近日,據(jù)天眼查顯示華為技術(shù)有限公司公開(kāi)“半導(dǎo)體器件及相關(guān)模塊、電路、制備方法”專(zhuān)利,公開(kāi)號(hào)CN113054010A,申請(qǐng)日期為2021年2月。
專(zhuān)利摘要顯示,本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種半導(dǎo)體器件及相關(guān)模塊、電路、制備方法,該器件包括:N型漂移層、P型基極層、N型發(fā)射極層、柵極、場(chǎng)截止層和P型集電極層等,其中,場(chǎng)截止層包括依次層疊于N型漂移層的表面的第一摻雜區(qū)和第二摻雜區(qū),第一摻雜區(qū)的雜質(zhì)的粒子半徑小于第二摻雜區(qū)的雜質(zhì)的粒子半徑,第一摻雜區(qū)和第二摻雜區(qū)的摻雜濃度均高于N型漂移層的摻雜濃度。上述半導(dǎo)體器件,可以有效降低IGBT的集電極與發(fā)射極之間的漏電流。
據(jù)悉,IGBT技術(shù)多用于功率半導(dǎo)體,對(duì)于華為而言,在其汽車(chē)研發(fā)和光伏逆變器等產(chǎn)品上要用IGBT技術(shù)。有業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為,在功率器件中,進(jìn)行多次外延,在襯底的基礎(chǔ)上增加不同摻雜元素和不同厚度的外延層,用于改善極間漏電流。
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