今日，華卓精科將首發(fā)上會，沖刺科創(chuàng)板IPO。

　　據(jù)了解，華卓精科如果能成功上市，或?qū)⒊蔀?a class="innerlink" href="http://ihrv.cn/tags/國產(chǎn)光刻機(jī)" target="_blank">國產(chǎn)光刻機(jī)第一股。

　　01

　　募資超7億，加碼研發(fā)

　　華卓精科成立于2012年，雖被譽(yù)為國產(chǎn)光刻機(jī)第一股，但公司不生產(chǎn)光刻機(jī)整機(jī)，而是聚焦EUV光刻機(jī)雙工件臺技術(shù)。

　　公司主要產(chǎn)品包括精密運(yùn)動系統(tǒng)、光刻機(jī)雙工件臺模塊、靜電卡盤和隔振器等超精密測控設(shè)備部件以及晶圓級鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等超精密測控設(shè)備整機(jī)，以及上述部分主要產(chǎn)品的技術(shù)開發(fā)服務(wù)。

　　華卓精科本次擬發(fā)行股票不超過3200萬股，募集資金約7.35億元，將用于半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵零部件研發(fā)制造項目、超精密測控產(chǎn)品長三角創(chuàng)新與研發(fā)中心建設(shè)、光刻機(jī)超精密位移測量及平面光柵測量技術(shù)研發(fā)項目等。

　　02

　　中國破冰雙工件臺技術(shù)！

　　光刻機(jī)有三大核心部件，EUV光源、雙工件臺、光學(xué)鏡頭。其中技術(shù)壁壘最高、制成難度最大的是雙工件臺，成本占到整個光刻機(jī)成本的10%-20%。

　　此前，光刻機(jī)的雙工件臺技術(shù)被荷蘭的ASML公司一手壟斷，而華卓精科攜手清華團(tuán)隊成功打破了雙工件臺技術(shù)壁壘，成為了全球第二，全國第一家掌握掌握EUV光刻機(jī)雙工件臺技術(shù)的廠商，實現(xiàn)了技術(shù)、雙工件臺零部件的完全自主化生產(chǎn)。

　　03

　　對標(biāo)ASML，理想芯制程達(dá)7nm

　　在技術(shù)水準(zhǔn)、芯片制程高度上，華卓精科的雙工件臺與ASML公司的雙工件臺基本上位于同一水準(zhǔn)。

　　華卓精科與上海微電子一直保持著良好的合作關(guān)系，上海微電子28納米浸入式光刻機(jī)，采用的工件臺正是華卓精科的雙工件臺。

　　據(jù)悉，該工件臺最高精度可達(dá)1.7納米，適用于65納米以下的芯片制程，高速運(yùn)作下理念可行的芯片制程水準(zhǔn)達(dá)2納米。

　　上海微電子28納米光刻機(jī)是浸入式光刻機(jī)，因此可以通過水的多次折射縮短光波，實現(xiàn)更高精度的芯片投射，結(jié)合華卓精科的雙工件臺，可以實現(xiàn)7納米芯片的自主化生產(chǎn)，前提是不計較時間、勞動、能源成本。

　　04

　　客戶單一，銷售規(guī)模較小

　　華卓精科表示，目前公司光刻機(jī)雙工件臺產(chǎn)品客戶單一。

　　目前華卓精科的光刻機(jī)雙工件臺僅有上海微電子一家客戶，并且該產(chǎn)品仍處于小批量定制生產(chǎn)階段，尚未實現(xiàn)規(guī)?；慨a(chǎn)。

　　截至目前，華卓精科DWS系列光刻機(jī)雙工件臺累計發(fā)貨4臺，目前仍處于與上海微電子光刻機(jī)整機(jī)集成、測試階段，尚未通過上海微電子最終驗收。

　　業(yè)績方面，2018年-2020年，華卓精科營收分別為8570.92萬元、1.21億元和1.52億元；凈利潤分別為1512.36萬元、2087.24萬元和1242.83萬元。

　　華卓精科表示，報告期內(nèi)公司的晶圓級鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備和光刻機(jī)雙工件臺處于產(chǎn)品商業(yè)化初期，客戶相對較少，尚未形成規(guī)?；a(chǎn)品銷售，導(dǎo)致公司整體銷售規(guī)模較小，銷售結(jié)構(gòu)尚未穩(wěn)定，存在較大的變動。