昨天,一幅李克強總理在訪問比利時IMEC時候,駐足端詳硅晶圓的照片,在半導(dǎo)人的朋友圈里刷了屏。大部分人“作者”在文章中都只是闡述了這件事,然后再加上對國內(nèi)集成電路現(xiàn)狀的描述,之后加上一段為國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)痛心疾首的評論,純粹是為了刷屏而刷屏,但你真的知道IMEC是干嘛的嗎?
在本文,我們對這個歐洲領(lǐng)先的研究中心進行一次深度解析。
PS:李克強總理拿的這個應(yīng)該不是叫“黑膠唱片大小的芯片”,而是一個硅片。
IMEC的歷史沿革
根據(jù)維基百科,IMEC全稱是Interuniversity Microelectronics Centre,中文譯文是校際微電子中心,而我們大多數(shù)人都將其叫做“比利時微電子研究中心”。該機構(gòu)成立于1984,,是一個專注于納米科技的世界知名研究中心,其總部位于比利時魯汶,并在荷蘭恩荷芬、臺灣新竹、美國佛羅里達、印度設(shè)有研發(fā)中心,在中國和日本設(shè)有辦事處。在過去的三十多年,IMEC的員工人數(shù)從最初成立時不到七十人,一躍上升到目前的4000多名。
在官網(wǎng)中,IMEC表示,他們是納米電子和數(shù)字技術(shù)領(lǐng)域世界領(lǐng)先的研發(fā)和創(chuàng)新中心。作為公司,創(chuàng)業(yè)公司和學(xué)術(shù)界值得信賴的合作伙伴,IMEC在創(chuàng)意和激勵的環(huán)境中匯集了來自世界各地的優(yōu)秀人才。通過利用我們世界一流的基礎(chǔ)設(shè)施以及眾多行業(yè)中不同合作伙伴的本地和全球生態(tài)系統(tǒng),加速實現(xiàn)互聯(lián)互通,可持續(xù)發(fā)展的未來。
在IMEC看來,我們不應(yīng)該低估技術(shù)的力量;,因為技術(shù)有改善生活的力量。這就是我們推動技術(shù)發(fā)展的原因。
在服務(wù)方面,你可以從IMEC獲得研發(fā)和發(fā)展的合作支持,加快你的發(fā)展進度;同時你還能從IMEC獲得創(chuàng)新服務(wù)和解決方案,發(fā)展和加速納米創(chuàng)新和數(shù)字創(chuàng)新;他們甚至還可以為初創(chuàng)企業(yè)提供基金,孵化和加速新興的創(chuàng)新企業(yè)。
經(jīng)過幾十年的發(fā)展,現(xiàn)在的IMEC圍繞著智能移動、智能健康、智能工業(yè)、智能能源、智能城市和智能教育等幾個方面,提供CMOS和超越CMOS、圖像傳感器、硅光子、可穿戴、太陽能、GaN、物聯(lián)網(wǎng)傳感方案、無線IoT通信、雷達感應(yīng)系統(tǒng)、固態(tài)電池、數(shù)據(jù)科學(xué)和數(shù)據(jù)安全和生命科學(xué)等多個領(lǐng)域和技術(shù)的研究和創(chuàng)新支持。
按照中國工業(yè)和信息化部電子科學(xué)技術(shù)情報研究所胡開博和蘇建南在2014年年發(fā)表的論文《比利時微電子研究中30 年發(fā)展概析及其啟示》(以下簡稱“論文”)中所說,IMEC在過去的三十多年里,一直秉承“研究開發(fā)超前產(chǎn)業(yè)需求 3~10 年的微電子和信息通訊技術(shù)”的使命,逐漸發(fā)展成為一個世界領(lǐng)先的國際化微電子研究機構(gòu),在半導(dǎo)體工藝領(lǐng)域創(chuàng)造了無數(shù)個世界第一,為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)開發(fā)、成果轉(zhuǎn)化、人才培養(yǎng)作出了重要貢獻。
IMEC的重要研究和成果
按照“論文”所說,IMEC的研究方向主要聚焦于七大領(lǐng)域,分別為半導(dǎo)體制造工藝、集成電路設(shè)計、新材料與器件、微系統(tǒng)、太陽能電池、無線通信和生物電子。在研究成果方面,也表現(xiàn)出色,下面我們直接摘錄“論文”中的描述,讓大家知道IMEC的一些研究成果,因為論文發(fā)表較早,可能當(dāng)中的一些技術(shù)描述或者進展和現(xiàn)狀可能有差距,敬請大家諒解。
(1)半導(dǎo)體設(shè)計制造工藝
