《電子技術(shù)應(yīng)用》
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我國芯片蝕刻技術(shù)領(lǐng)先國際

2020-12-20
來源:科技了解者

    在軟件方面,華為之前在發(fā)布會上正式推出鴻蒙2.0系統(tǒng),并計(jì)劃未來適配于手機(jī)、平板、電腦、智能汽車、可穿戴設(shè)備等多種終端設(shè)備。在硬件方面,國產(chǎn)芯片制造有所突破,今天就來帶大家了解下國內(nèi)芯片制造突破的幾個工藝。

    芯片設(shè)計(jì)十分復(fù)雜繁瑣,簡單的說就是蓋一棟比北京還要大的樓,還需要能滿足各種功能,芯片生產(chǎn)也不遑多讓。

    首先需要一個純度達(dá)9個9以上的硅片,然后需要經(jīng)過濕洗、光刻、離子注入、蝕刻、等離子沖洗、熱處理、氣相淀積等等流程,最后測試打磨封裝出廠。

    具體流程復(fù)雜難懂,今天只講講其中最重要的兩個,光刻和蝕刻,也就是使用光刻機(jī)和蝕刻機(jī)的兩個環(huán)節(jié)。

    

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    光刻就是在硅片上涂上一層均勻的光刻膠,光刻膠只能被光腐蝕,不會被化學(xué)物質(zhì)腐蝕,然后按照設(shè)計(jì)利用紫外線照射,把不需要的地方腐蝕掉,制作出所需要的圖案。蝕刻就是按照光照射的圖案進(jìn)行雕刻,蝕刻出柵極,也就是晶體管。

    簡單來說,光刻就是在木頭上描摹出字,蝕刻就是根據(jù)字在木頭上雕刻字,讓2D轉(zhuǎn)為3D。不過這種形容不是很準(zhǔn)確,實(shí)際操作的難度遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過所形容的。

    在蝕刻蝕機(jī)方面,我國其實(shí)一直屬于世界領(lǐng)先水平,如中微半導(dǎo)體和上海微電子。

    中微半導(dǎo)體和華為海思同年成立,在2018年已經(jīng)量產(chǎn)了5nm的刻蝕機(jī),交付給臺積電使用,按臺積電計(jì)劃預(yù)計(jì)用于今年5nm芯片的量產(chǎn)上。

    可以說,我國在芯片制造方面的破冰之路早已啟航,路在腳下,再大的冰山也阻擋不了我國芯片起航之心。

    

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