半導體設備受益國產(chǎn)替代，近幾年正迎來快速成長期，一方面源自中國大陸晶圓廠的快速擴產(chǎn)和份額增長，蛋糕正在變大。另一方面成長源自設備廠商的國產(chǎn)替代，設備國產(chǎn)化率有望迅速提升。

　　體現(xiàn)到微觀層面上，短期本土半導體設備企業(yè)已經(jīng)進入業(yè)績兌現(xiàn)期：中微公司和北方華創(chuàng)率先發(fā)布中報業(yè)績預告，均超出市場預期，股價大漲。未來晶圓產(chǎn)能東移&國產(chǎn)替代邏輯長期存在，行業(yè)需求景氣度有望長期延續(xù)。

　　 一、行業(yè)格局仍是歐美主導

　　2021年全球半導體設備市場規(guī)模首破千億美元，中國大陸占約29%，達到全球第一，下游擴產(chǎn)持續(xù)拉動設備需求。

　　數(shù)據(jù)來源：中信證券

　　從行業(yè)格局來看，美日歐廠商在半導體設備領域具備傳統(tǒng)優(yōu)勢，占據(jù)半導體設備全球前15名席位。據(jù)測算，2021年中國大陸廠商營收體量在全球市場占比僅約2.5%。

　　數(shù)據(jù)來源：中信證券

　　二、設備各領域國產(chǎn)化率如何？

　　中信證券基于三座晶圓廠招投標數(shù)據(jù)，對2016-2022年累計采購設備的各細分市場格局進行了梳理，部分領域國產(chǎn)化率可達到20%以上，部分國產(chǎn)化率尚低。

　　（1）去膠：國產(chǎn)化率約74%(測算，下同)，屹唐股份、盛美上海等位于國內(nèi)前列；

　?。?）清洗設備：國產(chǎn)化率約38%，盛美上海設備中標數(shù)量僅次于日本迪恩士，至純科技、北方華創(chuàng)、芯源微等亦為國產(chǎn)替代主力，各家產(chǎn)品類型有所區(qū)別；

　　（3）氧化擴散/熱處理設備：國產(chǎn)化率約28%，北方華創(chuàng)、屹唐股份、盛美上海中標設備數(shù)量靠前；

　　（4）刻蝕設備：國產(chǎn)化率約22%，中微公司、北方華創(chuàng)、屹唐股份分列國內(nèi)前三；

　　（5）化學機械拋光：國產(chǎn)化率約23%，華海清科為國內(nèi)細分龍頭；

　　（6）薄膜沉積：國產(chǎn)化率約5.7%，拓荊科技、北方華創(chuàng)、盛美上海中標設備數(shù)量靠前；

　　（7）過程控制：國產(chǎn)化率約3.6%，中科飛測、精測半導體、睿勵科學儀器國內(nèi)領先；

　?。?）離子注入：國產(chǎn)化率約3.1%，爍科中科信是為數(shù)不多獲得采購的國產(chǎn)廠商，凱世通半導體亦為國產(chǎn)化主力；

　　（9）光刻機：國產(chǎn)化率約1.1%，基本由荷蘭廠商阿斯麥壟斷，國內(nèi)上海微電子實現(xiàn)零突破；

　　（10）涂膠顯影：國產(chǎn)化率約1%，日本東京電子領先，國內(nèi)芯源微實現(xiàn)零突破。

　　總體而言，國內(nèi)設備廠商在設備品類、工藝覆蓋率方面仍存在較大提升空間，美國制裁中國廠商事件已經(jīng)激發(fā)國內(nèi)廠商的供應鏈安全意識，國內(nèi)晶圓廠有望加快供應鏈本土化，我們預計國產(chǎn)設備廠商接下來1~2年有望受益國產(chǎn)設備份額的階躍式提升。

　    三、相關標的

　　中信證券認為，產(chǎn)能擴張+國產(chǎn)替代積極推進，看好未來1~2年半導體設備行業(yè)發(fā)展。建議優(yōu)先選擇賽道空間大、產(chǎn)品布局全面、技術實力較強的龍頭設備廠商，以及份額尚低、受益國產(chǎn)替代有望快速成長的細分賽道成長型企業(yè)。

　?。?）晶圓廠工藝設備：北方華創(chuàng)、中微公司、盛美上海，建議關注屹唐股份、拓荊科技、華海清科、芯源微、至純科技、精測電子等。

　?。?）測試設備/封裝設備：華峰測控，建議關注長川科技、光力科技等。

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