與企業(yè)較多，盛美為了緩解可能的競(jìng)爭(zhēng)壓力，正在開(kāi)發(fā)濕法刻蝕設(shè)備、無(wú)應(yīng)力拋光設(shè)備等領(lǐng)域。同樣參與清洗設(shè)備競(jìng)爭(zhēng)的北方華創(chuàng)和芯源微，也加入到了刻蝕設(shè)備和涂膠顯影設(shè)備等領(lǐng)域。

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　　半導(dǎo)體設(shè)備不止“刷盤子”

　　對(duì)于中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)而言，搶到清洗設(shè)備這樣的“刷盤子”市場(chǎng)很賺錢，但這還不夠。

　　對(duì)于這一點(diǎn)，日本清洗設(shè)備巨頭迪恩士深有感觸。作為世界第一臺(tái)旋轉(zhuǎn)晶片清洗系統(tǒng)的研發(fā)者，迪恩士在2016年就占據(jù)了半導(dǎo)體清洗設(shè)備53%的市場(chǎng)。但是隨著中國(guó)企業(yè)的入場(chǎng)，這一數(shù)字已經(jīng)下降到了45%，盛美上海和北方華創(chuàng)等企業(yè)，在未來(lái)也會(huì)面臨同樣的壓力。

　　從市場(chǎng)轉(zhuǎn)型來(lái)看，迪恩士曾經(jīng)考慮過(guò)刻蝕設(shè)備的業(yè)務(wù)，但這些業(yè)務(wù)卻并沒(méi)有為公司改善營(yíng)收結(jié)構(gòu)。迪恩士2022年H1財(cái)報(bào)指出，公司總營(yíng)收的95%來(lái)自清洗設(shè)備，其中單品清洗機(jī)占比高達(dá)70%，嚴(yán)重依賴SU-3200這款產(chǎn)品。

　　與迪恩士相比，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商同樣面臨嚴(yán)重的馬太效應(yīng)。但是目前除光刻機(jī)以外，其余流程設(shè)備都在加速滲透。

　　去膠設(shè)備方面，屹唐半導(dǎo)體已經(jīng)依靠干法去膠設(shè)備拿下了超過(guò)30%的全球市場(chǎng)份額。熱處理設(shè)備領(lǐng)域，屹唐也憑借著0.1%的市場(chǎng)份額在2020年排名全球前十。CMP領(lǐng)域，中電科45所和華海清科都拿下了國(guó)內(nèi)訂單，后續(xù)替代也逐步提上日程。

　　截至目前，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備攻關(guān)的細(xì)分領(lǐng)域?yàn)殡x子注入設(shè)備，刻蝕設(shè)備和薄膜沉積設(shè)備。涂膠顯影設(shè)備領(lǐng)域，芯源微目前也在嘗試小規(guī)模替代?？紤]到這些領(lǐng)域的壓力，包括屹唐、芯源微在內(nèi)的企業(yè)，正在通過(guò)清洗和CMP等低門檻領(lǐng)域進(jìn)行業(yè)務(wù)多樣化，用優(yōu)勢(shì)項(xiàng)目的營(yíng)收推動(dòng)關(guān)鍵領(lǐng)域的技術(shù)攻關(guān)。

　　面向未來(lái)，國(guó)產(chǎn)設(shè)備的替代目標(biāo)，可能是二手芯片設(shè)備。《華爾街日?qǐng)?bào)》去年年底的一篇專題報(bào)道指出，為了滿足原有的生產(chǎn)周期，二手設(shè)備價(jià)格水漲船高，已經(jīng)超出了原有的價(jià)值。僅以1995年生產(chǎn)的佳能FPA3000i4，這款設(shè)備2014年的報(bào)價(jià)僅為10萬(wàn)美元，2021年則是170萬(wàn)美元。

　　依照傳統(tǒng)的行業(yè)規(guī)律，成熟制程芯片廠商為了對(duì)抗成本壓力，會(huì)選擇二手設(shè)備。二手半導(dǎo)體設(shè)備廠商Surplus Global首席執(zhí)行官 Bruce Kim曾表述，公司在過(guò)去20年中回收了40000套設(shè)備。但是由于二手設(shè)備需求的持續(xù)上漲，這些設(shè)備的交付也可能出現(xiàn)問(wèn)題。與全新設(shè)備和二手設(shè)備相比，國(guó)產(chǎn)設(shè)備在交付上會(huì)有更加明顯的優(yōu)勢(shì)。

　　深入核心的路很難，但是中國(guó)半導(dǎo)體從未停下腳步。

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