1984 年,IMEC 選擇了濕洗法和硅化物 2 個CMOS 工藝模塊開展研究,隨后,增加了光刻、互連等完整工藝流程所需的模塊,并在 1986 年建成特征尺寸 1.25 μm、晶圓尺寸 125 mm 的 CMOS中試線。此后,IMEC 工藝研究不斷進步,平均每 2 年發(fā)展一代,如,2004、2006、2008、2011 和2014 年,分別研究了 45、32、22、10 和 7 nm 工藝。
為開展工藝研究和驗證,IMEC 不斷升級建設(shè)中試線(也稱先導(dǎo)工藝線),分別于 1994、1999和 2005 年,建成晶圓尺寸 150、200 和 300 mm 中試線,并且,在 2012 年開始改建用于 450 mm 晶圓的凈化間,預(yù)計 2015 年完成。此外,IMEC 從 20世紀(jì) 90 年代初開始研究雙極型 CMOS(BiCMOS)工藝,1995 和 2002 年在 CMOS 平臺上分別實現(xiàn)了 0.5 μm 硅基 BiCMOS 工藝和 0.25 μm 鍺硅 BiCMOS 工藝。后因產(chǎn)業(yè)界投資不足,到 2010年,IMEC 基本停止了 BiCMOS 的研究。在關(guān)鍵工藝領(lǐng)域,IMEC 一直攻研光刻技術(shù)瓶頸。
1997 年后,IMEC 重點研究 193 nm 浸沒式光刻和極紫外線光刻,并于 2007 年最先實現(xiàn) 35 nm 線寬的極紫外線光刻;當(dāng)前,IMEC 研究重點是 193 nm 光刻的兩次圖形化技術(shù)。IMEC 還引入了高介電常數(shù)金屬柵、硅化物、銅、低介電常數(shù)材料等技術(shù),用于 22 nm 及以下工藝。
在封裝領(lǐng)域,IMEC 從 1986 年開始研究封裝技術(shù),1997 年開發(fā)出倒裝芯片技術(shù),2005 年提出三維集成電路技術(shù)路線圖,并在 2008 年研制出世界首個三維集成電路。
(2)集成電路設(shè)計
IMEC 從 1986 年關(guān)注集成電路設(shè)計,研究出專用集成電路(ASIC)系統(tǒng)自動設(shè)計技術(shù),1991年開始研究 ASIC 軟硬協(xié)同設(shè)計和密集型系統(tǒng)功耗降低技術(shù),并分別于 1996 和 2003 年實現(xiàn)商業(yè)化。隨著集成電路集成度日益提高,IMEC 從 20 世紀(jì) 90 年代初關(guān)注系統(tǒng)芯片(SoC)設(shè)計,先后研究出專用指令集處理器、動態(tài)可編程嵌入式系統(tǒng)架構(gòu)等。
(3)新材料與器件
IMEC 從 20 世紀(jì) 90 年代初開始研究電子自旋磁性半導(dǎo)體和鐵電材料非易失性存儲器,實現(xiàn)了多項突破性進展。隨著寬禁帶半導(dǎo)體展露巨大潛力,IMEC 從 2003 年開始研究氮化鎵材料與器件,2006和 2011 年研制出世界首個 150 和 200 mm 晶圓硅上氮化鎵功率器件。2012 年,IMEC 涉足有機導(dǎo)電材料領(lǐng)域,主要研究柔性發(fā)光二極管顯示技術(shù)。
(4)微系統(tǒng)
IMEC 從 1993 年開始研究微機電系統(tǒng)(MEMS),主要用于紅外成像陣列和生物醫(yī)學(xué)傳感器,但其 MEMS 工藝路線成本較高,一直未得到產(chǎn)業(yè)界認可,2012 年基本停止了研究。2011 年后,IMEC 開始研究集成微電子、光電子與 MEMS的微系統(tǒng)。
(5)太陽能電池
IMEC 分別于 1993 和 1998 年開始研究單/多晶太陽能電池和有機太陽能電池,先后建成一條硅光伏中試線和一條有機光伏中試線;2009 年進一步擴展研究范圍,開展薄膜太陽能電池研究。但 IMEC 技術(shù)路線成本較高,太陽能電池研究進展緩慢。
(6)無線通信
早在 1990 年,IMEC 已開始關(guān)注無線通信技術(shù),主要研究數(shù)字基帶、射頻模擬前端、模數(shù)轉(zhuǎn)換器和系統(tǒng)集成。近年來,IMEC 在通信芯片、收發(fā)機等方面取得了多項突破性進展,促進了無線通信技術(shù)在工業(yè)無線局域網(wǎng)和消費電子領(lǐng)域的發(fā)展。此外,為實現(xiàn)人類隨時隨地獲取信息,IMEC 從 2002年開始研究應(yīng)用于智能環(huán)境的多模/多媒體系統(tǒng)及終端應(yīng)用設(shè)備,2005 年后進一步研究無線自動轉(zhuǎn)換器解決方案和薄片內(nèi)系統(tǒng)技術(shù)。
