科學(xué)技術(shù)的不斷進(jìn)步推動(dòng)固體激光技術(shù)更加進(jìn)一步的提高和完善，激光將在人類生產(chǎn)生活發(fā)展過(guò)程中起到越來(lái)越重要的作用。
從紅寶石激光器問(wèn)世開(kāi)始，全固態(tài)激光器的發(fā)展就如雨后春筍般迅猛，各國(guó)科學(xué)家在這一領(lǐng)域做出了許多貢獻(xiàn)。在首臺(tái)激光器誕生后兩年，美國(guó)學(xué)者Hall等人首先在實(shí)驗(yàn)室研制出砷化鎵半導(dǎo)體激光器，獲得發(fā)射譜峰值波段為880nlll左右的激光，這一研究成果為后來(lái)將傳統(tǒng)的閃光燈泵浦源替換為激光二極管泵浦源提供了實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)。
接著在1964年，美國(guó)科學(xué)家Keyes等人就開(kāi)始將半導(dǎo)體激光器技術(shù)應(yīng)用在固體激光器中并成功實(shí)現(xiàn)了這一設(shè)想，使LD作為激勵(lì)源在實(shí)驗(yàn)中得到證實(shí)，其實(shí)驗(yàn)中所采用的增益介質(zhì)為CaF2：U3+（摻鈾鎢酸鈣）。
1968年，麥道公司（現(xiàn)波音公司）的羅斯等人首先完成了用砷化鎵半導(dǎo)體激光器泵浦摻釹釔鋁石榴石晶體，實(shí)現(xiàn)了重復(fù)頻率為200Hz的脈沖輸出，為了使泵浦源的發(fā)射譜與增益介質(zhì)的吸收譜相匹配，二極管被冷卻到170K。
1972年，研究學(xué)者Rosenkrantz使用砷化鎵半導(dǎo)體激光器泵浦摻釹釔鋁石榴石激光晶體，這次研究ZUI重要的貢獻(xiàn)在于實(shí)驗(yàn)是在室溫下進(jìn)行，使激光器擺脫了較為繁瑣的控溫步驟限制，為全固態(tài)激光器的大規(guī)模使用提供可能。
1974年，Conant等人采用砷化鎵激光二極管泵浦摻釹釔鋁石榴石晶體，通過(guò)側(cè)面泵浦方式實(shí)現(xiàn)了120mW的激光輸出，受限于當(dāng)時(shí)半導(dǎo)體制作工藝發(fā)展的不成熟，二極管自身功率和轉(zhuǎn)換效率不能達(dá)到理論要求，因而使其研究受到阻礙。
1975年，Rice等學(xué)者對(duì)激光二極管泵浦摻釹釔鋁石榴石激光器進(jìn)行研究，這次工作的主要成果是在端面泵浦方式下成功研制出準(zhǔn)連續(xù)激光器。
上世界八十年代，得益于半導(dǎo)體材料研究的不斷突破，激光二極管核心技術(shù)的發(fā)展也有了突飛猛進(jìn)的進(jìn)步，這時(shí)的激光二極管已經(jīng)開(kāi)始打破了小功率工作的限制，并且使自身的工作效率成倍增加。
與此同時(shí)，半導(dǎo)體激光器的發(fā)展還借鑒了當(dāng)時(shí)先進(jìn)的技術(shù)方法，采用材料科學(xué)中新研究出的量子阱和應(yīng)變量子阱結(jié)構(gòu)來(lái)提升晶體的制備工藝和性能，在這一時(shí)期發(fā)明了很多直到今天還在應(yīng)用的工藝技術(shù)，如在薄膜制備中使用的分子束外延、化學(xué)氣相沉積等方法。這些技術(shù)的出現(xiàn)和應(yīng)用使得全固態(tài)激光器的大規(guī)模使用成為實(shí)際。
到1990年以后，DPSSL不再受限于泵浦源LD的輸出功率和波長(zhǎng)匹配等因素的影響，進(jìn)步十分明顯。
1990年，美國(guó)錫萊亞太拉斯公司首次將半導(dǎo)體激光器的輸出功率提升到75W以上，為全固態(tài)激光器未來(lái)向更大功率的發(fā)展提供了更多的可能。
l993年，Taguchi等學(xué)者采用半導(dǎo)體激光器泵浦摻釹釔鋁石榴石晶體得到了上千瓦的激光輸出，同時(shí)還實(shí)現(xiàn)了激光器件的輕量化，其體積等同于常用皮球的體積。
1998年，德國(guó)研究學(xué)者Ozygus等人通過(guò)合理設(shè)計(jì)，采用雙激光晶體串接和半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦方式實(shí)現(xiàn)了對(duì)摻釹釔鋁石榴石晶體的1600W激光輸出。
2000年以后，研究學(xué)者和制造公司都意識(shí)到大功率激光器將會(huì)在未來(lái)社會(huì)發(fā)展中發(fā)揮重要的科學(xué)價(jià)值和經(jīng)濟(jì)價(jià)值，因而大力開(kāi)展有關(guān)全固態(tài)激光器研究領(lǐng)域的課題，促進(jìn)了激光器朝著更高水平的發(fā)展，在這一階段也產(chǎn)生了眾多的研究成果。
二十一世紀(jì)初，美國(guó)LLNL國(guó)家實(shí)驗(yàn)室Mitchell等科學(xué)家實(shí)現(xiàn)了1080W的激光輸出，主要用到的技術(shù)方法有采用半導(dǎo)體激光器端面泵浦方式，使用摻鐿釔鋁石榴石（Yb：YAG）作為增益介質(zhì)。
2005年，美國(guó)Bruesselbach等學(xué)者成功實(shí)現(xiàn)了輸出功率為2.65kW的激光器的研制，主要難點(diǎn)是在于采用一根Yb：YAG晶體能夠輸出千瓦級(jí)別的大功率，其光一光轉(zhuǎn)效率為29.4％。
我國(guó)激光技術(shù)從上世紀(jì)60年代初期開(kāi)始發(fā)展。1961年，新中國(guó)首臺(tái)激光器于中科院長(zhǎng)春光機(jī)所研制成功，這是我國(guó)激光技術(shù)的發(fā)端，從此開(kāi)創(chuàng)了中國(guó)激光技術(shù)歷史的新篇章。
上世紀(jì)八十年代中期，周炳煜等學(xué)者通過(guò)將完整的Nd：YAG激光介質(zhì)作為激光起振的光學(xué)腔，通過(guò)使用半導(dǎo)體激光器端面泵浦方式實(shí)現(xiàn)了4.4mW的輸出，其中心輻射波長(zhǎng)為1.06pm。
2004年，徐德剛等研究人員采用大功率激光二極管陣列泵浦Nd：YAG晶體，成功研制85W綠光激光器，光光轉(zhuǎn)換效率為9.7％。
2007年，清華大學(xué)報(bào)道了使用激光二極管泵浦Yb：YAG復(fù)合晶體，獲得光束質(zhì)量M2為20、斜效率為34.8％、ZUI大輸出功率超123W的激光輸出。
目前，全固態(tài)激光器憑借其重要的研究?jī)r(jià)值和優(yōu)秀的應(yīng)用價(jià)值，吸引了全球各國(guó)學(xué)者的目光，對(duì)其的研究都在積極推進(jìn)中。
