《電子技術(shù)應(yīng)用》
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臺積電將邁進(jìn)5nm時代,遙遙領(lǐng)先同行

2018-07-25
關(guān)鍵詞: 臺積電 晶圓 CLN5

根據(jù)市場消息,臺積電預(yù)定在明年第1季進(jìn)行5奈米制程風(fēng)險性試產(chǎn),將是全球第一家導(dǎo)入5奈米制程試產(chǎn)的晶圓代工廠,而依據(jù)臺積電的時程,將有望在明年底或2020年初進(jìn)行量產(chǎn),再度領(lǐng)先全球。


在之前,業(yè)界普遍認(rèn)為,7nm已經(jīng)是極限,再小會導(dǎo)致電子偏移,發(fā)熱嚴(yán)重,效率變低,性能會適得其反。不過臺積電對5nm進(jìn)展感到非常滿意,自信能夠按照計劃量產(chǎn)。根據(jù)臺積電的規(guī)劃,其 5nm(CLN5)將繼續(xù)使用荷蘭ASML Twinscan NXE: 3400 EUV光刻機(jī)系統(tǒng),擴(kuò)大EUV的使用范圍,相比于第一代7nm晶體管密度可猛增80%(相比第二代則是增加50%。而為了追求這個先進(jìn)工藝,臺積電投入巨資,讓所有競爭對手都望塵莫及。

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路透社報道,臺積電在7納米戰(zhàn)局持續(xù)擴(kuò)大領(lǐng)先差距,且于5納米投資額高達(dá)250億美元,再次堆高資本與技術(shù)壁壘。光晶圓廠方面,就是一筆巨大的投入。


在今年一月初,臺積電宣布在臺灣南部科學(xué)工業(yè)園區(qū)(STSP)開工建設(shè)新的5nm工廠。據(jù)透露,5nm工廠是南科12寸超大型晶圓廠Fab 14的延伸,預(yù)計將興建第8期至第10期等共3個廠區(qū),5nm合計月產(chǎn)能可望上看9~10萬片。而整個工廠占地也將超過40公頃,由于建廠及設(shè)備成本愈來愈高,消息表示,臺積電5nm 3個廠區(qū)的總投資金額將創(chuàng)下新高紀(jì)錄,設(shè)備業(yè)者推估應(yīng)達(dá)新臺幣2,000億元,而新工藝的快速演進(jìn)將大大鞏固臺積電一號代工廠的地位。


至于競爭對手方面,全球先進(jìn)制程發(fā)展到這個階段,能繼續(xù)參與下一階段的只剩下資本雄厚的三星電子(Samsung Electronics)及英特爾(Intel),但因?yàn)榕_積電保證絕對不與客戶競爭、不做品牌的承諾,這就成為其代工版圖持續(xù)擴(kuò)大的關(guān)鍵所在,而技術(shù)的領(lǐng)先則是其根本。我們先看一下這兩年聲勢浩大的三星。


在今年五月于美國舉辦的三星工藝論壇SFF 2018 USA之上,三星宣布將連續(xù)進(jìn)軍5nm、4nm、3nm工藝,直逼物理極限!按照三星的規(guī)劃,三星7nm EUV的柵極間距是54nm,鰭片間距是27nm,前者是Intel 10nm的水平。而其5nm LPE工藝在7nm LPP制程的基礎(chǔ)上繼續(xù)創(chuàng)新改進(jìn),可進(jìn)一步縮小芯片核心面積,帶來超低功耗;緊接著的4nm LPE/LPP則是他們最后一次應(yīng)用高度成熟和行業(yè)驗(yàn)證的FinFET立體電晶體管技術(shù),結(jié)合此前5nm LPE制程的成熟技術(shù),芯片面積更小,性能更高,可以快速達(dá)到高良率量產(chǎn),也方便客戶升級。

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在7nm還沒放量的時候,這兩家晶圓代工大廠已經(jīng)開始瞄準(zhǔn)了3nm,作為下一個角逐的戰(zhàn)場。而國內(nèi)的SMIC還在14nm上攻克。


毫無疑問,未來的晶圓競爭會是巨頭的游戲,資金投入和技術(shù)投入是驚人的,對于國內(nèi)晶圓廠來說,想追上這些行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者,還有很長的一段路要走。



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