《電子技術(shù)應(yīng)用》
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英特爾不僅10nm延期,EUV光刻工藝也要落后三星、臺積電兩年

2018-11-01
關(guān)鍵詞: 英特爾 EUV光刻工藝

  隨著Globalfoundries公司無限期退出7nm及以下工藝研發(fā),全球有能力研發(fā)先進(jìn)工藝的只剩下英特爾、臺積電及三星,其中英特爾公司是過去幾十年中半導(dǎo)體工藝最強(qiáng)大的公司,但是現(xiàn)在他們的10nm工藝都延期到明年底,臺積電、三星的7nm已經(jīng)或者即將量產(chǎn)。英特爾在制程工藝上的延期不只是影響10nm及未來的7nm工藝,更重要的是英特爾使用EUV光刻工藝也面臨不確定性,分析稱2021年底英特爾都不太可能用上EUV工藝,而臺積電、三星明年的7nm改進(jìn)版工藝就會用上EUV工藝。

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  ??闯芫W(wǎng)的讀者應(yīng)該知道EUV光刻機(jī)對7nm及以下的工藝節(jié)點(diǎn)非常重要,目前全球唯一能生產(chǎn)EUV光刻機(jī)的就只有荷蘭ASML公司了,而EUV光刻機(jī)研發(fā)已經(jīng)有二十多年歷史了,現(xiàn)在的EUV光刻機(jī)雖然已經(jīng)量產(chǎn)出貨,但在產(chǎn)能還達(dá)不到要求,所以臺積電首先推出了不使用EUV光刻工藝的第一代7nm,預(yù)計(jì)明年的7nm+增強(qiáng)版工藝上才會使用EUV光刻工藝。

  在EUV光刻機(jī)上,三星是最激進(jìn)的一家,直接在7nm工藝上首發(fā)EUV工藝,但這也導(dǎo)致三星的7nm工藝難度高,進(jìn)展比臺積電更慢,臺積電今年中就開始量產(chǎn)7nm芯片,三星的7nm EUV工藝預(yù)計(jì)要到明年初才能正式量產(chǎn),而且客戶數(shù)量遠(yuǎn)低于臺積電的50多家。

  GF公司原本也在第二代7nm工藝上使用EUV工藝,不過他們現(xiàn)在退出了7nm工藝的研發(fā)、生產(chǎn),EUV光刻機(jī)也用不上了,不知道會如何處理他們的EUV光刻機(jī)及之前的ASML光刻機(jī)訂單。

  在EUV工藝上,英特爾還是最早投入研發(fā)資源的半導(dǎo)體公司之一,但是現(xiàn)在英特爾的不確定性也是最大的,前幾年英特爾還表態(tài)他們并不依賴EUV工藝,即便沒有EUV光刻機(jī)也懂得如何制造7nm工藝的芯片,這番豪言已經(jīng)是2014年的事了。

  現(xiàn)在英特爾最大的麻煩不是EUV光刻工藝,他們首先要解決的是10nm工藝的量產(chǎn),將良率提高到可以接受的程度,在2019年底正式推出基于10nm工藝的處理器,而在2020年才有可能大規(guī)模生產(chǎn)出移動、桌面、服務(wù)器版的10nm芯片。

  英特爾的7nm工藝尚在研發(fā)中,英特爾透露的消息非常少,此前只是表態(tài)稱7nm工藝上吸取了10nm工藝的教訓(xùn),不搞太浮夸的指標(biāo)以便降低量產(chǎn)難度。至于EUV工藝,英特爾官方?jīng)]有正式表態(tài)呢,EETiems上周在報(bào)道中援引伯恩斯坦分析師Mark Li的消息稱英特爾還在等待EUV技術(shù)更加成熟,在2021年底之前不會將EUV工藝納入到其工藝技術(shù)中去。

  這個(gè)分析意味著英特爾至少要在三年后才能用上EUV工藝,即便2021年末真的推出了EUV工藝,那也意味著英特爾在這個(gè)技術(shù)進(jìn)度上落后臺積電、三星公司兩年時(shí)間,盡管英特爾的決定可能更成熟一些,在新工藝技術(shù)問題沒解決之前上EUV工藝可能會引入額外的風(fēng)險(xiǎn)。


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