本期是獲得本次“中國光電博覽獎”金獎的產(chǎn)品，分別為季華實驗室的極大規(guī)模集成電路制造裝備專用射頻電源研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化和蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司的數(shù)字化高精度激光干涉儀。

　　季華實驗室

　　助力中國提升半導(dǎo)體科技硬實力

　　季華實驗室展示項目受到本屆中國光博會的推介，其中項目“極大規(guī)模集成電路制造裝備專用射頻電源研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”經(jīng)“中國光電博覽獎”專家團(tuán)評審，榮獲金獎。季華實驗室半導(dǎo)體技術(shù)部主任徐平對該項目獲此殊榮也表示感謝及肯定。

　　本次金獎獲獎企業(yè)季華實驗室獲獎產(chǎn)品JHL-RF 5000 2MHz射頻電源

　　JHL-RF 5000 2MHz射頻電源

　　該產(chǎn)品是季華實驗室旗下的“微波與真空技術(shù)研究室”研發(fā)團(tuán)隊經(jīng)一年多的努力，開發(fā)出的第二款高端制造專用電源產(chǎn)品，是一種高性能、高穩(wěn)定、高精確的大功率射頻電源：在2MHz頻率下穩(wěn)定輸出功率達(dá)到 5 kW，基于脈沖模擬、掃頻算法、窄帶功率傳感器及智能雙環(huán)控制系統(tǒng)設(shè)計實現(xiàn)高精度可調(diào)制脈沖射頻輸出；針對功率拓?fù)洹⒑下份敵黾軜?gòu)以及冷卻系統(tǒng)等方面進(jìn)行全面優(yōu)化，直接提升射頻電源的穩(wěn)定性和耐用性。該款大功率高穩(wěn)定的射頻電源作為集成電路制造裝備核心零部件之一，廣泛適用于等離子體應(yīng)用，包括等離子刻蝕、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積、等離子清洗、離子注入等半導(dǎo)體關(guān)鍵工序設(shè)備，也可應(yīng)用在太陽能板、面板制造行業(yè)中。未來，微波與真空技術(shù)研究室團(tuán)隊將以6kW2.45GHz微波電源及5kW 2MHz射頻電源為主打，大力推進(jìn)半導(dǎo)體行業(yè)專用電源的產(chǎn)業(yè)化，突破國外技術(shù)和設(shè)備壟斷封鎖，推動中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，為實現(xiàn)中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)設(shè)備國產(chǎn)化做貢獻(xiàn)。

　　季華實驗室是廣東省委、省政府啟動的首批4家廣東省實驗室之一，圍繞國家和廣東省重大需求，集聚、整合國內(nèi)外優(yōu)勢創(chuàng)新資源，打造先進(jìn)制造科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域國內(nèi)一流、國際高端的戰(zhàn)略科技創(chuàng)新平臺。

　　徐主任說3年前，在外奮斗了幾十年的他帶著創(chuàng)業(yè)夢，帶著團(tuán)隊從新加坡回到中國，入駐佛山季華實驗室，開展基礎(chǔ)研發(fā)、應(yīng)用研發(fā)和學(xué)科建設(shè)?！拔覀儓F(tuán)隊的目標(biāo)是沉淀一批自主可控的核心技術(shù)，用填補(bǔ)國內(nèi)空白的首批‘季華’品牌為佛山經(jīng)濟(jì)高質(zhì)量發(fā)展添動能，助力佛山制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展，助力中國提升半導(dǎo)體科技硬實力?！彼又f道，“簡單說，我就是開了一家服務(wù)于半導(dǎo)體企業(yè)的‘4S店’，扮演者‘修理工’的角色，為半導(dǎo)體大廠提供服務(wù)”，“開自己的‘4S’店只是我創(chuàng)業(yè)夢的第一步，我想把在國外學(xué)習(xí)掌握的知識、技術(shù)帶回中國，在中國‘設(shè)廠’，助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展?！?/p>

　　蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司

　　助力國家光電產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展

　　蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司代表十分高興的表示，蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司申報的“數(shù)字化高精度激光干涉儀”能夠獲得首屆“中國光電博覽獎”金獎，這是團(tuán)隊每一位成員相互協(xié)作，齊心協(xié)力的共同榮譽(yù)，也是各位評審專家以及整個光電產(chǎn)業(yè)對蘇州慧利儀器產(chǎn)品和技術(shù)能力的認(rèn)可和肯定。

