2018年10月10日，“全國(guó)雙創(chuàng)活動(dòng)周”安徽合肥分會(huì)場(chǎng)暨《半導(dǎo)體濕制程設(shè)備及材料技術(shù)論壇》在合肥召開。本次論壇由合肥市發(fā)展和改革委員會(huì)、包河區(qū)人民政府主辦，由會(huì)肥市半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)、包河經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)管委會(huì)協(xié)辦。近200位省內(nèi)外嘉賓參加了論壇。

安微省經(jīng)信委副主任王厚亮、合肥市副市長(zhǎng)朱策、合肥市發(fā)改委副主任錢文、會(huì)肥市半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)理事長(zhǎng)陳軍寧等出席論壇。論壇著重探討半導(dǎo)體濕制程設(shè)備及材料技術(shù)的現(xiàn)狀與趨勢(shì)，多位專家就目前集成電路裝備、材料產(chǎn)業(yè)的現(xiàn)狀、應(yīng)用趨勢(shì)與挑戰(zhàn)進(jìn)行了解析，并提出了相關(guān)的發(fā)展建議。

會(huì)肥市半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)理事長(zhǎng)陳軍寧教授介紹了合肥半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的情況，陳理事長(zhǎng)表示，合肥的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)走上了創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)的快車道。截止2018年6月，合肥共有半導(dǎo)體企業(yè)144家，其中設(shè)計(jì)企業(yè)107家，制造企業(yè)3家，封裝企業(yè)13家，設(shè)備材料企業(yè)21家。整體數(shù)量較2017年129家增加了15家。

來(lái)自國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司的張晉民研究員做了《中國(guó)集成電路裝備的現(xiàn)狀和發(fā)展建議》的主旨報(bào)告。張晉民首先介紹了大基金的實(shí)施進(jìn)展情況，截止2018年6月，投資項(xiàng)目超過(guò)70個(gè)，涵蓋產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)，明顯推動(dòng)了重大專項(xiàng)成果化和產(chǎn)能建設(shè)，培養(yǎng)了具備一定國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的骨干其企業(yè)。在對(duì)國(guó)內(nèi)外12英寸集成電路裝備的情況進(jìn)行了梳理后，提出了發(fā)展建議，特別強(qiáng)調(diào)要制定誰(shuí)等級(jí)規(guī)范，以加快國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。

據(jù)芯思想的消息，在全國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)大發(fā)展時(shí)期，安徽產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)展。特別是合肥，致力于打造具有全球影響力的中國(guó)“IC之都”，通過(guò)完善產(chǎn)業(yè)鏈條、構(gòu)建產(chǎn)業(yè)生態(tài)、創(chuàng)新政策模式等方式，推動(dòng)合肥成為國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)重點(diǎn)布局城市。

大國(guó)重器。DRAM產(chǎn)業(yè)鏈匯聚了合肥格易、長(zhǎng)鑫睿力、通富微電等產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)。長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)/睿力集成工廠在2018年1月開始設(shè)備安裝，2018年7月16日，合肥DRAM“506項(xiàng)目”進(jìn)行了控片投片總結(jié)會(huì)，并宣布正式投產(chǎn)電性片，至此506項(xiàng)目已經(jīng)邁出了重要一步，有望在2018年年前底投產(chǎn)。通富微電宣布打造存儲(chǔ)器封裝基地，采用WBGA和FCBGA封裝方式，到2023年形成月產(chǎn)75K的產(chǎn)能。  

芯屏互動(dòng)。匯集了京東方、晶合集成、集創(chuàng)微電子、合肥奕斯偉等產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)。晶合已實(shí)現(xiàn)每月8000片的產(chǎn)能，至年底將達(dá)到10000片產(chǎn)能，到2019年達(dá)2萬(wàn)片，公司正自研55納米邏輯技術(shù)，預(yù)計(jì)將于2019年量產(chǎn)。集創(chuàng)微電子的母公司集創(chuàng)北方在LCD驅(qū)動(dòng)IC方面已經(jīng)是國(guó)內(nèi)高端液晶顯示驅(qū)動(dòng)技術(shù)新的里程碑，達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平，已在京東方等面板廠的相關(guān)項(xiàng)目上實(shí)現(xiàn)應(yīng)用。合肥奕斯偉正在打造中國(guó)大陸最大的COF卷帶生產(chǎn)基地，設(shè)計(jì)產(chǎn)能為每月7000萬(wàn)片COF卷帶，預(yù)計(jì)2019年二季度投產(chǎn)。

裝備材料齊發(fā)力。在設(shè)備環(huán)節(jié)，芯碁微電子雙臺(tái)面激光直接成像設(shè)備打破了國(guó)外高端激光直寫曝光設(shè)備壟斷。在材料環(huán)節(jié)，易芯半導(dǎo)體采用4大自主創(chuàng)新技術(shù)完成了電子級(jí)12寸大尺寸硅晶錠、晶棒的量產(chǎn)，一期150噸硅晶棒的產(chǎn)能已經(jīng)形成。目前公司準(zhǔn)備進(jìn)入切磨拋領(lǐng)域，計(jì)劃建成年產(chǎn)60萬(wàn)片的拋光片的產(chǎn)能。

在“三重一創(chuàng)”展廳，筆者看到了安徽宏實(shí)自動(dòng)化裝備有限公司生產(chǎn)的“無(wú)引腳封裝芯片銅金屬去毛邊機(jī)”，據(jù)悉該臺(tái)設(shè)備已經(jīng)在臺(tái)灣頂級(jí)封測(cè)大廠投入使用，良率提高4-6個(gè)百分點(diǎn)，受到客戶的一致好評(píng)。據(jù)公司董事長(zhǎng)兼總裁王世勇先生介紹，宏實(shí)自動(dòng)化提供前道濕制程設(shè)備和高端封裝設(shè)備，包括無(wú)引腳封裝芯片銅金屬去毛邊機(jī)、晶圓清洗機(jī)、導(dǎo)線架微蝕機(jī)等，目前公司主要研發(fā)團(tuán)隊(duì)集中在臺(tái)灣，和臺(tái)灣主流封測(cè)大廠進(jìn)行聯(lián)合攻關(guān)，已經(jīng)有多臺(tái)設(shè)備進(jìn)入臺(tái)灣頂級(jí)封測(cè)大廠。