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入門:MEMS壓力傳感器該如何選型?智芯傳感告訴您(一)

2022-08-26
來(lái)源:智芯傳感
關(guān)鍵詞: MEMS傳感器 壓力傳感器

  近期,新加坡的產(chǎn)品研究和咨詢公司Twimbit公布了一份調(diào)研報(bào)告,預(yù)測(cè)和分析了2020-2023年,全球市場(chǎng)中15種市場(chǎng)規(guī)模最大的傳感器,這些傳感器是從上百種主要傳感器類別中篩選出來(lái)的。這15種傳感器合計(jì)占2020年全球總份額的79.88%,如下圖:

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  在15種市場(chǎng)規(guī)模最大的傳感器中,壓力傳感器排名第六,2020年的全球市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到91.69億美元,到2023年預(yù)計(jì)增加到110億美元銷售額,復(fù)合年增長(zhǎng)率為6.3%。壓力傳感器用途極其廣泛,有多個(gè)應(yīng)用場(chǎng)景,如工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、消費(fèi)電子、汽車、生物醫(yī)學(xué)、航空航天、天然氣、化工、礦業(yè)、電力、樓宇自動(dòng)化、暖通空調(diào)、食品加工、制藥、醫(yī)療保健、環(huán)境監(jiān)測(cè)等等。

  那么,面對(duì)種類繁雜、型號(hào)眾多的壓力傳感器,我們應(yīng)該如何選擇一款合適的傳感器呢?這就涉及到了傳感器的選用原則,即以最合適的價(jià)格選擇滿足其用途、壓力量程、精度需求、溫度范圍、電學(xué)要求、作業(yè)方式、壓力密封要求等指標(biāo)的壓力傳感器,當(dāng)壓力傳感器安裝到設(shè)備上之后,要運(yùn)行正常穩(wěn)定,測(cè)量準(zhǔn)確,經(jīng)久耐用。我們將分兩個(gè)章節(jié)來(lái)介紹壓力傳感器選型必須考慮的重要方面。

  壓力傳感器又分為傳統(tǒng)壓力傳感器與MEMS壓力傳感器,在實(shí)際應(yīng)用中,MEMS壓力傳感器以其體積小、精度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)逐漸替換了傳統(tǒng)壓力傳感器。因此本文主要針對(duì)MEMS壓力傳感器進(jìn)行介紹。

  用途方面的考量

  由于結(jié)構(gòu)不同,壓力傳感器可以分為測(cè)定絕對(duì)壓力的絕壓傳感器、測(cè)定對(duì)大氣的相對(duì)壓力的表壓傳感器和測(cè)定兩處壓力差的差壓傳感器。

  測(cè)定絕對(duì)壓力(即絕壓傳感器)時(shí),傳感器內(nèi)自身帶有真空參考?jí)海鶞y(cè)壓力與大氣壓力無(wú)關(guān),是相對(duì)于真空的壓力。

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  對(duì)大氣的相對(duì)壓力是以大氣壓力為參考?jí)?,因此傳感器彈性膜一?cè)始終與大氣是連通的。由于大氣壓力與離地面的高度、四季中大氣中水汽含量的變化以及不同地點(diǎn)和組成大氣的各種氣體的含量的變化有關(guān)。因此,所測(cè)得的相對(duì)壓力便與上述因素有關(guān)。

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  此外,還可從傳感器彈性膜兩側(cè)分別導(dǎo)入流體壓力,這樣能測(cè)定流體不同地點(diǎn)或流體間的差壓。

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  所以,針對(duì)不同用途應(yīng)選用不同結(jié)構(gòu)的壓力傳感器。

  壓力量程方面的考量

  壓力傳感器的壓力適用范圍是分級(jí)的,這是因?yàn)閴毫鞲衅鞯膹椥阅こ惺芰黧w壓力有一個(gè)限度。這就是通常所說(shuō)地耐壓極限,超過此極限,彈性膜便破裂了。傳感器都有不同過壓能力,一般來(lái)說(shuō),每個(gè)傳感器都有20%~300%的過壓能力。

  壓力量程的選用應(yīng)主要考慮三個(gè)方面的因素:傳感器的最大過壓能力、精度與壓力量程的關(guān)系以及傳感器的價(jià)格與壓力量程的關(guān)系。

  01

  量程的選用在考慮最大過壓能力時(shí),要特別注意靜壓和動(dòng)壓的區(qū)別。因?yàn)?,?dòng)壓往往會(huì)出現(xiàn)沖擊壓力,甚至沖擊波,而沖擊壓力遠(yuǎn)高于靜壓力,如果選用的最大工作壓力量程是指靜壓力的話,傳感器在承受動(dòng)壓力時(shí),應(yīng)選用較大的過壓能力,否則沖擊壓力很容易達(dá)到極限耐壓,使壓力傳感器受到破壞。

  02

  量程的選用我們還要注意精度和量程的關(guān)系,一般情況下不同量程的壓力傳感器其精度存在差異,在選型時(shí)選擇合適的量程更容易滿足精度上的要求。

  03

  對(duì)于價(jià)格與量程的關(guān)系,通常來(lái)說(shuō),0.3~1MPa的壓力傳感器的價(jià)格較便宜,0.1MPa以下或1MPa以上的壓力傳感器價(jià)格比較貴。

  精度需求的考量

  精確度,是傳感器行業(yè)內(nèi)通俗用來(lái)描述傳感器輸出誤差常用的一個(gè)術(shù)語(yǔ)。它來(lái)源于非線性,遲滯,不可重復(fù)性,溫度,零點(diǎn)平衡,校正和濕度效應(yīng)。通常下我們將精確度指定為非線性,遲滯和不可重復(fù)性的綜合影響。

  靜態(tài)精度是指某一特定溫度(室溫25℃)下應(yīng)達(dá)到的精度。可以分為四檔:0.01~0.1%FS為超高精度;0.1~1%FS為高精度;1~2%FS為普通精度;2~10%FS為低精度。全溫度范圍精度是指壓力傳感器在整個(gè)使用溫度范圍內(nèi)都應(yīng)達(dá)到的精度,同樣可以分為與靜態(tài)精度相同的四檔。

  壓力傳感器的熱零點(diǎn)漂移和熱靈敏度漂移系數(shù)及非線性誤差是影響傳感器精度的重要指標(biāo)。對(duì)同一壓力傳感器來(lái)說(shuō),熱零點(diǎn)漂移系數(shù)隨工作壓力增加而減小,而熱靈敏度系數(shù)和非線性誤差隨工作壓力增加而增加。

  一般來(lái)說(shuō),擁有更高精確度的傳感器成本會(huì)更高,但是壓力傳感器達(dá)到高精度時(shí),必然在制作過程中增添了許多附加工藝以及校淮過程和補(bǔ)償技術(shù)。因此應(yīng)根據(jù)壓力傳感器實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)合和要求,提出合理的精度要求。

  壓力傳感器的選型還有電學(xué)要求、作業(yè)方式(介質(zhì))、工作溫度范圍和壓力密封要求等考量因素,我們將在下一篇文章中著重介紹。



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