　　該公司領(lǐng)導(dǎo)在受訪中表示，“本次能夠獲得‘中國光電博覽獎’金獎也是幸運的。因為有好多團(tuán)隊可能比我們做得更優(yōu)秀，只是閃光點未能完全展現(xiàn)。展望未來，希望慧利儀器能夠和產(chǎn)業(yè)內(nèi)的同行者一道進(jìn)步，助力國家光電產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展?！?/p>

　　數(shù)字化高精度激光干涉儀

　　無應(yīng)力平面檢測干涉儀（數(shù)字化相移分析系列）是高性能模塊化組合檢測干涉儀中的一種，它采用國內(nèi)外首創(chuàng)的組合式激光干涉儀作為核心部件，主要用于高效檢測高精度平面，是蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司新推出的尖端力作。該產(chǎn)品包括光源、主機(jī)、成像以及鏡頭和相移等四大模塊，主要技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到國際一流水平，采用更加簡便操作的俯式測量，其擁有極高的絕對測量精度PV和絕對測量重復(fù)性RMS，并突破了一等平面平晶限制，且其采樣點可達(dá)上百萬像素，能客觀反映被測平面全貌。不僅測量精度高，而且具有極高的測量效率。此款干涉儀可廣泛應(yīng)用高精度光學(xué)元件制造、計量檢測、生物醫(yī)學(xué)、航空航天、國防、微電子、能源等眾多領(lǐng)域，具有廣闊的市場前景。

　　現(xiàn)場高效球面檢測干涉儀（數(shù)字化相移分析系列）是一種高性能模塊化組合檢測干涉儀，它采用國內(nèi)外首創(chuàng)的組合式激光干涉模塊作為核心部件，主要用于檢測高精度快速球面和曲率半徑球面面形。通過模塊化的設(shè)計理念，針對不同的光源、鏡頭口徑、成像方式，不僅在測量過程中拆卸方便，也可適用于多種被測面的測量，大大降低檢測成本。通過慧利儀器專用軟件，可對被測對象實時采樣和分析，并形成2D和3D圖形。

　　通用組合水平式檢測干涉儀（數(shù)字化相移分析系列）是一款高性能模塊化組合激光檢測干涉儀。它依據(jù)可模塊化組合的設(shè)計理念和通過不同的組合模式，靈活地滿足不同的檢測需求。進(jìn)而在結(jié)構(gòu)簡單、適用于多種被測面的前提下，使用數(shù)字化相移分析方法實現(xiàn)高精度、多功能的檢測，從而大大降低檢測成本。此款干涉儀解決了被檢測對象的不確定與檢測系統(tǒng)相對固定之間的匹配問題，以及由此帶來的現(xiàn)有儀器實用性受限問題。它不僅實現(xiàn)了干涉測量技術(shù)的更新?lián)Q代，而且填補(bǔ)了制造業(yè)和國家質(zhì)檢部門對高精度平面檢測設(shè)備需求的空白。

　　據(jù)悉，蘇州慧利儀器是一家致力于光機(jī)電軟集成和系統(tǒng)設(shè)計一體化的光學(xué)精密測量儀器公司。將國際領(lǐng)先的光學(xué)檢測技術(shù)產(chǎn)業(yè)化和引領(lǐng)光學(xué)檢測產(chǎn)業(yè)的發(fā)展潮流是慧利儀器的奮斗目標(biāo)?；劾麅x器團(tuán)隊在光學(xué)檢測領(lǐng)域具有三十多年的研發(fā)和工程化經(jīng)驗，研發(fā)總經(jīng)費數(shù)億元，形成了以光機(jī)電軟一體化為核心的研發(fā)體系。

　　接下來，我們還會定期為大家?guī)砀喃@獎企業(yè)產(chǎn)品推介，請大家持續(xù)關(guān)注！

　　中國國際光電博覽會同期六展覆蓋信息通信、激光、紅外、紫外、精密光學(xué)、鏡頭及模組、傳感等版塊，面向通信、消費電子、先進(jìn)制造、國防安防、半導(dǎo)體加工、能源、傳感、照明顯示、醫(yī)療等九大應(yīng)用領(lǐng)域展示前沿的光電創(chuàng)新技術(shù)及綜合解決方案，是行業(yè)人士尋找新技術(shù)新產(chǎn)品、了解市場先機(jī)的一站式商貿(mào)、技術(shù)及交流平臺。