(7)生物電子
IMEC 從 2002 年開始研究生物電子,主要包括人體可穿戴傳感器網(wǎng)絡(luò)、生物電子混合系統(tǒng)等,2012 年研究出頭戴式腦電圖動態(tài)監(jiān)測系統(tǒng)。
在今年于比利時舉辦的IMEC技術(shù)論壇上,他們展示了很多新專案的發(fā)展近況:
雷達作為監(jiān)控攝影機的替代方案,在保護個人身份的前提下提供資料;
三五族(III-V)制程和新電路設(shè)計的新計劃,以打造更快、更高效且仍相容于CMOS制程的射頻(RF)元件。該技術(shù)旨在服務(wù)從5G蜂窩式網(wǎng)路到太赫茲(THz)成像的廣泛應(yīng)用。
為了滿足未來所需要的速度,RF元件必須升級到使用III-V族材料,且仍然相容于CMOS制程(source:eettaiwan)
與業(yè)界伙伴合作,在當(dāng)今的鋰離子電池中采用硅作為陽極替代石墨,提高了50%的密度。另外,他們認為固態(tài)電池中使用鋰金屬將是下一個飛躍;
為實現(xiàn)人手觸摸手機顯示器表面的任何部份,就可以解鎖手機,且能同時包括用戶心率在內(nèi)的各種資料,IMEC正與合作伙伴一起,為這種顯示器原型研究新型讀取電路;
開發(fā)了一種能以3D列印打造的塑料元件,可以提供較當(dāng)今技術(shù)更高五倍的熱釋放效率;
探索影響先進CMOS制程的各種分子級現(xiàn)象;
使用電腦產(chǎn)生的影像和全息編解碼器打造數(shù)位全息圖的最新進展;
由上可以看到,IMEC一直走在產(chǎn)業(yè)的前沿。
轉(zhuǎn)化成果,
實現(xiàn)技術(shù)的最大價值
在研究了這么多技術(shù)之后,IMEC通過轉(zhuǎn)化,實現(xiàn)其最大的價值。
從“論文”的介紹中我們可以看到,IMEC 研究成果大多屬于戰(zhàn)略性先導(dǎo)技術(shù),通常以此為基礎(chǔ)組建產(chǎn)業(yè)聯(lián)合項目。即使有成果可以商業(yè)化時,IMEC 也堅決通過技術(shù)轉(zhuǎn)讓或孵化子公司的方式將其剝離,以避免與合作伙伴或客戶產(chǎn)生商業(yè)競爭。
對于與產(chǎn)業(yè)聯(lián)合項目無關(guān)或者市場已有的成熟技術(shù),IMEC 通常將其轉(zhuǎn)讓給外部公司,包括工藝步驟、模塊,甚至全套標(biāo)準(zhǔn)工藝。IMEC 技術(shù)轉(zhuǎn)讓的核心是“Know-how”的轉(zhuǎn)移,在提供相關(guān)技術(shù)文檔的同時,也提供相應(yīng)的研發(fā)報告和培訓(xùn),以幫助受讓方真正掌握和有效使用 IMEC 技術(shù)。
IMEC 成功轉(zhuǎn)讓過多種技術(shù),包括晶圓干法清洗工藝、深亞微米 CMOS 工藝,硅上氮化鎵技術(shù)、亞微米微機電系統(tǒng)制造、嵌入式系統(tǒng)架構(gòu)、可靠性測試等,受讓國主要是亞洲國家,如,IMEC 曾將 0.35 μm 成套工藝轉(zhuǎn)讓給以色列 Tower 公司,將0.13 μm 成套工藝轉(zhuǎn)讓給馬來西亞 Silterra 公司。
另外,IMEC將部分成果通過孵化公司的方式實現(xiàn)商業(yè)化,每年至少成立 1 家子公司。對于具有應(yīng)用價值但沒有外部公司引入的技術(shù),IMEC 在充分可行性論證的基礎(chǔ)上一般采用這種方式將其商業(yè)化。IMEC 通常將部分相關(guān)人員分離出去,并且將相關(guān)技術(shù)以一次性買斷的方式轉(zhuǎn)讓給子公司,以換取子公司 5%~15% 的股權(quán),由 IMEC成立的股權(quán)公司統(tǒng)一管理;同時,IMEC 還對孵化的子公司提供種子資金和基礎(chǔ)設(shè)施。
正是在IMEC這類研究中心的的研究和合作模式的推動下,我們整個科技社會才能發(fā)展得那么快。另外,你覺得李克強總理昨天提了的五個問題是什么問題?歡迎有創(chuàng)意的回復(fù),謝謝!