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江豐濺射靶材及濺射設備關鍵部件項目預計將于2022年底前竣工

2021-05-28
來源:全球半導體觀察

據(jù)發(fā)展北京消息,位于北京經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)金橋科技產(chǎn)業(yè)基地的江豐濺射靶材及濺射設備關鍵部件產(chǎn)業(yè)化項目近期剛剛開工。據(jù)項目負責人介紹,目前正在進行工業(yè)廠房土方開挖,下一步將開始打樁作業(yè),預計項目將于2022年底前竣工。

未來,江豐濺射靶材及濺射設備關鍵部件產(chǎn)業(yè)化項目將建成一條用于半導體、平板顯示器產(chǎn)業(yè)的高純金屬靶材及零部件生產(chǎn)線,年產(chǎn)能將達到55000件,最終實現(xiàn)超高純Al、Ti、Ta、Cu、W、Mo等靶材以及設備關鍵部件的規(guī)模生產(chǎn)與銷售。

據(jù)介紹,濺射靶材是集成電路裝配的重要基礎原材料。北京商報指出,至2022年底項目完成后,廠內(nèi)濺射靶材及濺射設備關鍵部件將進入產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)階段,未來將供給中芯國際,用于半導體、顯示面板等裝配?!澳壳埃覀兲峁┑幕A零部件基本達到國內(nèi)一流水平,靶材精度最高可實現(xiàn)5納米?!?/p>

前述負責人表示,此次項目系江豐集團落地北京的首個生產(chǎn)廠房。在此之前,其在湖南益陽、廣東惠州等地均已建廠,供給客戶包括中芯國際、京東方等。“此次在京建廠也是考慮到方便為更多大客戶提供靶材,就近配套?!?/p>




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