微型光譜儀在設計完成后,標定是光譜儀的一個重要步驟。微型光譜儀的標定是確定儀器輸入像元點序號與輸出波長的對應關系。
目前光譜儀標定主要有兩種方法:光學方程計算法,波長標定實驗法。
(1)光學方程計算法光學方程計算法是根據(jù)光譜儀的光學結(jié)構(gòu)設計來推導出像元與波長之間的對應關系。
該方法主要基于光柵方程演算,平行光照射到光柵上會發(fā)生衍射,衍射角的正弦與波長成正比關系。光柵方程的公式為:
其中,m為干涉級,d是劃痕間距即光柵常數(shù),α為入射角,β為衍射角,λ為波長。
通過衍射角和波長的對應關系計算得出波長與像元的關系方程,但是該方法受零件加工和安裝誤差的影響,計算出關系公式誤差較大。
?。?)波長標定實驗法波長標定實驗法是采用特征光譜在光電傳感器對應的像元點上找到相應的位置,并采用多項式擬合等方法來實現(xiàn)波長的標定。
該方法通過標準標定光源的已知特征譜線與譜線峰值對應的像元點來建立波長標定的多項式數(shù)值模型;根據(jù)擬合得到的數(shù)學模型,可以將所有像元點對應的波長值計算出來。
波長標定實驗法主要有三個步驟:
?、龠x取譜線使用汞氬燈、氖燈或氘燈等標準光源,選取一組已知波長的特征峰,要求這些已知波長特征峰波長均勻覆蓋在光譜儀的工作波長范圍內(nèi),數(shù)量越多越好,同時要求譜線間隔要大于光譜儀的分辨率。
?、跍y量像元對應的位置該步驟是通過光譜儀獲取標準光源已知波長特征峰所在的像元位置。該步驟的核心問題是尋峰算法的設計,通過尋峰算法找到特征光譜峰值所在的像元位置。
③數(shù)據(jù)擬合根據(jù)測量獲得的一組數(shù)據(jù)(xi,λi),使用曲線擬合方法找到兩個變量之間的擬合函數(shù)關系式,常用的數(shù)據(jù)擬合方法有三次樣條插值法、MIN二乘法等。
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